ໜ້າທີ່ຂອງ Focus Rings ແມ່ນຫຍັງ?

ແຫວນຈຸດສຸມແມ່ນອົງປະກອບທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ etching semiconductor. ໂດຍຜ່ານການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າແລະຄວາມຮ້ອນ, ແຫວນຈຸດສຸມສາມາດສຸມໃສ່ plasma ເທິງຫນ້າ wafer, ຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບ etching ສອດຄ່ອງທົ່ວທຸກສະຖານທີ່ໃນ wafer ໄດ້.

ຫນ້າທີ່ຂອງວົງການສຸມໃສ່

1. ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ etching

ໃນຂະບວນການ etching, ແຫວນຈຸດສຸມສາມາດສຸມໃສ່ plasma ໃນwaferພື້ນຜິວ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ plasma ເປັນເອກະພາບ, ມຸມລະເບີດຂອງ ion, ແລະລະດັບພະລັງງານໃນທົ່ວທັງຂອບ wafer ແລະສູນກາງ. ພວກເຂົາເຈົ້າແກ້ໄຂການແຜ່ກະຈາຍຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າຢູ່ແຂບ wafer, ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການ etching, ຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນ, ແລະການປ່ຽນແປງທາງສະກຸນທີ່ເກີດຈາກຜົນກະທົບຂອງແຂບ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງ etching ໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer ທັງຫມົດ. ຖ້າແຫວນທີ່ເນັ້ນໃສ່ຫຼາຍເກີນໄປຫຼືບໍ່ມີວົງແຫວນໂຟກັສ, plasma ຈະແຜ່ລາມອອກຈາກຂອບ wafer, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບິດເບືອນທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງໃນຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນລະຫວ່າງຂອບແລະສູນກາງ.

2. ປ້ອງກັນ chuck electrostatic

ປົກກະຕິແລ້ວວົງແຫວນຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ນອກພື້ນຜິວຂອງ wafer ຂອງ chucks electrostatic, ປະເຊີນ ​​​​ໜ້າ ໂດຍກົງກັບການລະເບີດ plasma ແລະການກັດກ່ອນ. ການບໍລິການຕິດຕັ້ງການຕິດຕັ້ງນີ້ເປັນອຸປະສັກທາງດ້ານຮ່າງກາຍເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ plasma ຕິດຕໍ່ກັບ chucks electrostatic ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ etching, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຄວາມເສຍຫາຍ plasma ໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ແຫວນໂຟກັສຍັງສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຜະລິດຕະພັນທີ່ຜະລິດອອກມາໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ etching ຈາກການຍຶດຕິດກັບ chucks electrostatic, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຫຼີກເວັ້ນການຊຸດໂຊມປະສິດທິພາບທີ່ເກີດຈາກການປົນເປື້ອນ chuck ແລະການອຸດຕັນ. ນີ້ຂະຫຍາຍວົງຈອນການບໍາລຸງຮັກຂອງ chucks electrostatic ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍແລະອາຍຸການ, ຫຼຸດຜ່ອນການບໍາລຸງຮັກສາອຸປະກອນແລະການທົດແທນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.

ແຫວນໂຟກັສແມ່ນເຮັດຈາກຄວາມບໍລິສຸດສູງquartz, ຊິລິຄອນແລະຊິລິຄອນຄາໄບວັດສະດຸ. ຂໍຂອບໃຈກັບການປະຕິບັດທີ່ສົມບູນແບບຂອງເຂົາເຈົ້າທີ່ດີເລີດ, ວັດສະດຸ silicon carbide ຄ່ອຍໆກາຍເປັນທາງເລືອກຕົ້ນຕໍສໍາລັບຂະບວນການຕັດແຂບ. ໃນຖານະເປັນຜູ້ສະຫນອງວົງແຫວນທີ່ໄວ້ວາງໃຈຂອງ semiconductor ໃນປະເທດຈີນ, Semicorex ສະຫນອງຄຸນນະພາບສູງແຫວນໂຟກັສຊິລິຄອນຄາໄບຂະຫນາດຕ່າງໆເພື່ອໃຫ້ກົງກັບຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງອຸປະກອນ etching. Semicorex ຍິນດີຕ້ອນຮັບການສອບຖາມແລະການຊື້ຂອງທ່ານໄດ້ທຸກເວລາ.