ສົນທະນາກ່ຽວກັບ furnace CVD

ແມ່ນຫຍັງ aເຕົາ CVD?

ເຕົາເຜົາ CVD (ການລະບາຍອາຍພິດທາງເຄມີ) ແມ່ນປະເພດຂອງເຕົາທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເພື່ອຝາກຮູບເງົາບາງໆຂອງວັດສະດຸຕ່າງໆໃສ່ substrate. ຂະບວນການດັ່ງກ່າວແມ່ນດໍາເນີນຢູ່ໃນສູນຍາກາດຫຼືສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕ່ໍາ, ການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາທີ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບວັດສະດຸ substrate ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆທີ່ຕ້ອງການ. ເຕົາ CVD ເປັນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດຈຸນລະພາກ, ຈຸລັງແສງຕາເວັນ, ແລະອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆ.

ເຕົາ CVD ເຮັດວຽກແນວໃດ?

ເຕົາ CVDເຮັດ​ວຽກ​ໂດຍ​ການ​ສ້າງ​ສະ​ພາບ​ແວດ​ລ້ອມ​ຄວາມ​ກົດ​ດັນ​ຕ​່​ໍ​າ​ໃນ​ຫ້ອງ​ການ​ແລະ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ reactive ເຂົ້າ​ໄປ​ໃນ​ຫ້ອງ​. ອາຍແກັສ reacts ກັບວັດສະດຸ substrate ແລະປະກອບເປັນຮູບເງົາບາງໆຢູ່ດ້ານຂອງ substrate ໄດ້. ຂະບວນການດັ່ງກ່າວແມ່ນດໍາເນີນຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ໂດຍປົກກະຕິລະຫວ່າງ 500 ° C ຫາ 1200 ° C, ຂຶ້ນກັບປະເພດຂອງວັດສະດຸທີ່ຖືກຝາກໄວ້.

ວັດສະດຸຍ່ອຍໄດ້ຖືກວາງໄວ້ພາຍໃນຫ້ອງ furnace, ແລະສະພາການໄດ້ຖືກປະທັບຕາ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ອາຍແກັສ reactive ໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນກັບອຸນຫະພູມສູງ. ໂມເລກຸນກ໊າຊ react ກັບວັດສະດຸ substrate, ແລະຜະລິດຕະພັນຜົນໄດ້ຮັບປະກອບເປັນຮູບເງົາບາງໆຢູ່ດ້ານຂອງ substrate ໄດ້.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ furnace CVD ແມ່ນຫຍັງ?

ເຕົາ CVDມີຫຼາຍຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ລວມທັງ:

1. ການຖິ້ມຂອງຊິລິໂຄນໄດອອກໄຊ, ຊິລິຄອນ nitride, ແລະວັດສະດຸ dielectric ອື່ນໆທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ microchip.

2. ການຖິ້ມຂອງ polysilicon ແລະວັດສະດຸ conductive ອື່ນໆທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ microchips.

3.ການຖິ້ມຂອງຮູບເງົາໂລຫະ, ເຊັ່ນອາລູມິນຽມແລະທອງແດງ, ນໍາໃຊ້ໃນການເຊື່ອມຕໍ່ກັນລະຫວ່າງຊັ້ນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງ microchip.

4. ການຖິ້ມຂອງຮູບເງົາບາງໆສໍາລັບການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ.

5. ການຖິ້ມຂອງສານເຄືອບສໍາລັບການຜະລິດຊິ້ນສ່ວນທີ່ທົນທານຕໍ່ພັຍແລະເຄື່ອງມື.

ສະຫຼຸບແລ້ວ,ເຕົາ CVDເປັນ​ເຄື່ອງ​ມື​ທີ່​ສໍາ​ຄັນ​ສໍາ​ລັບ​ອຸດ​ສາ​ຫະ​ກໍາ semiconductor​, ເຮັດ​ໃຫ້​ການ​ຜະ​ລິດ​ຂອງ microchips​, ຈຸ​ລັງ​ແສງ​ຕາ​ເວັນ​, ແລະ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຣ​ນິກ​ອື່ນໆ​. ມັນເຮັດວຽກໂດຍການສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕ່ໍາພາຍໃນຫ້ອງແລະແນະນໍາອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາທີ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບວັດສະດຸຍ່ອຍເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆ. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງມັນແມ່ນກວ້າງຂວາງແລະແຕກຕ່າງກັນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ.