ຝາຝາຫ້ອງແມ່ນໃຊ້ເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດ, inert, ແລະຖືກປົກປ້ອງຢູ່ໃນຫ້ອງການຊຶມເຊື້ອ, ດັ່ງນັ້ນພວກມັນຖືກສໍາຜັດກັບ plasma ແລະອຸນຫະພູມສູງໃນລະຫວ່າງການຊຶມເຊື້ອຫຼືຂະບວນການ etch. ຝາປິດຫ້ອງ Semicorex ແມ່ນອົງປະກອບເຊລາມິກທີ່ທົນທານທີ່ເຄືອບດ້ວຍຊິລິໂຄນຄາໄບໂດຍນໍາໃຊ້ວິທີການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD), ທີ່ດີທີ່ຈະຢືນຢູ່ກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ທ້າທາຍເຫຼົ່ານີ້.