Graphite ພິເສດແມ່ນປະເພດຂອງ graphite ປອມທີ່ດໍາເນີນການ. ມັນແມ່ນວັດສະດຸທີ່ສໍາຄັນໃນທຸກດ້ານໃນທຸກດ້ານຂອງ semiconductor ແລະຂະບວນການຜະລິດຮູບຖ່າຍ, ລວມທັງການເຕີບໂຕຂອງ Crystal, ion ການຝັງເຂັມ, Epitaxy, ແລະອື່ນໆ.
1. ຊິລິໂຄນ Carbide (SIC) ການເຕີບໂຕຂອງ Crystal
Silicon Carbide, ເປັນອຸປະກອນການ semiconductor ລຸ້ນທີສາມ, ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນພາຫະນະໃຫມ່ພະລັງງານ, ການສື່ສານ 5G, ແລະດ້ານອື່ນໆ. ໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ Sic 6-inch ແລະ 8-8-8-8-insostatic ແມ່ນໃຊ້ໃນການຜະລິດສ່ວນປະກອບສໍາຄັນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
Graphite Crucible: ສິ່ງນີ້ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດການສັງເຄາະຜົງ Sic Feedstock ແລະຍັງຊ່ວຍໃນການເຕີບໂຕຂອງ Crystal ໃນອຸນຫະພູມສູງ. ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນ, ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ແລະຄວາມຕ້ານທານອາການຊ shock ອກຄວາມຮ້ອນຮັບປະກັນສະພາບແວດລ້ອມການເຕີບໂຕຂອງຕະຫຼອດໄປ.
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Graphite: ສະຫນອງການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຮັບປະກັນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ Crystal Sic ທີ່ມີຄຸນນະພາບ.
ທໍ່ຍູ້ແຮງ: ສິ່ງນີ້ຮັກສາຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມພາຍໃນເຕົາຜລຶກທີ່ຈະເລີນເຕີບໂຕແລະຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍຄວາມຮ້ອນ.
2. ການຝັງເຂັມ ion
ການຝັງເຂັມແມ່ນຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor. Graphite isostatic ແມ່ນໃຊ້ເປັນຕົ້ນຕໍເພື່ອຜະລິດສ່ວນປະກອບດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້ໃນ ion ion:
Graphite Getter: ນີ້ຈະເລີນເຕີບໂຕ ions ທີ່ບໍ່ດີໃນ Beam ion, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດ ion.
ແຫວນທີ່ສຸມໃສ່ Graphite: ນີ້ສຸມໃສ່ການ ion beam, ປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ ion implant ແລະປະສິດທິພາບ. ຖາດຍ່ອຍແຜ່ນສະໄລສາລາ: ເຄີຍໃຊ້ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນຄວາມສະຫງົບງຽບແລະຮັກສາສະຖຽນລະພາບແລະຄວາມສອດຄ່ອງໃນໄລຍະການຝັງເຂັມ.
3. ຂະບວນການ Epitaxy
ຂະບວນການ Epitaxy ແມ່ນບາດກ້າວທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor. ຮູບພາບທີ່ຖືກກົດດັນໂດຍ isosatatically ແມ່ນໃຊ້ເປັນຕົ້ນຕໍໃນການຜະລິດສ່ວນປະກອບດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້ໃນເຕົາໄຟຂອງ Epitaxy:
ຖາດ Graphite Trays ແລະ Susceptors: ໃຊ້ໃນການສະຫນັບສະຫນູນການໃຊ້ຊິລິໂຄນ, ໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະມີຄວາມຮ້ອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຂອງ Epitaxy.
4. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຜະລິດ semiconductor ອື່ນໆ
ຮູບພາບທີ່ຖືກກົດດັນໂດຍ isosatatically ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການນໍາໃຊ້ semiconductor semiconductor:
ຂະບວນການ ETCHING: ໃຊ້ໃນການຜະລິດໄຟຟ້າແລະສ່ວນປະກອບປ້ອງກັນຮູບພາບສໍາລັບ eters. ຄວາມຕ້ານທານດ້ານການກັດທາງຂອງມັນແລະຄວາມບໍລິສຸດສູງຮັບປະກັນສະຖຽນລະພາບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາໃນຂະບວນການ etching.
ເງິນຝາກ vapor ທາງເຄມີ (CVD): ໃຊ້ໃນການຜະລິດຖາດ Grands ແລະເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນພາຍໃນເຕົາໄຟ CVD. ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງຮັບປະກັນການຝາກຫນັງບາງໆທີ່ເປັນເອກະພາບ.
ການທົດສອບການຫຸ້ມຫໍ່: ໃຊ້ໃນການຜະລິດຖາດການທົດສອບແລະຖາດບັນທຸກ. ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການປົນເປື້ອນຕ່ໍາຂອງມັນຮັບປະກັນຜົນການທົດສອບທີ່ຖືກຕ້ອງ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຮູບພາບຂອງກາຟິກ
ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:
ການນໍາໃຊ້ວັດສະດຸ Graphite Purity ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍເນື້ອໃນທີ່ມີຄວາມຍຸຕິທໍາທີ່ສຸດ, ມັນຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານບໍລິສຸດຂອງວັດຖຸທີ່ເຂັ້ມງວດ. ເຕົາໄຟທີ່ບໍລິສຸດຂອງບໍລິສັດສາມາດຊໍາລະລ້າງ Graphite ໄດ້ຕໍ່າກວ່າ 5ppm.
ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ:
ດ້ວຍອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງຂັ້ນສູງແລະເຕັກໂນໂລຢີການປຸງແຕ່ງທີ່ແກ່ເປັນຜູ້ໃຫຍ່, ມັນຮັບປະກັນວ່າວັດຖຸທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຮູບແບບທີ່ມີລັກສະນະແລະມາດຕະຖານຂອງຜະລິດຕະພັນແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ຕໍາແຫນ່ງ.
ປະສິດທິພາບສູງ:
ຜະລິດຕະພັນດັ່ງກ່າວມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຕ້ານທານດ້ານການແຜ່ກະຈາຍ, ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຊິ່ງໄດ້ພົບກັບສະພາບການເຮັດວຽກທີ່ຮຸນແຮງຂອງ semiconductor.
ບໍລິການທີ່ກໍານົດເອງ:
ການອອກແບບຜະລິດຕະພັນທີ່ກໍານົດເອງແລະການບໍລິການປຸງແຕ່ງສາມາດສະຫນອງໃຫ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າຕ້ອງຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງສະຖານະການການສະຫມັກທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ປະເພດຂອງຜະລິດຕະພັນ Graphite
(1) Graphite ISOstatic
ຜະລິດຕະພັນກາເຟ ISostatic ແມ່ນຜະລິດໂດຍການກົດທີ່ເປັນບ້າໆ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບວິທີການສ້າງແບບຟອມອື່ນໆ, crucibles ທີ່ຜະລິດໂດຍຂະບວນການນີ້ມີສະຖຽນລະພາບທີ່ດີເລີດ. ຜະລິດຕະພັນກາຟິກທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການໄປເຊຍກັນທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ທັງຫມົດແມ່ນມີຂະຫນາດໃຫຍ່, ເຊິ່ງຈະນໍາໄປສູ່ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ບໍ່ເທົ່າກັນໃນດ້ານແລະພາຍໃນຂອງຜະລິດຕະພັນ Graphite, ເຊິ່ງບໍ່ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການການນໍາໃຊ້. ໃນການຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການການຊໍາລະລ້າງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເລິກເຊິ່ງຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນເມັດພືດທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ຫຼືເປັນເອກະລັກຂອງພື້ນຜິວແລະຫຼັກຂອງຜະລິດຕະພັນສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການການນໍາໃຊ້.
(2) graphite porous
Porous Graphite ແມ່ນປະເພດຂອງ graphite ມີ porosity ສູງແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຕ່ໍາ. ໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ Sic Crystal, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປັບປຸງອັດຕາການໂອນມວນສານ, ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການປ່ຽນແປງຂອງໄລຍະການປ່ຽນແປງແລະປັບປຸງຮູບຮ່າງຂອງຜລຶກ.
ການນໍາໃຊ້ຮູບພາບ porous ປັບປຸງອຸນຫະພູມແລະອຸນຫະພູມອຸນຫະພູມຂອງພື້ນທີ່ Axial Pine ໃນສະພາການຈະເລີນເຕີບໂຕ, ຮູບພາບດີຂື້ນຊ່ວຍໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງພື້ນທີ່ການເຕີບໂຕ, ເພີ່ມຂື້ນໃນຂະບວນການເຕີບໂຕ, ແລະໃນເວລາດຽວກັນກໍ່ມີບົດບາດໃນການປັບປຸງການໂຕ້ຕອບ Crystal.
(3) ຮູ້ສຶກ
ນຸ່ມແລະຄວາມຮູ້ສຶກອ່ອນທັງສອງຮູ້ສຶກວ່າມີບົດບາດຂອງເອກະສານສະຖິຕິຄວາມຮ້ອນຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນໃນການເຕີບໂຕຂອງ Crystal Crystal ແລະ Epitaxial.
(4) foil graphite
ເຈ້ຍ Graphite ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ມີປະໂຫຍດທີ່ຜະລິດຈາກ graphite ທີ່ມີກາກບອນສູງໂດຍຜ່ານການຮັກສາດ້ວຍສານເຄມີແລະການມ້ວນອຸນຫະພູມສູງ. ມັນມີຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ, ການປະກອບໄຟຟ້າ, ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ.
(5) ເອກະສານປະສົມ
ພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນກາກບອນ - ກາກບອນແມ່ນຫນຶ່ງໃນບໍລິສັດທີ່ບໍລິໂພກຫຼັກໃນການຜະລິດເຕົາແວທີ່ມີຮູບຊົງດ່ຽວແບບດຽວ.
ການຜະລິດ semicorex
semicorex ເຮັດໃຫ້ຮູບພາບທີ່ມີຂະຫນາດນ້ອຍ, ວິທີການຜະລິດທີ່ກໍານົດເອງ. ການຜະລິດຂະຫນາດນ້ອຍເຮັດໃຫ້ຜະລິດຕະພັນສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຫຼາຍຂື້ນ. ຂະບວນການທັງຫມົດຖືກຄວບຄຸມໂດຍຜູ້ຄວບຄຸມຕາມເຫດຜົນຂອງໂປແກຼມ (PLCS), ໄດ້ຖືກບັນທຶກໄວ້, ເຮັດໃຫ້ການຕິດຕາມຊີວິດທີ່ສົມບູນ.
ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ roasting ທັງຫມົດ, ຄວາມສອດຄ່ອງບັນລຸໄດ້ໃນການຕ້ານທານກັບສະຖານທີ່ຕ່າງໆ, ແລະການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໃກ້ຊິດ. ນີ້ຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງວັດສະດຸ graphite.
Semicorex ນໍາໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີການກົດດັນແບບຜີປີສາດຢ່າງເຕັມທີ່, ເຊິ່ງແຕກຕ່າງຈາກຜູ້ສະຫນອງອື່ນໆ; ມັນຫມາຍຄວາມວ່າ graphite ແມ່ນເອກະພາບທີ່ສຸດຂອງມັນເອງແລະໄດ້ຖືກພິສູດໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການ Epitaxial. ການທົດສອບຄວາມເປັນເອກະພາບດ້ານວັດຖຸທີ່ສົມບູນແບບໄດ້ດໍາເນີນການ, ລວມທັງຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ຄວາມຕ້ານທານ, ຄວາມແຂງ, ແລະຄວາມແຂງແຮງໃນທົ່ວຕົວຢ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Rod semicorex graphite ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບລຸ້ນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໃນເຕົາອົບທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະພາບພາຍໃນເຕົາໄຟ. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄວາມຊໍານານຂອງມັນໃນການແກ້ໄຂຮູບພາບທີ່ມີຄວາມລະອຽດໃນຄວາມສໍາຄັນ, ສົ່ງຜົນງານຄວາມສະຖຽນລະພາບສູງແລະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຍາວໃຫ້ກັບຄວາມຕ້ອງການອຸດສາຫະກໍາຂອງທ່ານ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມເຄື່ອງຫຼີ້ນໄຟຟ້າ semicorex graphite ແມ່ນສ່ວນປະກອບຂອງ Graphite ຄວາມສະຖຽນລະພາບສູງທີ່ໃຊ້ເປັນສ່ວນປະກອບຄວາມຮ້ອນຫຼັກໃນເຕົາອົບແຫ້ງ. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄຸນນະພາບວັດສະດຸທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນ, ເຄື່ອງຈັກທີ່ຊັດເຈນ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມແຜ່ນຮອງ Semicorex GRAPHite ແມ່ນມີຄວາມລະອຽດກ່ຽວກັບການອອກແບບຄວາມຖືສັດທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອການຈັດການກັບກະຕຸກແກ້ວຮ້ອນໃນສະພາບແວດລ້ອມດ້ານການຜະລິດທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄຸນນະພາບຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນ, ຄວາມສາມາດໃນການນໍາໃຊ້ເຄື່ອງຈັກ, ແລະປະສິດທິພາບທີ່ສອດຄ່ອງກັບຜູ້ຜະລິດແກ້ວນໍາຫນ້າທົ່ວໂລກ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມsemicorex glassy cond ບອນ condbon ທີ່ມີຄວາມຮູ້ສຶກແມ່ນອຸປະກອນການສນວນກັນທີ່ນິຍົມທີ່ຖືກອອກແບບເພື່ອໃຫ້ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະການເຮັດຄວາມສະອາດໃນລະບົບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ SIG. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄວາມຊໍານານທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນໃນການແກ້ໄຂບັນຫາກາກບອນທີ່ມີຄຸນນະພາບ, ແລະມີຄວາມຕັ້ງໃຈທີ່ຈະສະຫນັບສະຫນູນການຜະລິດ semiconductor semiconductor. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມຖັງ Carboall Carbon Carboallizer ແມ່ນຄວາມເຂັ້ມແຂງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ເຮືອທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ຜະລິດຈາກດັດຊະນີກາກບອນທີ່ດີເລີດ. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄຸນນະພາບວັດສະດຸທີ່ດີກວ່າ, ວິສະວະກໍາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສຸດ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມສ່ວນປະກອບຂອງການສນວນ semicorex ແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດສໍາລັບການປະຕິບັດງານທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບເຕົາໄຟທີ່ມີຄວາມຮູ້ສຶກສູງເພື່ອຮັບປະກັນສະພາບການເຕີບໂຕຂອງ apitaxial. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານການພິສູດຂອງພວກເຮົາໃນການສົ່ງສ່ວນປະກອບຂອງເຕົາໄຟທີ່ມີຄວາມລະອຽດ, ຄວາມທ່ຽງທໍາທີ່ຊ່ວຍໃຫ້ສະຖຽນລະພາບຂອງຂະບວນການ, ແລະອາຍຸຍືນ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ