SiC Coating Pancake Susceptor

Semicorexການເຄືອບ SiCPancake Susceptor ແມ່ນພາກສ່ວນການຜະລິດຕໍ່ໄປສໍາລັບການຕິດຕັ້ງໃນລະບົບ Metal Organic Chemical Vapor Deposition MOCVD. ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ປະກອບເປັນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງກົນໄກໂດຍຜ່ານການທີ່ຊັ້ນ epitaxial ໄດ້ຖືກຝາກໄວ້ໃນແນວພັນທີ່ກ້ວາງຂອງ substrates. susceptor ພິເສດທີ່ສະແດງຢູ່ທີ່ນີ້ແມ່ນສະເພາະສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນສໍາລັບການ fabrication ຂອງ LEDs, ອຸປະກອນພະລັງງານສູງ, ແລະອຸປະກອນ RF. substrates ທີ່ໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຫຼົ່ານີ້ມັກຈະຕ້ອງການຊັ້ນ epitaxial ທີ່ສາມາດສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໃນວັດສະດຸເຊັ່ນ sapphire ຫຼື conductive ແລະ semi-insulating SiC. SiC Coating Pancake Susceptor ນີ້ໃຫ້ປະສິດທິພາບທີ່ດີເລີດໃນເຕົາປະຕິກອນ MOCVD ດ້ວຍການຝາກຝັງທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ເຊື່ອຖືໄດ້, ແລະຊັດເຈນ.

ມັນມີຊື່ສຽງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ດີເລີດ, ການກໍ່ສ້າງແຂງ, ແລະຄວາມສາມາດໃນການປັບແຕ່ງສໍາລັບຂະບວນການ MOCVD ສະເພາະ. ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ອງການຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງເພີ່ມຂຶ້ນໃນພະລັງງານແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ RF, ການເລືອກ Semicorex ຮັບປະກັນໃຫ້ທ່ານເປັນຜະລິດຕະພັນຊັ້ນນໍາທີ່ສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານ. susceptor ນີ້ແມ່ນພື້ນຖານສໍາລັບ wafers semiconductor ແລະນໍາໃຊ້ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຝາກຊັ້ນ epitaxial ໃສ່ semiconductors. ຊັ້ນຕ່າງໆອາດຈະຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນທີ່ປະກອບມີ LEDs, HEMTs, ແລະອຸປະກອນ semiconductor ພະລັງງານເຊັ່ນ SBDs ແລະ MOSFETs. ອຸ​ປະ​ກອນ​ດັ່ງ​ກ່າວ​ມີ​ຄວາມ​ສໍາ​ຄັນ​ຕໍ່​ການ​ສື່​ສານ​ທີ່​ທັນ​ສະ​ໄຫມ​, ເອ​ເລັກ​ໂຕຣ​ນິກ​ພະ​ລັງ​ງານ​ສູງ​, ແລະ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້ optoelectronic​.

ຄຸນນະສົມບັດແລະຜົນປະໂຫຍດ

1. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ

ຫນຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນຂອງ SiC Coating Pancake Susceptor ແມ່ນການນໍາຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງມັນ. ວັດສະດຸສະຫນອງການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ MOCVD, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນ epitaxial ໃນ wafers semiconductor. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຮັບປະກັນວ່າຊັ້ນໃຕ້ດິນ wafer ໄດ້ຮັບຄວາມຮ້ອນເທົ່າທຽມກັນ, ຫຼຸດຜ່ອນລະດັບອຸນຫະພູມຕ່ໍາສຸດແລະເສີມຂະຫຍາຍຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນທີ່ຝາກໄວ້. ອັນນີ້ເຮັດໃຫ້ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງວັດສະດຸປັບປຸງດີຂຶ້ນ, ແລະຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນໂດຍລວມ.

2. ການເຄືອບ SiCສໍາ​ລັບ​ການ​ປັບ​ປຸງ​ຄວາມ​ທົນ​ທານ​

ການເຄືອບ SiC ສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ເຂັ້ມແຂງຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການເຊື່ອມໂຊມຂອງ susceptor graphite ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ MOCVD. ການເຄືອບສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານສູງຕໍ່ການກັດກ່ອນຈາກທາດໂລຫະ - ທາດອິນຊີທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການເງິນຝາກ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຍືດອາຍຸຂອງ susceptor ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຊັ້ນ SiC ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຂີ້ຝຸ່ນ graphite ປົນເປື້ອນ wafer, ເປັນປັດໃຈສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນ epitaxial.

ການເຄືອບຍັງປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກໂດຍລວມຂອງ susceptor, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ກັບອຸນຫະພູມສູງ, ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມກົດດັນກົນຈັກທີ່ພົບເລື້ອຍໃນຂະບວນການ MOCVD. ນີ້ເຮັດໃຫ້ອາຍຸການດໍາເນີນງານທີ່ຍາວນານແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາຫຼຸດລົງ.

3. ຈຸດ Melting ສູງແລະຕ້ານການອອກຊິເຈນ

ການເຄືອບ SiC Pancake Susceptor ໄດ້ຖືກວິສະວະກໍາເພື່ອປະຕິບັດງານພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ດ້ວຍການເຄືອບ SiC ຮັບປະກັນຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການຜຸພັງແລະການກັດກ່ອນໃນອຸນຫະພູມສູງ. ຈຸດລະລາຍສູງຂອງສານເຄືອບຊ່ວຍໃຫ້ຕົວຍຶດສາມາດທົນກັບອຸນຫະພູມສູງປົກກະຕິໃນເຄື່ອງປະຕິກອນ MOCVD ໂດຍບໍ່ມີການເສື່ອມໂຊມຫຼືສູນເສຍຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງມັນ. ຊັບສິນນີ້ມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນການຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີການຜະລິດສູງ.

4. Flatness ດ້ານທີ່ດີເລີດ

ຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານຂອງ SiC Coating Pancake Susceptor ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການວາງຕໍາແຫນ່ງທີ່ເຫມາະສົມແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງ wafers ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial. ການເຄືອບໃຫ້ພື້ນຜິວລຽບ, ຮາບພຽງ, ຮັບປະກັນວ່າ wafer ໄດ້ຖືກຈັດໃສ່ຢ່າງເທົ່າທຽມກັນ, ຫຼີກເວັ້ນຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງໃນຂະບວນການຝາກ. ລະດັບຄວາມຮາບພຽງສູງນີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນການເຕີບໂຕຂອງອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເຊັ່ນ LEDs ແລະ semiconductors ພະລັງງານ, ບ່ອນທີ່ຄວາມເປັນເອກະພາບແມ່ນຈໍາເປັນສໍາລັບການປະຕິບັດອຸປະກອນ.

5. ຄວາມເຂັ້ມແຂງພັນທະບັດສູງແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຄວາມຮ້ອນ

ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດລະຫວ່າງການເຄືອບ SiC ແລະ substrate graphite ໄດ້ຖືກປັບປຸງໂດຍການເຂົ້າກັນໄດ້ຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸ. ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງທັງສອງຊັ້ນ SiC ແລະພື້ນຖານ graphite ແມ່ນຈັບຄູ່ກັນຢ່າງໃກ້ຊິດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການແຕກຫຼື delamination ພາຍໃຕ້ວົງຈອນອຸນຫະພູມ. ຄຸນສົມບັດນີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງ susceptor ໃນລະຫວ່າງວົງຈອນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຊ້ໍາຊ້ອນໃນຂະບວນການ MOCVD.

6. ປັບແຕ່ງໄດ້ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ

Semicorex ເຂົ້າໃຈຄວາມຕ້ອງການທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ແລະ SiC Coating Pancake Susceptor ສາມາດຖືກປັບແຕ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການສະເພາະ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດ LED, ການຜະລິດອຸປະກອນພະລັງງານ, ຫຼືການຜະລິດອົງປະກອບ RF, susceptor ສາມາດຖືກປັບໃຫ້ເຫມາະສົມກັບຂະຫນາດ wafer ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຮູບຮ່າງ, ແລະຄວາມຕ້ອງການຄວາມຮ້ອນ. ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນນີ້ຮັບປະກັນວ່າ SiC Coating Pancake Susceptor ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຫລາກຫລາຍໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນການຜະລິດ Semiconductor

ການເຄືອບ SiC Pancake Susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນລະບົບ MOCVD, ເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. susceptor ສະຫນັບສະຫນູນ substrates semiconductor ຕ່າງໆ, ລວມທັງ sapphire, silicon carbide (SiC), ແລະ GaN, ນໍາໃຊ້ສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນເຊັ່ນ: LEDs, ອຸປະກອນ semiconductor ພະລັງງານ, ແລະອຸປະກອນ RF. ການຈັດການຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະຄວາມທົນທານຂອງ SiC Coating Pancake Susceptor ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ຖືກຜະລິດເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າທີ່ທັນສະໄຫມ.

ໃນການຜະລິດ LED, SiC Coating Pancake Susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປູກຊັ້ນ GaN ເທິງຊັ້ນຍ່ອຍ sapphire, ບ່ອນທີ່ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງມັນຮັບປະກັນວ່າຊັ້ນ epitaxial ແມ່ນເປັນເອກະພາບແລະບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ. ສໍາລັບອຸປະກອນພະລັງງານ, ເຊັ່ນ MOSFETs ແລະ SBDs, susceptor ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ SiC epitaxial, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຈັດການກະແສໄຟຟ້າສູງແລະແຮງດັນ. ເຊັ່ນດຽວກັນ, ໃນການຜະລິດອຸປະກອນ RF, SiC Coating Pancake Susceptor ສະຫນັບສະຫນູນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ GaN ເທິງຊັ້ນຍ່ອຍ SiC ເຄິ່ງ insulating, ເຮັດໃຫ້ fabrication ຂອງ HEMTs ທີ່ໃຊ້ໃນລະບົບການສື່ສານ.

ການເລືອກ Semicorex ສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການ SiC Coating Pancake Susceptor ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າທ່ານໄດ້ຮັບຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ພຽງແຕ່ຕອບສະຫນອງແຕ່ເກີນມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບຄຸນນະພາບ, ການປະຕິບັດແລະຄວາມທົນທານ. ດ້ວຍການສຸມໃສ່ວິສະວະກໍາຄວາມແມ່ນຍໍາ, ການຄັດເລືອກວັດສະດຸທີ່ເຫນືອກວ່າ, ແລະການປັບແຕ່ງ, ຜະລິດຕະພັນຂອງ Semicorex ໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດໃນລະບົບ MOCVD. susceptor ຂອງພວກເຮົາຊ່ວຍປັບປຸງຂະບວນການຜະລິດຂອງທ່ານ, ຮັບປະກັນຊັ້ນ epitaxial ຄຸນນະພາບສູງແລະຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ. ດ້ວຍ Semicorex, ທ່ານໄດ້ຮັບຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ທີ່ມຸ່ງຫມັ້ນຕໍ່ຄວາມສໍາເລັດຂອງທ່ານໃນການຜະລິດ semiconductor.