ແຜ່ນຈໍານວນ

ແຜ່ນຈໍາຫນ່າຍອາຍແກັສ Semicorex ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນລະບົບ APSMA ທີ່ກ້າວຫນ້າຂັ້ນສູງ, ໂດຍສະເພາະໃນ semiconductor, ການຄວບຄຸມຄວາມເປັນເອກະພາບ, ແລະການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ. ແຜ່ນການແຈກຢາຍອາຍແກັສຂອງພວກເຮົາ, ໄດ້ຮັບການອອກແບບຈາກການລະບາຍສານເຄມີທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງcvd sic), ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງຂະບວນການແຫ້ງແລ້ງທີ່ທັນສະໄຫມ.

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການທີ່ກໍາລັງປັ່ນປ່ວນ, ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຕ້ອງໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງໃນລັກສະນະທີ່ຄວບຄຸມແລະເປັນເອກະພາບເພື່ອຮັບປະກັນການແຈກຢາຍ plasma ທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວຫນ້າ wafer. ແຜ່ນຈໍານວນເງິນທີ່ມີການແຈກຢາຍແມ່ນມີລັກສະນະທາງຍຸດທະສາດດ້ານເທິງແລະໃຫ້ບໍລິການກ່ອນຫນ້ານີ້: ກະແຈກກະຈາຍການປະມວນຜົນຂອງຊ່ອງທາງແລະຮູຮັບແສງທີ່ລະອຽດໃສ່ລະບົບໄຟຟ້າ. ການຈັດສົ່ງອາຍແກັສທີ່ຊັດເຈນນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ຈໍາເປັນໃນການບັນລຸຄຸນລັກສະນະ plasma ເປັນເອກະພາບແລະອັດຕາສັດທີ່ສອດຄ່ອງກັນໃນທົ່ວ wafer ທັງຫມົດ.

ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ Etching ສາມາດໄດ້ຮັບການປັບປຸງຕື່ມອີກໂດຍການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງວິທີການສີດຂອງອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ:

•ສະພາອາລູມິນຽມອາລູມິນຽມ: ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາມັກຈະຖືກສົ່ງຜ່ານ showerhead ຕັ້ງຢູ່ເຫນືອ wafer.

•ສະພາຊິລິໂຄນ: ໃນເບື້ອງຕົ້ນ, ອາຍແກັສໄດ້ຖືກສີດຈາກທໍ່ລະບາຍນ້ໍາຂອງ wafer, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນພັດທະນາໄປຈາກຂ້າງເທິງຈຸດໃຈກາງຂອງ wafer ເພື່ອປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ Wafing.

ແຜ່ນຈໍານວນເງິນທີ່ມີການແຈກຢາຍ, ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນນາມອາບນ້ໍາ, ແມ່ນອຸປະກອນການແຈກຢາຍກ gas າຊທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແຈກຢາຍອາຍແກັສໃຫ້ເຂົ້າໃນສະພາຕິກິຣິຍາເພື່ອຮັບປະກັນວ່າວັດສະດຸ semiconductor ສາມາດໄດ້ຮັບການຕິດຕໍ່ກັບອາຍແກັສ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງການຜະລິດແລະຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ຜະລິດຕະພັນມີຄຸນລັກສະນະຂອງຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຄວາມສະອາດສູງ, ແລະການຮັກສາພື້ນຜິວທີ່ຫຼາກຫຼາຍ (ເຊັ່ນ: sandblasting / policking plating / policing polosing, ແລະອື່ນໆ). ແຜ່ນຈໍານວນເງິນທີ່ມີການແຈກຢາຍແມ່ນຕັ້ງຢູ່ໃນສະພາຕິກິລິຍາແລະຈັດວາງຊັ້ນຮູບເງົາອາຍແກັສທີ່ເປັນເອກະພາບສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມປະຕິເສດທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດ. ມັນແມ່ນສ່ວນປະກອບຫຼັກຂອງການຜະລິດ wafer.

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ Wafer, ແຜ່ນຂອງແຜ່ນຈໍານວນເງິນສໍາລັບການຈໍາຫນ່າຍແມ່ນປົກຄຸມຢ່າງຫນາແຫນ້ນດ້ວຍຈຸລິນຊີ (Aperture 0.2-6 ມມ). ໂດຍຜ່ານການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ຖືກອອກແບບໃຫ້ຊັດເຈນແລະອາຍແກັສຂະບວນການທີ່ຕ້ອງໄດ້ຜ່ານຮູແກ suit ອກກ່ວາຫນຶ່ງພັນແຜ່ນແລະຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ຈະຖືກຝາກໃສ່ດ້ານ wafer. ຊັ້ນຮູບເງົາໃນຂົງເຂດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຄວາມຕ້ອງການ wafer ທີ່ຈະຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບສູງແລະຄວາມສອດຄ່ອງ. ເພາະສະນັ້ນ, ນອກເຫນືອໄປຈາກຄວາມຕ້ອງການສູງທີ່ສຸດສໍາລັບຄວາມສະອາດແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ແຜ່ນຈໍານວນເງິນທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນແລະໄຟໄຫມ້ຢູ່ເທິງຝາຂະຫນາດນ້ອຍ. ຖ້າຄວາມທົນທານຕໍ່ລະດັບຂອງຮູຮັບແສງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງມາດຕະຖານໃຫຍ່ເກີນໄປຫຼືມີ burrs ໃນກໍາແພງດ້ານໃນ, ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນຫນັງທີ່ຝາກໄວ້ຈະມີຜົນກະທົບໂດຍກົງ, ເຊິ່ງຈະສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງ, ເຊິ່ງຈະສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງ ໃນຂະບວນການທີ່ຊ່ວຍໃນ plasma (ເຊັ່ນ: pecvd ແລະ itching ແຫ້ງ), ສ່ວນທີ່ອາບນ້ໍາ, ເຊິ່ງເປັນສ່ວນຫນຶ່ງຂອງການສະຫນອງໄຟຟ້າ rf ເພື່ອສົ່ງເສີມຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ Etching ຫຼືການຝາກເງິນ.

ຂອງພວກເຮົາcvd sicແຜ່ນຈໍານວນເງິນທີ່ມີການແຈກຢາຍແມ່ນເຫມາະສົມກັບເວທີ EXTERMA EX ທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດຮູບແບບ semiconductor, ການປຸງແຕ່ງ mems, ແລະການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ. ການອອກແບບທີ່ກໍາຫນົດເອງສາມາດພັດທະນາໄດ້ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານເຄື່ອງມືສະເພາະ, ລວມທັງຂະຫນາດ, ຮູບແບບຂຸມ, ແລະດ້ານສໍາເລັດຮູບ.

ແຜ່ນຈໍານວນເງິນສົດ Semicorex ທີ່ເຮັດຈາກ CVD SIC ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນລະບົບການຈັດສັນສະບັບທີ່ທັນສະໄຫມ, ສະເຫນີການຈັດສົ່ງເງິນກ etching ທີ່ທັນສະໄຫມ, ຄວາມທົນທານດ້ານວັດຖຸດິບ, ແລະຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ. ການນໍາໃຊ້ຂອງມັນໂດຍກົງໃຫ້ກັບຂະບວນການທີ່ສູງຂື້ນ, ຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານລຸ່ມ, ແລະເຄື່ອງມືທີ່ຍາວກວ່າ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບການຜະລິດທີ່ມີ semiconduor ທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖື.