ຜົນກະທົບຂອງອຸນຫະພູມກ່ຽວກັບການເຄືອບ CVD-SiC

Chemical Vapor Deposition (CVD) ແມ່ນເຕັກນິກທີ່ຫຼາກຫຼາຍໃນການຜະລິດການເຄືອບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງດ້ວຍການນໍາໃຊ້ຕ່າງໆໃນອຸດສາຫະກໍາເຊັ່ນ: ຍານອາວະກາດ, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະວິທະຍາສາດວັດສະດຸ. ການເຄືອບ CVD-SiC ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄຸນສົມບັດພິເສດຂອງພວກເຂົາ, ລວມທັງການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ. ຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ CVD-SiC ແມ່ນມີຄວາມຊັບຊ້ອນສູງແລະມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບຫຼາຍຕົວກໍານົດການ, ອຸນຫະພູມເປັນປັດໃຈສໍາຄັນ. ໃນບົດຄວາມນີ້, ພວກເຮົາຈະຄົ້ນຫາຜົນກະທົບຂອງອຸນຫະພູມກ່ຽວກັບການເຄືອບ CVD-SiC ແລະຄວາມສໍາຄັນຂອງການເລືອກອຸນຫະພູມທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງເງິນຝາກ.

ຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ CVD-SiC ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສັບສົນ, ແລະຂະບວນການສາມາດສະຫຼຸບໄດ້ດັ່ງນີ້: ໃນອຸນຫະພູມສູງ, MTS ໄດ້ຖືກທໍາລາຍດ້ວຍຄວາມຮ້ອນເພື່ອສ້າງເປັນໂມເລກຸນກາກບອນຂະຫນາດນ້ອຍແລະຊິລິຄອນ, ໂມເລກຸນແຫຼ່ງກາກບອນຕົ້ນຕໍແມ່ນ CH3, C2H2 ແລະ C2H4, ແລະ. ໂມເລກຸນແຫຼ່ງຊິລິໂຄນຕົ້ນຕໍແມ່ນ SiCl2 ແລະ SiCl3, ແລະອື່ນໆ; ໂມເລກຸນຄາບອນ ແລະຊິລິໂຄນຂະໜາດນ້ອຍເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ຖືກຂົນສົ່ງໂດຍຜູ້ບັນທຸກ ແລະ ແກັສເຈືອຈາງໄປສູ່ບໍລິເວນໃກ້ຄຽງຂອງພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນພວກມັນຈະຖືກດູດຊຶມໃນຮູບແບບຂອງສະພາວະ adsorbate. ໂມເລກຸນນ້ອຍໆເຫຼົ່ານີ້ຈະຖືກນຳສົ່ງໄປສູ່ພື້ນຜິວຂອງສານຍ່ອຍກຼາຟີດ ໂດຍແກັສຂົນສົ່ງ ແລະ ແກ໊ສເຈືອຈາງ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ ໂມເລກຸນນ້ອຍໆເຫຼົ່ານີ້ຈະຖືກດູດຊຶມຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນຍ່ອຍໃນຮູບແບບຂອງການດູດຊຶມ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ ໂມເລກຸນນ້ອຍໆຈະປະຕິກິລິຍາກັບແຕ່ລະອັນ. ອື່ນໆເພື່ອປະກອບເປັນ droplets ຂະຫນາດນ້ອຍແລະຂະຫຍາຍຕົວ, ແລະ droplets ຍັງຈະ merge ກັບກັນແລະກັນ, ແລະຕິກິຣິຍາແມ່ນປະກອບດ້ວຍການສ້າງຕັ້ງຂອງ by-products ລະດັບປານກາງ (HCl ອາຍແກັສ); ເນື່ອງຈາກອຸນຫະພູມສູງຂອງພື້ນຜິວຂອງ graphite substrate ໄດ້, ທາດອາຍຜິດລະດັບປານກາງຈະຖືກ dislodged ຈາກຫນ້າດິນຂອງ substrate ໄດ້, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ C ແລະ Si ທີ່ຕົກຄ້າງຈະໄດ້ຮັບການສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນເປັນສະພາບແຂງ. ສຸດທ້າຍ, C ແລະ Si ທີ່ຍັງເຫຼືອຢູ່ໃນພື້ນຜິວ substrate ຈະປະກອບເປັນ SiC ໄລຍະແຂງເພື່ອປະກອບເປັນສີເຄືອບ SiC.

ອຸນຫະພູມໃນການເຄືອບ CVD-SiCຂະ​ບວນ​ການ​ແມ່ນ​ຕົວ​ກໍາ​ນົດ​ການ​ທີ່​ສໍາ​ຄັນ​ທີ່​ມີ​ຜົນ​ກະ​ທົບ​ອັດ​ຕາ​ການ​ເຕີບ​ໂຕ​, crystallinity​, ຄວາມ​ເປັນ​ເອ​ກະ​ລັກ​, ການ​ສ້າງ​ຕັ້ງ​ຂອງ​ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ​, ຄວາມ​ເຂົ້າ​ກັນ​ໄດ້ substrate​, ແລະ​ຄ່າ​ໃຊ້​ຈ່າຍ​ພະ​ລັງ​ງານ​. ທາງເລືອກຂອງອຸນຫະພູມທີ່ດີທີ່ສຸດ, ໃນກໍລະນີນີ້, 1100 ° C, ເປັນຕົວແທນຂອງການຄ້າລະຫວ່າງປັດໃຈເຫຼົ່ານີ້ເພື່ອບັນລຸຄຸນນະພາບແລະຄຸນສົມບັດການເຄືອບທີ່ຕ້ອງການ.