ຈີນ ຫົວອາບ ຜູ້ຜະລິດ, ຜູ້ສະໜອງ, ໂຮງງານ

ຫົວອາບນໍ້າ SiC (ຊິລິຄອນຄາໄບ) ເປັນອົງປະກອບພິເສດທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆ, ໂດຍສະເພາະໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor. ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອແຈກຢາຍແລະສົ່ງອາຍແກັສຂະບວນການເທົ່າທຽມກັນແລະຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ແລະຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial.

ຫົວອາບນ້ຳມີຮູບຮ່າງຄ້າຍຄືແຜ່ນ ຫຼືແຜ່ນທີ່ມີຮູ ຫຼືຫົວຫົວທີ່ກະຈາຍຫຼາຍເທົ່າກັນຢູ່ດ້ານຂອງມັນ. ຮູເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຊ່ອງສຽບສໍາລັບທາດອາຍຂອງຂະບວນການ, ອະນຸຍາດໃຫ້ພວກເຂົາຖືກສີດເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງຂະບວນການຫຼືຫ້ອງຕິກິຣິຍາ. ຂະຫນາດ, ຮູບຮ່າງ, ແລະການແຜ່ກະຈາຍຂອງຮູສາມາດແຕກຕ່າງກັນຂຶ້ນຢູ່ກັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສະເພາະໃດຫນຶ່ງແລະຄວາມຕ້ອງການຂະບວນການ.

ຫນຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຂອງການນໍາໃຊ້ຫົວອາບນ້ໍາ SiC ແມ່ນການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງມັນ. ຄຸນສົມບັດນີ້ເຮັດໃຫ້ການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຫນ້າອາບນ້ໍາ, ປ້ອງກັນຈຸດຮ້ອນແລະຮັບປະກັນສະພາບຂະບວນການທີ່ສອດຄ່ອງ. ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນຍັງຊ່ວຍໃຫ້ຫົວອາບນ້ໍາເຢັນຢ່າງໄວວາຫຼັງຈາກຂະບວນການ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດແລະເພີ່ມຜົນຜະລິດໂດຍລວມ.

ຫົວອາບນໍ້າ SiC ມີຄວາມທົນທານສູງ ແລະທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ ແລະນໍ້າຕາ, ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການສໍາຜັດເປັນເວລາດົນນານກັບທາດອາຍພິດທີ່ກັດກ່ອນ ແລະອຸນຫະພູມສູງ. ຄວາມຍືນຍາວນີ້ແປເປັນໄລຍະການບຳລຸງຮັກສາທີ່ຂະຫຍາຍອອກໄປ ແລະເວລາການຢຸດເຄື່ອງອຸປະກອນຫຼຸດລົງ, ເຮັດໃຫ້ການປະຫຍັດຕົ້ນທຶນ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນຂະບວນການປັບປຸງ.

ນອກເຫນືອຈາກຄວາມທົນທານຂອງມັນ, ຫົວອາບນ້ໍາ SiC ສະເຫນີຄວາມສາມາດໃນການກະຈາຍອາຍແກັສທີ່ດີເລີດ. ຮູບແບບ ແລະ ການກຳນົດຄ່າຂອງຂຸມທີ່ຖືກອອກແບບຢ່າງແນ່ນອນ ຮັບປະກັນການໄຫຼວຽນຂອງອາຍແກັສ ແລະ ການແຜ່ກະຈາຍຢູ່ທົ່ວພື້ນຜິວຍ່ອຍ, ສົ່ງເສີມການຊຶມເຊື້ອຂອງຟິມທີ່ສອດຄ່ອງ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນທີ່ດີຂຶ້ນ. ການແຜ່ກະຈາຍອາຍແກັສເອກະພາບຍັງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຮູບເງົາ, ອົງປະກອບແລະຕົວກໍານົດການທີ່ສໍາຄັນອື່ນໆ, ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການປັບປຸງການຄວບຄຸມຂະບວນການແລະຜົນຜະລິດ.

Semicorex ສະຫນອງຫົວອາບນ້ໍາຊິລິຄອນ carbide semiconductor sintered ຄວາມຕ້ານທານຕ່ໍາ. ພວກ​ເຮົາ​ມີ​ຄວາມ​ສາ​ມາດ​ທີ່​ຈະ​ວິ​ສະ​ວະ​ກອນ​ທີ່​ກໍາ​ນົດ​ເອງ​ແລະ​ການ​ສະ​ຫນອງ​ວັດ​ສະ​ດຸ ceramic ແບບ​ພິ​ເສດ​ໂດຍ​ນໍາ​ໃຊ້​ຄວາມ​ຫຼາກ​ຫຼາຍ​ຂອງ​ຄວາມ​ສາ​ມາດ​ເປັນ​ເອ​ກະ​ລັກ​.