ຜະລິດຕະພັນ Quartz ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor

ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, quartz ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ແລະຜະລິດຕະພັນ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນອຸປະກອນບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນກວ່າໃນການຜະລິດ wafer. ການຜະລິດ silicon single crystal crucibles, ເຮືອໄປເຊຍກັນ, ການແຜ່ກະຈາຍ furnace ທໍ່ຫຼັກ, ແລະອົງປະກອບ quartz ອື່ນໆຕ້ອງໃຊ້ຜະລິດຕະພັນແກ້ວ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ພາກສ່ວນ quartz ໃນຂົງເຂດ semiconductor, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕະຫຼາດເປົ້າຫມາຍຕົ້ນຕໍສໍາລັບການແຜ່ກະຈາຍຂອງ wafer foundry ແລະຂະບວນການ etching, ສາມາດແບ່ງອອກເປັນສອງປະເພດຂອງອຸປະກອນເຂດອຸນຫະພູມສູງແລະອຸປະກອນເຂດອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, ຈະນໍາໃຊ້ອຸປະກອນຕົ້ນຕໍດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1) ອຸປະກອນເຂດອຸນຫະພູມສູງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນການແຜ່ກະຈາຍ oxidation ແລະລັກສະນະອື່ນໆຂອງການນໍາໃຊ້ທໍ່ furnace, racks ເຮືອແກ້ວ, ແລະອື່ນໆ, ຈໍາເປັນຕ້ອງຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ໂດຍກົງຫຼືທາງອ້ອມຕິດຕໍ່ກັບ wafer ຊິລິໂຄນ; ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນການຈັດຊື້ວັດສະດຸແກ້ວ quartz electrofused, ຜະລິດຜ່ານການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນ;

2) ອຸປະກອນເຂດອຸນຫະພູມຕ່ໍາສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນການເຊື່ອມຕໍ່ etching ເຊັ່ນ: ແຫວນ quartz, ແຕ່ຍັງປະກອບມີກະຕ່າຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດ, ຖັງທໍາຄວາມສະອາດ, ແລະອື່ນໆ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ໍາ; ສ່ວນຫຼາຍແມ່ນຊື້ແກ້ວ quartz ອາຍແກັສທີ່ຫລອມໂລຫະ, ຜ່ານການຜະລິດປຸງແຕ່ງເຢັນ

ໃນບັນດາພວກມັນ, ອຸປະກອນເຂດອຸນຫະພູມສູງບໍລິໂພກໄວ, ແຕ່ຄ້າຍຄືກັນກັບເຄື່ອງຈັກຫຼາຍຊິບ (ຜູ້ຖືເອົາ wafer ຫຼາຍກວ່າຫນຶ່ງ), ອຸປະກອນເຂດອຸນຫະພູມຕ່ໍາບໍລິໂພກຊ້າກວ່າ, ແຕ່ monolithic (ຜູ້ຖືເອົາ wafer) ; ດັ່ງນັ້ນ, ທັງສອງຂະຫນາດຕະຫຼາດໂດຍລວມແມ່ນຂ້ອນຂ້າງໃກ້ຊິດກັບກັນແລະກັນ.