ເຮືອ SiC ທຽບກັບເຮືອ Quartz: ການນໍາໃຊ້ໃນປະຈຸບັນແລະແນວໂນ້ມໃນອະນາຄົດໃນການຜະລິດ Semiconductor

1. ການປ່ຽນແປງແບບເຄື່ອນໄຫວ:ເຮືອ SiC ທ້າທາຍເຮືອ Quartz

ທັງສອງເຮືອ SiC ແລະ quartzຮັບໃຊ້ຫນ້າທີ່ທີ່ຄ້າຍຄືກັນໃນການຜະລິດ semiconductor. ແນວໃດກໍ່ຕາມ,ເຮືອ SiC, ເຖິງວ່າຈະມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ສູງຂຶ້ນ, ສະເຫນີການປະຕິບັດທີ່ດີກວ່າ, ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນທາງເລືອກທີ່ດຶງດູດຫຼາຍຂຶ້ນເຮືອ quartzໂດຍ​ສະ​ເພາະ​ແມ່ນ​ໃນ​ການ​ຮຽກ​ຮ້ອງ​ໃຫ້​ອຸ​ປະ​ກອນ​ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ​ໃນ​ຫ້ອງ​ແສງ​ຕາ​ເວັນ​ເຊັ່ນ​: Low-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) ແລະ boron diffusion furnaces. ໃນຂະບວນການທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຫນ້ອຍ, ວັດສະດຸທັງສອງຢູ່ຮ່ວມກັນ, ດ້ວຍລາຄາເປັນປັດໃຈຕັດສິນທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຜູ້ຜະລິດ.

(1) ການທົດແທນໃນ LPCVD ແລະ Boron Diffusion Furnaces

LPCVD ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການສ້າງຊັ້ນ oxide tunneling ແລະຝາກຊັ້ນ polysilicon ເທິງຈຸລັງແສງຕາເວັນ. ຂະບວນການນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບອຸນຫະພູມສູງທີ່ເຮືອມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການຊຶມເຊື້ອຊິລິໂຄນຢູ່ເທິງຫນ້າດິນ.Quartz, ດ້ວຍຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເມື່ອທຽບກັບຊິລິໂຄນ, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການເຮັດຄວາມສະອາດອາຊິດປົກກະຕິເພື່ອເອົາເງິນຝາກເຫຼົ່ານີ້ແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ເກີດຮອຍແຕກ. ນີ້ທໍາຄວາມສະອາດເລື້ອຍໆ, ບວກໃສ່ກັບquartzຄວາມ​ເຂັ້ມ​ແຂງ​ຂອງ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ສູງ​ຕ​່​ໍ​າ​, ເຮັດ​ໃຫ້​ອາ​ຍຸ​ການ​ສັ້ນ​ລົງ​ແລະ​ຄ່າ​ໃຊ້​ຈ່າຍ​ການ​ດໍາ​ເນີນ​ງານ​ເພີ່ມ​ຂຶ້ນ​.

ເຮືອ SiC, ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ມີຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ໃກ້ຊິດກັບຊິລິໂຄນ, ກໍາຈັດຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດອາຊິດ. ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອຸນຫະພູມສູງທີ່ເໜືອກວ່າຂອງພວກມັນເຮັດໃຫ້ອາຍຸຍືນຍາວ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເປັນເຄື່ອງທົດແທນທີ່ເໝາະສົມສຳລັບquartzໃນຂະບວນການ LPCVD.

ເຕົາອົບການແຜ່ກະຈາຍຂອງໂບຣອນແມ່ນໃຊ້ເພື່ອສ້າງຕົວປ່ອຍ P-type ເທິງແຜ່ນ silicon wafers N-type ໂດຍການ doping ພວກມັນດ້ວຍ boron. ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ສູງ​ທີ່​ກ່ຽວ​ຂ້ອງ​ກັບ​ຂະ​ບວນ​ການ​ນີ້​ຍັງ​ສ້າງ​ຄວາມ​ທ້າ​ທາຍ​ສໍາ​ລັບ​ການ​ເຮືອ quartzເນື່ອງຈາກຄວາມແຮງຂອງອຸນຫະພູມສູງຕ່ໍາຂອງພວກເຂົາ. ອີກເທື່ອຫນຶ່ງ,ເຮືອ SiCອອກມາເປັນການທົດແທນທີ່ເຫມາະສົມ, ສະເຫນີຄວາມທົນທານທີ່ສູງຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນເງື່ອນໄຂທີ່ຕ້ອງການເຫຼົ່ານີ້.

(2) ການທົດແທນໃນອຸປະກອນປຸງແຕ່ງອື່ນໆ

ໃນຂະນະທີ່SiC ໂອ້ອວດການ​ປະ​ຕິ​ບັດ​ທີ່​ດີກ​ວ່າ​, ຄ່າ​ໃຊ້​ຈ່າຍ​ສູງ​ຂອງ​ຕົນ​ເມື່ອ​ທຽບ​ໃສ່​quartzຈໍາ​ກັດ​ການ​ຮັບ​ຮອງ​ເອົາ​ຂອງ​ຕົນ​ໃນ​ຄໍາ​ຮ້ອງ​ສະ​ຫມັກ​ທີ່​ມີ​ຄວາມ​ຕ້ອງ​ການ​ຫນ້ອຍ​ທີ່​ຄວາມ​ແຕກ​ຕ່າງ​ຂອງ​ຊີ​ວິດ​ລະ​ຫວ່າງ​ສອງ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ແມ່ນ​ມີ​ຄວາມ​ສໍາ​ຄັນ​ຫນ້ອຍ​. ຜູ້ຜະລິດມັກຈະຊັ່ງນໍ້າຫນັກການປະຕິບັດລາຄາຕໍ່ການຊື້ຂາຍໃນເວລາທີ່ເລືອກ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເປັນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດເຮືອ SiCການຫຼຸດລົງແລະຄວາມພ້ອມຂອງຕະຫຼາດຂອງພວກເຂົາປັບປຸງ, ຄາດວ່າຈະມີການແຂ່ງຂັນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການປັບລາຄາທີ່ອາດຈະທ້າທາຍຕໍ່ການຄອບງໍາຂອງ.ເຮືອ quartz.

2. ອັດຕາການນໍາໃຊ້ໃນປັດຈຸບັນ:ເຮືອ SiCການ​ໄດ້​ຮັບ​ພື້ນ​ທີ່​

ໃນສະພາບການຂອງເທກໂນໂລຍີ Passivated Emitter ແລະ Rear Cell (PERC), ເຮືອແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນລະຫວ່າງການແຜ່ກະຈາຍ phosphorus ດ້ານຫນ້າແລະ annealing. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ເຕັກໂນໂລຢີ Tunnel Oxide Passivated Contact (TOPCon), ຕ້ອງການເຮືອໃນການແຜ່ກະຈາຍ boron ດ້ານຫນ້າ, LPCVD, ການແຜ່ກະຈາຍຂອງ phosphorus ດ້ານຫລັງ, ແລະການຫມູນວຽນ.

ໃນປັດຈຸບັນ,ເຮືອ SiCສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂັ້ນຕອນ LPCVD ຂອງການຜະລິດ TOPCon. ເຖິງແມ່ນວ່າຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງພວກເຂົາໃນການແຜ່ກະຈາຍ boron ກໍາລັງໄດ້ຮັບແຮງດຶງແລະໄດ້ຜ່ານການທົດສອບການກວດສອບເບື້ອງຕົ້ນ, ອັດຕາການຮັບຮອງເອົາໂດຍລວມຂອງພວກເຂົາພາຍໃນອຸດສາຫະກໍາການປຸງແຕ່ງເຊນແສງຕາເວັນຍັງຄົງຂ້ອນຂ້າງຕໍ່າ.

3. ແນວໂນ້ມໃນອະນາຄົດ: SiC ກຽມພ້ອມສໍາລັບການເຕີບໂຕ

ປັດໃຈຈໍານວນຫນຶ່ງຊີ້ໃຫ້ເຫັນເຖິງອະນາຄົດທີ່ດີສໍາລັບເຮືອ SiC, ດ້ວຍສ່ວນແບ່ງຕະຫຼາດຂອງພວກເຂົາຄາດວ່າຈະເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ປັດໃຈເຫຼົ່ານີ້ລວມມີ:

ປະສິດທິພາບສູງ: ຄຸນສົມບັດວັດສະດຸຂອງ SiC, ໂດຍສະເພາະໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ LPCVD ແລະການແຜ່ກະຈາຍຂອງ boron, ສະເຫນີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ຊັດເຈນກວ່າ quartz, ແປວ່າອາຍຸຍືນຍາວແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານຫຼຸດລົງ.

ການຊຸກຍູ້ອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ: ອຸດສາຫະກໍາ photovoltaic ແມ່ນພະຍາຍາມຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສໍາລັບການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະການປັບປຸງປະສິດທິພາບ. ຂະຫນາດ wafer ຂະຫນາດໃຫຍ່ກໍາລັງກາຍເປັນທີ່ນິຍົມຫລາຍຂຶ້ນເປັນວິທີການເພື່ອບັນລຸເປົ້າຫມາຍເຫຼົ່ານີ້. ໃນສະພາບການນີ້, ປະສິດທິພາບທີ່ສູງສົ່ງແລະຄວາມທົນທານຂອງເຮືອ SiC ກາຍເປັນທີ່ມີຄຸນຄ່າຫຼາຍກວ່າເກົ່າ.

ການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຕ້ອງການ: ໃນຂະນະທີ່ຂະແຫນງພະລັງງານແສງຕາເວັນຍັງສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວ, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບອົງປະກອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ເຊັ່ນ:ເຮືອ SiCinevitably ຈະເພີ່ມຂຶ້ນ.

ໃນຂະນະທີ່ສິ່ງທ້າທາຍຍັງຄົງຢູ່, ລວມທັງການຂະຫຍາຍການຜະລິດເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນແລະການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບທີ່ສອດຄ່ອງ, ອະນາຄົດຂອງເຮືອ SiCໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ປະກົດວ່າສົດໃສ. ປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າຂອງພວກເຂົາ, ບວກກັບການຂັບເຄື່ອນຂອງອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບການແກ້ໄຂບັນຫາຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ຕໍາແຫນ່ງໃຫ້ເຂົາເຈົ້າເປັນຕົວກະຕຸ້ນທີ່ສໍາຄັນຂອງການຜະລິດເຊນແສງຕາເວັນລຸ້ນຕໍ່ໄປ.