Pancake susceptor, ເປັນຮູບກົມຂອງ wafer carrier ທີ່ໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor.
Epitaxy ແມ່ນຂັ້ນຕອນທີ່ສໍາຄັນໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ທີ່ເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນ epitaxial ໃນ wafers semiconductor, ເຊິ່ງ wafers ໄດ້ຖືກປະຕິບັດຢູ່ໃນ graphite susceptors. ຄຸນນະພາບຂອງ graphite susceptors ແມ່ນຄວາມຮັກທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຄຸນນະພາບຂອງ epi-wafers ໄດ້.
Graphite susceptors ທີ່ມີການເຄືອບ silicon carbide
Semicorex ສະຫນອງ susceptors ແລະອົງປະກອບສໍາລັບເຄື່ອງປະຕິກອນ epitaxy ທັງຫມົດ, ລວມທັງsuceptors ຖັງແລະ susceptors pancake. ພວກເຮົາໃຊ້ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະການເຄືອບ CVD SiC.