TaC coating graphite ແມ່ນສ້າງຂື້ນໂດຍການເຄືອບພື້ນຜິວຂອງ substrate graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍຊັ້ນອັນດີງາມຂອງ tantalum carbide ໂດຍຂະບວນການ Deposition ອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).
Tantalum carbide (TaC) ແມ່ນສານປະກອບທີ່ປະກອບດ້ວຍ tantalum ແລະຄາບອນ. ມັນມີການນໍາໃຊ້ໄຟຟ້າຂອງໂລຫະແລະຈຸດລະລາຍສູງເປັນພິເສດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸ ceramic refractory ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມເຂັ້ມແຂງ, ຄວາມແຂງ, ແລະຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່. ຈຸດລະລາຍຂອງ Tantalum Carbides ສູງສຸດຢູ່ທີ່ປະມານ 3880 ° C ຂຶ້ນກັບຄວາມບໍລິສຸດແລະມີຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດໃນບັນດາທາດປະສົມສອງ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ດຶງດູດໃຈໃນເວລາທີ່ຄວາມຕ້ອງການອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນເກີນຄວາມສາມາດປະສິດທິພາບທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການປະສົມ semiconductors epitaxial ເຊັ່ນ MOCVD ແລະ LPE.
ຂໍ້ມູນວັດສະດຸຂອງການເຄືອບ Semicorex TaC
ໂຄງການ |
ພາລາມິເຕີ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ |
14.3 (ກມ/ຊມ3) |
ການປ່ອຍອາຍພິດ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
ຄວາມແຂງ (HK) |
2000 |
ຄວາມຕ້ານທານ (Ohm-cm) |
1×10-5 |
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ |
<2500℃ |
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite |
-10~-20um (ຄ່າອ້າງອີງ) |
ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບ |
≥20um ຄ່າປົກກະຕິ(35um±10um) |
|
|
ຂ້າງເທິງນີ້ແມ່ນຄ່າປົກກະຕິ |
|
Semicorex Tantalum Carbide Part ແມ່ນອົງປະກອບ graphite ເຄືອບ TaC ທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໃນການນໍາໃຊ້ການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊິລິໂຄນ carbide (SiC), ສະຫນອງອຸນຫະພູມທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບອົງປະກອບຄຸນນະພາບສູງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງໄປເຊຍກັນແລະປະສິດທິພາບການຜະລິດໃນການຜະລິດ semiconductor.*
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມແຫວນ Semicorex Tantalum Carbide ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ. ທີ່ຮູ້ຈັກກັບຄວາມແຂງກະດ້າງພິເສດ, ຈຸດລະລາຍສູງ, ແລະຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີ, ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາມີຄວາມຕັ້ງໃຈທີ່ຈະຈັດສົ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນະພາບແລະປະສິດທິພາບສູງສຸດ, ຮັບປະກັນວ່າລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາຍັງຄົງຢູ່ແຖວຫນ້າຂອງນະວັດຕະກໍາໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.*
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor ເປັນຖາດ graphite ທີ່ເຄືອບດ້ວຍ tantalum carbide, ໃຊ້ໃນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ silicon carbide epitaxial ເພື່ອເພີ່ມຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງ wafer. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບເທກໂນໂລຍີການເຄືອບທີ່ກ້າວຫນ້າແລະການແກ້ໄຂທົນທານທີ່ຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບ SiC epitaxy ທີ່ດີກວ່າແລະອາຍຸການຍືດເຍື້ອຂອງ susceptor.*
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມTaC Coating Guide Rings ແມ່ນວົງ graphite ທີ່ມີການເຄືອບ tantalum carbide, ອອກແບບສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນ furnaces ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ silicon carbide ເສີມຂະຫຍາຍຄຸນນະພາບໄປເຊຍກັນ. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບເທກໂນໂລຍີການເຄືອບທີ່ກ້າວຫນ້າ, ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານທີ່ເຫນືອກວ່າ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະປະສິດທິພາບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຜລຶກທີ່ດີທີ່ສຸດ.*
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມແຫວນຄູ່ມື Semicorex Tantalum Carbide ເປັນວົງແຫວນ graphite ທີ່ເຄືອບດ້ວຍ tantalum carbide, ໃຊ້ໃນເຕົາອົບຂອງ silicon carbide crystal ສໍາລັບການສະຫນັບສະຫນູນໄປເຊຍກັນຂອງເມັດ, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບອຸນຫະພູມ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການເຕີບໂຕ. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າແລະການອອກແບບຂອງມັນ, ເຊິ່ງປັບປຸງປະສິດທິພາບແລະຄຸນນະພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ.*
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມແຫວນ Semicorex Tantalum Carbide ເປັນວົງແຫວນ graphite ທີ່ເຄືອບດ້ວຍ tantalum carbide, ໃຊ້ເປັນແຫວນຄູ່ມືໃນເຕົາອົບຂອງ silicon carbide ໄປເຊຍກັນເພື່ອຮັບປະກັນອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແລະການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບເທກໂນໂລຍີການເຄືອບຊັ້ນສູງແລະວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ສະຫນອງອົງປະກອບທີ່ທົນທານແລະເຊື່ອຖືໄດ້ທີ່ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກແລະອາຍຸຜະລິດຕະພັນ.*
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ