Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor ສໍາລັບ MOCVD

Semicorex ເປັນຜູ້ສະຫນອງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະຜູ້ຜະລິດຂອງ silicon carbide coating susceptor graphite ສໍາລັບ MOCVD. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ໃນການຂະຫຍາຍຕົວຊັ້ນ epitaxial ໃນ chip wafer. ຜະລິດຕະພັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນແຜ່ນສູນກາງໃນ MOCVD, ມີການອອກແບບເກຍຫຼືວົງແຫວນ. ມັນມີຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ແຜ່ນ silicon carbide ຂອງພວກເຮົາ susceptor graphite ສໍາລັບ MOCVD ມີລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນຈໍານວນຫນຶ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນໂດດເດັ່ນຈາກການແຂ່ງຂັນ. ມັນຮັບປະກັນການເຄືອບເທິງພື້ນຜິວທັງຫມົດ, ຫຼີກເວັ້ນການປອກເປືອກອອກ, ແລະທົນທານຕໍ່ການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C. ຜະລິດຕະພັນແມ່ນເຮັດດ້ວຍຄວາມບໍລິສຸດສູງໂດຍຜ່ານການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ CVD ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂ chlorination ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ມັນມີຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພື້ນຜິວທີ່ມີອະນຸພາກອັນດີ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນສູງຈາກອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອ, ແລະທາດປະສົມອິນຊີ.
ແຜ່ນ silicon carbide susceptor graphite ຂອງພວກເຮົາສໍາລັບ MOCVD ໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອບັນລຸຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar ທີ່ດີທີ່ສຸດ, ຮັບປະກັນຄວາມສະເຫມີພາບຂອງໂປຣໄຟລ໌ຄວາມຮ້ອນ. ມັນປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼືການແຜ່ກະຈາຍຂອງ impurities, ຮັບປະກັນການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນຊິບ wafer.

ພາລາມິເຕີຂອງ Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor ສໍາລັບ MOCVD

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນນະສົມບັດຂອງ Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor ສໍາລັບ MOCVD

- ຫຼີກເວັ້ນການປອກເປືອກອອກແລະຮັບປະກັນການເຄືອບທຸກດ້ານ
ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ: ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C
ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ເຮັດໂດຍການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ CVD ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂ chlorination ອຸນຫະພູມສູງ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ຄວາມແຂງສູງ, ດ້ານຫນາແຫນ້ນແລະອະນຸພາກລະອຽດ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອແລະທາດປະສົມອິນຊີ.
- ບັນລຸຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar ທີ່ດີທີ່ສຸດ
- ຮັບປະກັນຄວາມສະເຫມີພາບຂອງ profile ຄວາມຮ້ອນ
- ປ້ອງກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງມົນລະພິດ ຫຼື ສິ່ງສົກກະປົກ