ຈີນ ອົງປະກອບຂອງ semiconductor ຜູ້ຜະລິດ, ຜູ້ສະໜອງ, ໂຮງງານ

ໃນຖານະເປັນການຜະລິດແບບມືອາຊີບ, ພວກເຮົາຢາກຈະສະຫນອງສ່ວນປະກອບ Semiconductor ໃຫ້ທ່ານ. Semicorex ແມ່ນຄູ່ຮ່ວມງານຂອງທ່ານສໍາລັບການປັບປຸງການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ການເຄືອບ silicon carbide ຂອງພວກເຮົາມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ອຸນຫະພູມສູງແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ, ເຊິ່ງມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນວົງຈອນທັງຫມົດຂອງການຜະລິດ semiconductor, ລວມທັງ semiconductor wafer & wafer processing ແລະ semiconductor fabrication.

ອົງປະກອບທີ່ເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ຂະບວນການໃນ semiconductor. ການສະເຫນີຂອງພວກເຮົາມີຕັ້ງແຕ່ graphite consumables ສໍາລັບໄປເຊຍກັນເຂດຮ້ອນການຂະຫຍາຍຕົວ (ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, crucible susceptors, insulation), ອົງປະກອບ graphite ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສໍາລັບອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer, ເຊັ່ນ silicon carbide coated graphite susceptors ສໍາລັບ Epitaxy ຫຼື MOCVD.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບສໍາລັບຂະບວນການ semiconductor

ໄລຍະການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາບາງໆເຊັ່ນ epitaxy ຫຼື MOCVD, ຫຼືການປຸງແຕ່ງການຈັດການ wafer ເຊັ່ນ etching ຫຼື ion implant ຕ້ອງອົດທົນກັບອຸນຫະພູມສູງແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. Semicorex ສະຫນອງຄວາມບໍລິສຸດສູງ silicon carbide (SiC) ການກໍ່ສ້າງ graphite ເຄືອບໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ທົນທານ, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມຮ້ອນເປັນເອກະພາບສໍາລັບຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ epi ສອດຄ່ອງແລະການຕໍ່ຕ້ານ.

Chamber Lids âυν
Chamber Lids ທີ່ໃຊ້ໃນການຈະເລີນເຕີບໂຕໄປເຊຍກັນແລະການປຸງແຕ່ງການຈັດການ wafer ຕ້ອງທົນກັບອຸນຫະພູມສູງແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.

End Effector â​ະ​ຶ​ລ​ະ
End effector ແມ່ນມືຂອງຫຸ່ນຍົນທີ່ເຄື່ອນຍ້າຍ wafers semiconductor ລະຫວ່າງຕໍາແຫນ່ງໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະ carriers.

ວົງແຫວນຂາເຂົ້າ âυν
SiC coated gas inlet ring ໂດຍອຸປະກອນ MOCVD ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງສານປະສົມມີຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ຍິ່ງໃຫຍ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສຸດ.

ວົງການໂຟກັສ (Focus Ring).
Semicorex ສະຫນອງແຫວນໂຟກັດ Silicon Carbide Coated ແມ່ນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແທ້ໆສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດ RTA, RTP ຫຼືສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.

wafer Chuck â​ຫ​ຶ​ລ​ະ
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum chucks ແມ່ນການເຄືອບ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຈັດການ wafer.