semiconductor showerheads

ໄດ້ແຜ່ນການແຈກຢາຍແກ gas ດ, ມັກຈະເອີ້ນວ່າ "ອາບນ້ໍາ," ອາດຈະຄ້າຍຄືກັບອາບທໍາມະດາ, ແຕ່ວ່າລາຄາຂອງມັນສາມາດບັນລຸໄດ້ຫລາຍຮ້ອຍພັນຄົນ, ສູງກວ່າຫ້ອງອາບນ້ໍາທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ຂື້ນ.

ພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນການແຈກຢາຍກ gas າຊມີລັກສະນະຫຼາຍຮ້ອຍພັນໂຕຫລືແມ້ແຕ່ຫລາຍພັນໂຕທີ່ມີຢູ່ໃນເຄືອຂ່າຍທີ່ລະອຽດ. ການອອກແບບນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ມີການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງກະແສນ້ໍາແລະສີດພົ່ນ, ຮັບປະກັນໃຫ້ທຸກໆສ່ວນຂອງພື້ນທີ່ປຸງແຕ່ງ wafer ແມ່ນ "ອາບນ້ໍາ" ໃນອາຍແກັສປຸງແຕ່ງ. ນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດແຕ່ຍັງຊ່ວຍປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ແຜ່ນການແຈກຢາຍກ gas າຊແມ່ນມີການເຊື່ອມໂຍງກັບຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ການເຮັດຄວາມສະອາດ, ການລະບາຍອາກາດ, ແລະການຝາກເງິນ. ມັນມີອິດທິພົນຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງໂດຍກົງຂອງຂະບວນການ semiconductor ແລະຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນໃນການນໍາໃຊ້ກ gas າຊ.

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຕິກິລິຍາທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດ, ພື້ນຜິວຂອງອາບນ້ໍາຖືກປົກຄຸມຢ່າງດົກຫນາກັບຈຸລິນຊີ (Aperture 0.2-6 ມມ). ຜ່ານໂຄງສ້າງໂຄງສ້າງອາຍແກັສທີ່ຖືກອອກແບບໃຫ້ຊັດເຈນ, ຕ້ອງໄດ້ຜ່ານຮູທີ່ມີຂະຫນາດນ້ອຍຫລາຍພັນຊ່ອງແລະຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ຈະຖືກຝາກໃສ່ດ້ານ wafer. ຊັ້ນຮູບເງົາໃນຂົງເຂດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງ Wafer ຕ້ອງການຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບສູງແລະຄວາມສອດຄ່ອງ. ເພາະສະນັ້ນ, ນອກເຫນືອໄປຈາກຄວາມຕ້ອງການສູງທີ່ສຸດສໍາລັບຄວາມສະອາດແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນ, ແຜ່ນການແຈກຢາຍອາຍແກັສກໍ່ມີຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູນ້ອຍໆແລະໄຟໄຫມ້ໃນຝາຂະຫນາດນ້ອຍ. ຖ້າຄວາມທົນທານຕໍ່ລະດັບຕ່ໍາທີ່ມີຂະຫນາດແລະມີຄວາມຫນາແຫນ້ນເກີນໄປຫຼືມີ burrs ຢູ່ໃນຝາດ້ານໃນ

ວັດສະດຸຂອງແຜ່ນການແຈກຢາຍແກ gas ດແມ່ນບາງຄັ້ງວັດສະດຸທີ່ເປັນຫມັນ ມັນຍັງເປັນຂຸມເລິກທີ່ສຸດພາຍໃນເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 50 ເທົ່າຂອງໄມໂຄຣໂຟນ, ແລະສະຖານະການຕັດບໍ່ສາມາດສັງເກດໄດ້ໂດຍກົງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມຮ້ອນທີ່ຕັດບໍ່ແມ່ນເລື່ອງງ່າຍທີ່ຈະສົ່ງຕໍ່ແລະການກໍາຈັດຊິບແມ່ນຍາກ, ແລະການເຈາະເຈາະໄດ້ງ່າຍຍ້ອນການສະກັດຊິບ. ເພາະສະນັ້ນ, ການປຸງແຕ່ງແລະການກະກຽມຂອງມັນແມ່ນມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກຫຼາຍ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ໃນຂະບວນການທີ່ຊ່ວຍໃນ plasma (ເຊັ່ນ: pecvd ແລະ itching ແຫ້ງ), ສ່ວນຫນຶ່ງຂອງ election, ເຊິ່ງເປັນສ່ວນຫນຶ່ງຂອງການສະຫນອງໄຟຟ້າ, ເຮັດໃຫ້ພື້ນຖານຂອງການປັບປຸງຫຼືການປັບປຸງການຝາກເງິນ.

ນັບຕັ້ງແຕ່ທາດອາຍຜິດທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ອາດຈະເປັນອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງຫຼື corrosive, showers ມັກເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດ. ໃນການຜະລິດຕົວຈິງ, ເນື່ອງຈາກສະຖານະການການນໍາໃຊ້ທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຄວາມຕ້ອງການທີ່ຕ້ອງການຕົວຈິງ, ແຜ່ນການແຈກຢາຍອາຍແກັສສາມາດແບ່ງອອກເປັນສອງປະເພດຕໍ່ໄປນີ້:

(1) ແຜ່ນການແຈກຢາຍອາຍແກັສໂລຫະ

ວັດສະດຸຂອງແຜ່ນມີການແຈກຢາຍອາຍແກັສໂລຫະປະກອບມີໂລຫະປະສົມອາລູມີນຽມ, ເຫລັກສະແຕນເລດແລະໂລຫະ nickel, ເພາະວ່າມັນມີໂລຫະປະສົມທີ່ມີອາລູມີນຽມແລະມີຄວາມຮ້ອນແຮງ. ມັນສາມາດໃຊ້ໄດ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງແລະງ່າຍຕໍ່ການປຸງແຕ່ງ.

(2) ແຜ່ນແຈກເງິນທີ່ບໍ່ແມ່ນໂລຫະ

ບັນດາວັດສະດຸຂອງແຜ່ນຈໍາຫນ່າຍທີ່ບໍ່ແມ່ນໂລຫະປະກອບດ້ວຍໂລຫະປະສົມປະກອບມີຊິລິໂຄນດຽວ, ແກ້ວ quartz ແລະອຸປະກອນການເຮັດອາຫານ. ໃນບັນດາພວກມັນ, ວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໃນການໃຊ້ທົ່ວໄປແມ່ນ CVD-SIC, SICE CORAMASS, Silicon nitride peramics, ແລະອື່ນໆ.

semicorex ສະເຫນີຄຸນນະພາບສູງCVD SICHEADSSໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ຖ້າທ່ານມີຄໍາຖາມໃດໆຫຼືຕ້ອງການລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ກັບພວກເຮົາ.

ຕິດຕໍ່ໂທລະສັບ # + 86-1367891907

Email: Sales@sememicorex.com