Dummy Wafer ແມ່ນຫຍັງ

A DummyWaferແມ່ນ wafer ພິເສດທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍເພື່ອຕື່ມຂໍ້ມູນໃສ່ອຸປະກອນເຄື່ອງຈັກໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຜະລິດ wafer. ບໍ່ເຫມືອນກັບ wafers ການຜະລິດ, Dummy Wafers ບໍ່ໄດ້ມີຈຸດປະສົງເພື່ອຂາຍເປັນຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບແລະປົກກະຕິແລ້ວບໍ່ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດຕົວຈິງ. ຈຸດ​ປະ​ສົງ​ຕົ້ນ​ຕໍ​ຂອງ​ເຂົາ​ເຈົ້າ​ແມ່ນ​ເພື່ອ​ຕອບ​ສະ​ຫນອງ​ຄວາມ​ຕ້ອງ​ການ​ການ​ປະ​ຕິ​ບັດ​ການ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ສະ​ເພາະ​, ເສີມ​ຂະ​ຫຍາຍ​ຄວາມ​ຫມັ້ນ​ຄົງ​ຂະ​ບວນ​ການ​, ການ​ປັບ​ປຸງ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຊັບ​ພະ​ຍາ​ກອນ​, ແລະ​ຫຼຸດ​ຜ່ອນ​ຄວາມ​ສ່ຽງ​ການ​ຜະ​ລິດ​. ດັ່ງນັ້ນ, ການອອກແບບແລະການນໍາໃຊ້ຂອງ Dummy Wafers ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງການຄຸ້ມຄອງການຜະລິດ wafer fabrication (fab).

ຫນ້າທີ່ທີ່ສໍາຄັນຂອງ DummyWafers

1. ຄວາມອາດສາມາດຂອງອຸປະກອນການຕື່ມ: ອຸປະກອນການຜະລິດທີ່ແນ່ນອນເຊັ່ນທໍ່ furnace ແລະ etchers, ຈໍາເປັນຕ້ອງມີຈໍານວນ wafers ຕໍາ່ສຸດໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານເພື່ອຮັກສາການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ພາກສະຫນາມອຸນຫະພູມ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມຕິກິຣິຍາເຄມີ. ຖ້າ wafers ການຜະລິດຫນ້ອຍລົງໃນອຸປະກອນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການປະຕິບັດສາມາດຖືກຫຼຸດຫນ້ອຍລົງ, ຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຂະບວນການ. Dummy Wafers ຖືກຈ້າງງານເພື່ອເສີມຈໍານວນຂອງ wafers, ຮັບປະກັນອຸປະກອນເຮັດວຽກໃນເວລາໂຫຼດທີ່ດີທີ່ສຸດ, ຄ້າຍຄືກັນກັບວິທີການເຕົາອົບເຕັມທີ່ສະຫນອງຄວາມຮ້ອນເຖິງແມ່ນວ່າ.

2. ການປົກປ້ອງ Wafers ການຜະລິດ: ໃນຂະບວນການທີ່ມີຄວາມສ່ຽງສູງເຊັ່ນ implantation ion, etching, ແລະ vapor deposition ສານເຄມີ (CVD), ອາດຈະ instability ຫຼືການຜະລິດ particle ໃນໄລຍະເບື້ອງຕົ້ນ. ການນໍາໃຊ້ wafers ການຜະລິດໂດຍກົງຈະມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການສູນເສຍຜົນຜະລິດທີ່ບໍ່ສາມາດປ່ຽນແປງໄດ້. Dummy Wafers ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນມາດຕະການລະມັດລະວັງ, ການປະເມີນຄວາມປອດໄພຂອງຂະບວນການກ່ອນທີ່ຈະແນະນໍາ wafers ການຜະລິດ.

3. ຂະ​ບວນ​ການ​ກະ​ຈາຍ​ຢ່າງ​ເທົ່າ​ທຽມ​ກັນ​: ໃນ​ລະ​ຫວ່າງ​ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ​, wafers ພາຍ​ໃນ​ບັນ​ທຸກ (ເຊັ່ນ​ທໍ່ furnace ຫຼື​ຫ້ອງ​ການ etching​) ຕ້ອງ​ໄດ້​ຮັບ​ການ​ແຈກ​ຢາຍ​ເທົ່າ​ທຽມ​ກັນ​ເພື່ອ​ຮັບ​ປະ​ກັນ​ຜົນ​ໄດ້​ຮັບ​ທີ່​ສອດ​ຄ່ອງ​. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (PVD), ການຈັດວາງ asymmetrical ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ອັດຕາການຝາກແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນ. Dummy Wafers ຊ່ວຍດຸ່ນດ່ຽງການຈັດວາງ, ສົ່ງເສີມຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຕະຫຼອດຂະບວນການ.

4. ການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນອຸປະກອນທີ່ບໍ່ເຮັດວຽກ: ອຸປະກອນໃນການຜະລິດ wafer ໃຊ້ຊັບພະຍາກອນທີ່ສໍາຄັນໃນລະຫວ່າງການເລີ່ມຕົ້ນແລະປິດເຄື່ອງ. ຄວາມອິດເມື່ອຍແກ່ຍາວຍ້ອນຂາດການຜະລິດ wafers ສາມາດເສຍຊັບພະຍາກອນ ແລະເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບຫຼຸດລົງ. ການປຸງແຕ່ງ Dummy Wafers ຮັກສາອຸປະກອນຢ່າງຫ້າວຫັນແລະກຽມພ້ອມສໍາລັບການຜະລິດໃນອະນາຄົດ.

5. ການປະຕິບັດການກວດສອບອຸປະກອນ ແລະຂະບວນການແກ້ບັນຫາ: Dummy Wafers ມັກຈະເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການກວດສອບອຸປະກອນ. ຫຼັງຈາກການບໍາລຸງຮັກສາແລະການທໍາຄວາມສະອາດ, wafers ເຫຼົ່ານີ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອກວດກາເບິ່ງການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນ. ຖ້າມີບັນຫາໃດໆເກີດຂື້ນ, ການປັບຕົວສາມາດເຮັດໄດ້ໂດຍບໍ່ຕ້ອງເສຍ wafers ການຜະລິດທີ່ມີຄຸນຄ່າ. ຂະບວນການນີ້ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບການໃຊ້ຢາງທົດສອບໃນລົດກ່ອນທີ່ຈະປ່ຽນແທນດ້ວຍຢາງທີ່ຜະລິດລາຄາສູງ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, DummyWafersມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການຜະລິດ wafer. ການນໍາໃຊ້ທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງພວກເຂົາປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການບໍາລຸງຮັກສາອຸປະກອນ, ການແກ້ບັນຫາຂະບວນການ, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຊັບພະຍາກອນ, ແລະປະສິດທິພາບການຜະລິດໂດຍລວມ, ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນຂະນະທີ່ເພີ່ມການນໍາໃຊ້ອຸປະກອນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.