ວິທີການຂອງ AlN Crystal Growth

AlN, ເປັນວັດສະດຸ semiconductor ຮຸ່ນທີສາມ, ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນແສງສະຫວ່າງສີຟ້າແລະແສງສະຫວ່າງ ultraviolet ທີ່ສໍາຄັນ, ແຕ່ຍັງເປັນອຸປະກອນການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ສໍາຄັນ, ການແຍກ dielectric ແລະ insulation ສໍາລັບອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກແລະວົງຈອນປະສົມປະສານ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບອຸປະກອນອຸນຫະພູມສູງແລະພະລັງງານສູງ. . ນອກຈາກນັ້ນ, AlN ແລະ GaN ມີການຈັບຄູ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສານເຄມີ, AlN ທີ່ໃຊ້ເປັນຊັ້ນຍ່ອຍ GaN epitaxial, ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງອຸປະກອນ GaN ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ປັບປຸງການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ.

ເນື່ອງຈາກຄວາມສົດໃສດ້ານຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຫນ້າສົນໃຈ, ການກະກຽມຂອງໄປເຊຍກັນ AlN ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຂະຫນາດໃຫຍ່ໄດ້ຮັບຄວາມສົນໃຈຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈາກນັກຄົ້ນຄວ້າພາຍໃນແລະຕ່າງປະເທດ. ໃນປັດຈຸບັນ, ໄປເຊຍກັນ AlN ໄດ້ຖືກກະກຽມໂດຍວິທີການແກ້ໄຂ, nitriding ໂດຍກົງຂອງໂລຫະອາລູມິນຽມ, hydride gas-phase epitaxy ແລະການຂົນສົ່ງໄລຍະ vapor ທາງດ້ານຮ່າງກາຍ (PVT). ໃນບັນດາພວກມັນ, ວິທີການ PVT ໄດ້ກາຍເປັນເຕັກໂນໂລຢີຕົ້ນຕໍສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງໄປເຊຍກັນ AlN ທີ່ມີອັດຕາການເຕີບໂຕສູງ (ເຖິງ 500-1000 μm / h) ແລະຄຸນນະພາບຂອງຜລຶກສູງ (ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ dislocation ຕ່ໍາກວ່າ 103 cm-2).

ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນ AlN ໂດຍວິທີການ PVT ແມ່ນສໍາເລັດໂດຍການ sublimation, ການຂົນສົ່ງໄລຍະອາຍແກັສແລະ recrystallisation ຂອງຝຸ່ນ AlN, ແລະອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວແມ່ນສູງເຖິງ 2 300 ℃. ຫຼັກການພື້ນຖານຂອງການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ AlN ໂດຍວິທີ PVT ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງງ່າຍດາຍ, ດັ່ງທີ່ສະແດງຢູ່ໃນສົມຜົນຕໍ່ໄປນີ້:

2AlN(s) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

ຂັ້ນຕອນຕົ້ນຕໍຂອງຂະບວນການເຕີບໂຕມີດັ່ງນີ້: (1) sublimation ຂອງຜົງດິບ AlN; (2) ການຂົນສົ່ງອົງປະກອບໄລຍະອາຍແກັສຂອງວັດຖຸດິບ; (3) ການດູດຊຶມຂອງອົງປະກອບໄລຍະອາຍແກັສໃນດ້ານການຂະຫຍາຍຕົວ; (4) ການແຜ່ກະຈາຍຂອງພື້ນຜິວແລະ nucleation; ແລະ (5) ຂະບວນການ desorption [10]. ພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດມາດຕະຖານ, ໄປເຊຍກັນ AlN ເລີ່ມ decompose ຊ້າໆເຂົ້າໄປໃນ Al vapor ແລະໄນໂຕຣເຈນພຽງແຕ່ຢູ່ທີ່ປະມານ 1 700 ℃, ແລະປະຕິກິລິຍາ decomposition ຂອງ AlN intensifies ຢ່າງໄວວາໃນເວລາທີ່ອຸນຫະພູມເຖິງ 2 200 ℃.

ອຸປະກອນການ TaC ແມ່ນວັດສະດຸ crucible ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ AlN ທີ່ແທ້ຈິງໃນການນໍາໃຊ້, ມີຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະເຄມີທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນແລະໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ສານເຄມີແລະການຕ້ານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ເຊິ່ງປະສິດທິພາບສາມາດປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດແລະຊີວິດການບໍລິການ.

Semicorex ສະຫນອງຄຸນນະພາບສູງຜະລິດຕະພັນການເຄືອບ TaCດ້ວຍການບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງ. ຖ້າທ່ານມີຄໍາຖາມໃດໆຫຼືຕ້ອງການລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ກັບພວກເຮົາ.

ເບີໂທຕິດຕໍ່ #+86-13567891907

ອີເມວ: sales@semicorex.com