showerheads ໃນ eching

ShowerShhe ShowerSS Silicon Carbide (SIC) ສ່ວນປະກອບສໍາຄັນໃນອຸປະກອນການຜະລິດທີ່ມີປະສິດທິຜົນ, ການຝາກເງິນທີ່ມີຄວາມກ້າວຫນ້າເຊັ່ນ: ເງິນຝາກ vapor (CVD) ແລະປະຢັດ

ຫນ້າທີ່ຫຼັກຂອງ asic showerheadແມ່ນການແຈກຢາຍທາດອາຍຜິດໃຫ້ທົ່ວໄປໃນດ້ານ wafer, ຮັບປະກັນວ່າຊັ້ນຝາກທີ່ເປັນເອກະພາບແລະເຫມາະສົມ. ໃນ CVD ແລະ ALD Processeses, ການແຈກຢາຍທາດອາຍຜິດທີ່ມີປະຕິກິລິຍາແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຮູບເງົາບາງໆທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະລັກແລະຄຸນລັກສະນະດ້ານວັດຖຸຂອງ Showerheads ເປີດໃຊ້ກ Gas າຊທີ່ມີປະສິດຕິພາບແລະກະແສແກັດທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດສໍາລັບຄຸນນະພາບຮູບເງົາແລະການປະຕິບັດໃນ semiconductor.

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການປະຕິເສດທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດ, ດ້ານ showerhead ແມ່ນປົກຄຸມຢ່າງຫນາແຫນ້ນດ້ວຍຈຸລິນຊີ (Pore Diameter 0.2 ມມ). ໂດຍຜ່ານການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ຖືກອອກແບບຢ່າງແນ່ນອນ, ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໄດ້ຜ່ານຮູນ້ອຍໆຫລາຍພັນໂຕໃນແຜ່ນແຈກຢາຍອາຍແກັສແລະຝາກໃສ່ຫນ້າດິນ. ນີ້ຮັບປະກັນຊັ້ນຮູບເງົາທີ່ມີເອກະພາບສູງແລະສອດຄ່ອງກັນທົ່ວເຂດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງ wafer. ເພາະສະນັ້ນ, ນອກເຫນືອໄປຈາກຄວາມຕ້ອງການສູງທີ່ສຸດສໍາລັບຄວາມສະອາດແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນ, ແຜ່ນການແຈກຢາຍອາຍແກັສກໍ່ມີຄວາມຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມສອດຄ່ອງກັບເສັ້ນຜ່າສູນກາງ ererture ແລະການປະກົດຕົວຂອງ ertruures. ຄວາມທົນທານແລະຄວາມທົນທານເກີນມາດຕະຖານຂອງຂະຫນາດ ererture, ຫຼືການປະກົດຕົວຂອງ burrs ໃນກໍາແພງດ້ານໃນ, ຈະນໍາໄປສູ່ຄວາມຫນາໃນຝາທີ່ບໍ່ສະຫມໍ່າສະເຫມີ, ຜົນກະທົບໂດຍກົງກັບຜົນຜະລິດຂັ້ນຕອນຂອງຂະບວນການຂອງອຸປະກອນ. ໃນຂະບວນການທີ່ຢັ້ງຢືນ plasma (ເຊັ່ນ: pecvd ແລະການຫົດຫູ່ແຫ້ງ, ເປັນສ່ວນຫນຶ່ງຂອງ electrode, ສົ່ງເສີມການແຈກຢາຍ plasma ທີ່ເປັນເອກະພາບແລະດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບດ້ານການເງິນຫຼືການຝາກເງິນ.

SIC showeredss ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດວົງຈອນ microlectroctions, microelectroctromatchanical (Mems), semiconductors ພະລັງງານ, ແລະທົ່ງນາອື່ນໆ. ຂໍ້ໄດ້ປຽບການສະແດງຂອງພວກເຂົາແມ່ນເຫັນໄດ້ຊັດເຈນໂດຍສະເພາະໃນຂໍ້ກໍານົດທີ່ກ້າວຫນ້າທີ່ຕ້ອງການຝາກເງິນທີ່ມີຄວາມຈໍາເປັນ, ເຊັ່ນ: 7NM ແລະຕ່ໍາກວ່າ. ພວກເຂົາໃຫ້ອາຍແກັສຈໍານວນອາຍແກັສທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເປັນເອກະພາບ, ຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊັ້ນທີ່ຝາກ, ເຮັດໃຫ້ພື້ນຖານຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

semicorex ສະເຫນີປັບແຕ່ງcvd sicແລະຊິລິກາ ອາບນ້ໍາອີງໃສ່ຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ. ຖ້າທ່ານມີຄໍາຖາມໃດໆຫຼືຕ້ອງການລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ກັບພວກເຮົາ.

ຕິດຕໍ່ໂທລະສັບ # + 86-1367891907

Email: Sales@sememicorex.com