ທໍ່ຄູ່ມືພາຍໃນ

Semicorex Inner Guide Tube ແມ່ນເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາອົງປະກອບຂອງຄາບອນ/ຄາບອນ (C/C).ອອກແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານຄວາມຮ້ອນ, ໂດຍສະເພາະໃນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນຊິລິຄອນຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ໃນຖານະເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນພາຍໃນ furnace ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ, ອົງປະກອບນີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຮູບຮ່າງແລະສະຖຽນລະພາບຂອງ gradient ຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນການສ້າງໄປເຊຍກັນທີ່ດີທີ່ສຸດແລະຄຸນນະພາບວັດສະດຸສອດຄ່ອງ.

ຜະລິດຈາກທາດປະສົມກາກບອນທີ່ມີເສັ້ນໄຍກາກບອນທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ທໍ່ຄູ່ມືພາຍໃນສະຫນອງຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງພິເສດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຮຸນແຮງ. ດ້ວຍຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ ≥1.35 g / cm³ ແລະຄວາມທົນທານຂອງ flexural ≥110 MPa, ມັນຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງກົນຈັກເຖິງແມ່ນວ່າໃນໄລຍະການສໍາຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນໃນການຜະລິດຊິລິໂຄນລະດັບ semiconductor, ບ່ອນທີ່ເຖິງແມ່ນວ່າການເຫນັງຕີງເລັກນ້ອຍໃນສະພາບຄວາມຮ້ອນສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຜລຶກແລະອັດຕາການຜິດປົກກະຕິ.

ຟັງຊັນຫຼັກ: ການຄວບຄຸມການເລື່ອນຄວາມຊັດເຈນ

ບົດບາດຕົ້ນຕໍຂອງທໍ່ຄູ່ມື C/C ພາຍໃນແມ່ນການກໍ່ສ້າງພາກສະຫນາມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ. ໃນ​ລະ​ຫວ່າງ​ຂະ​ບວນ​ການ​ການ​ຂະ​ຫຍາຍ​ຕົວ​ຂອງ​ຊິ​ລິ​ໂຄນ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​, ມັນ​ຖືກ​ຕໍາ​ແຫນ່ງ​ໂດຍ​ກົງ​ຂ້າງ​ເທິງ​ລະ​ລາຍ​ເພື່ອ​:

ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສໂດຍກົງ: ມັນນໍາພາການໄຫຼເຂົ້າຂອງອາຍແກັສ argon inert, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າ vapors ຊິລິຄອນ oxide (SiO) ຖືກກວາດໄປຈາກຫນ້າດິນລະລາຍຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງອົກຊີໃນໄປເຊຍກັນ.

Thermal Shielding: ມັນປ້ອງກັນໄປເຊຍກັນການຂະຫຍາຍຕົວຈາກ radiation ຄວາມຮ້ອນໂດຍກົງຈາກຝາ crucible, ສ້າງຕັ້ງ gradient ອຸນຫະພູມຕາມແກນ steep ທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການດຶງໄປເຊຍກັນຄວາມໄວສູງ, ຄຸນນະພາບສູງ.

ປະສິດທິພາບພະລັງງານ: ໂດຍການສຸມໃສ່ຄວາມຮ້ອນພາຍໃນເຂດ melting ແລະ insulating ອົງປະກອບ furnace ເທິງ, ມັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຫຼຸດຜ່ອນການບໍລິໂພກພະລັງງານທັງຫມົດ.

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະດ້ານວິຊາການ & ວັດສະດຸທີ່ດີເລີດ

ທໍ່ຄູ່ມືພາຍໃນຂອງພວກເຮົາແມ່ນຜະລິດໂດຍໃຊ້ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງຄາບອນ / ຄາບອນປະສົມ, ສະຫນອງທາງເລືອກທີ່ດີກວ່າກັບ graphite ພື້ນເມືອງ. ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸແມ່ນຖືກປັບໃຫ້ເໝາະສົມກັບເງື່ອນໄຂທີ່ຮ້າຍກາດຂອງເຕົາອົບສູນຍາກາດ semiconductor:

ຄວາມໜາແໜ້ນ: ≥ 1.35 g/cm³

ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural: ≥ 110 MPa

ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K

ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (ອຸນຫະພູມຫ້ອງ): ≤ 10 W/(m·K)

ອຸດສາຫະກໍາ

ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາກ້າວໄປສູ່ຂະຫນາດ wafer ທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ (300mm ແລະ 450mm), ຄວາມຕ້ອງການໃນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ທໍ່ຄູ່ມືພາຍໃນຂອງພວກເຮົາແມ່ນເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຍີ່ຫໍ້ furnace CZ ທີ່ສໍາຄັນແລະສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ໃນແງ່ຂອງເລຂາຄະນິດແລະການເຄືອບ.