ການຮັກສາພື້ນຜິວສໍາລັບເຄື່ອງຈັກໄຟຟ້າທີ່ສຸດ

ໄດ້plectrostatic chuckປະຕິບັດຫນ້າທີ່ຫຼາຍຢ່າງເຊັ່ນ: ການລົງຂາວ electrostatic ທີ່ເປັນເອກະພາບ, ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນແລະການໂຄສະນາທີ່ມີຄວາມຮ້ອນແລະການແກ້ໄຂແລະການແກ້ໄຂໃນຂະແຫນງການຜະລິດ semiconductor. ຫນຶ່ງໃນຫນ້າທີ່ຫຼັກຂອງ ESC ແມ່ນການເຮັດວຽກທີ່ເປັນຕາເຊື່ອທີ່ສຸດພາຍໃຕ້ສະພາບການດໍາເນີນງານທີ່ສຸດເຊັ່ນ: ບ່ອນສູນຍາກາດທີ່ແຂງແຮງ, ແລະອຸນຫະພູມທີ່ແຂງແຮງ.

ສິ່ງທີ່ກໍານົດການປະຕິບັດຂອງພວກເຂົາຢ່າງແທ້ຈິງບໍ່ແມ່ນໂຄງສ້າງພາຍນອກຫລືສູດສູດວັດສະດຸ, ແຕ່ລະດັບການບໍາບັດພື້ນຜິວ.

1. ການເຊາະເຈື່ອນຂອງ plasma ແລະການປົນເປື້ອນ ion ໂລຫະ

ພື້ນຜິວ ceramic ທີ່ບໍ່ໄດ້ປ້ອງກັນແມ່ນມີຄວາມສ່ຽງໃນການເຊາະເຈື່ອນຂອງ plasma ໃນຂະບວນການ ingting ຫຼື cvd. ປະເພດການເຊາະເຈື່ອນ

2. ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ສະຫມໍ່າສະເຫມີແລະຄວາມຜິດປົກກະຕິ warpage

ດ້ານທີ່ຫຍາບຄາຍຫຼືການປິ່ນປົວທີ່ບໍ່ດີແມ່ນຜົນໄດ້ຮັບໃນການຕິດຕໍ່ທີ່ບໍ່ເທົ່າກັນລະຫວ່າງ Wafer ແລະesc, hindering conduction ແລະຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມເປັນເອກະພາບ CD.

3. ການໂຄສະນາ Electrostatic ທີ່ບໍ່ສະຖຽນລະພາບ

ການຄວບຄຸມທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງຂອງການປະຕິບັດການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານໃນຫນ້າດິນ

ພື້ນຜິວຂອງລະດັບສູງມັກຈະຮັບຮອງເອົາການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ມີຫຼາຍຊັ້ນ, ຄວບຄຸມພື້ນທີ່ທີ່ເປັນປະໂຫຍດໂດຍຜ່ານການເຄືອບເພື່ອໃຫ້ມີການເຄືອບທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ.

ເຕັກໂນໂລຢີບໍາບັດດ້ານທໍາມະດາຂອງລະດັບສູງສຸດທີ່ສຸດຂອງ ESCS:

1. ການເຄືອບທີ່ບໍ່ແມ່ນກາວ (ເຊັ່ນ: PTFE ແລະ PFA)

ການເຄືອບປະເພດນີ້ແມ່ນເຫມາະສົມໂດຍສະເພາະສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການອຸນຫະພູມຕ່ໍາເນື່ອງຈາກມີພະລັງງານທີ່ບໍ່ເສຍຄ່າດ້ານຜິວຫນັງທີ່ບໍ່ເສຍຄ່າ, ເຊິ່ງປ້ອງກັນການໂຄສະນາທີ່ຕົກຄ້າງຂອງນັກຖ່າຍຮູບ.

2. ການເຄືອບກາກບອນທີ່ຄ້າຍຄືກາກບອນ (DLC)

ມີຄວາມແຂງກະດ້າງ, ການຕໍ່ຕ້ານຂອງ plasma, ແລະຕົວຄູນ friction ຕ່ໍາ, ພວກມັນເຫມາະສໍາລັບການສະຫມັກຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນໃນອຸປະກອນການເຊາະເຈື່ອນ.

3. ຮູບເງົາກະຕຸ້ນ PVD

ການເຄືອບປະເພດນີ້ສາມາດສ້າງເສັ້ນທາງທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນພື້ນທີ່ສະເພາະ, ແລະເຮັດໃຫ້ເກີດບັນຫາກ່ຽວກັບຄ່າບໍລິການໃນທ້ອງຖິ່ນໂດຍການຄວບຄຸມຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງຄ່າບໍລິການດ້ານຫນ້າທີ່ເປັນເອກະພາບ.

ການເຄືອບປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຮ້ອນ (ເຊັ່ນ: ແປ້ງເພັດແລະການເຄືອບປະສົມ flororopolymer)

ການເຄືອບປະເພດນີ້ປະສົມປະສານກັບຄຸນນະພາບທີ່ບໍ່ແມ່ນກາວແລະຄວາມຮ້ອນຂອງມັນທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ຈະກົງກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນສູງ ESC.