ຜູ້ຖືໄປເຊຍກັນເມັດທີ່ເຄືອບ TaC ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວຂອງວັດສະດຸ semiconductor. ໃນຖານະທີ່ເປັນຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາຂອງ TTaC ຜູ້ຖືເມັດເມັດທີ່ເຄືອບ, semicorex ສະເຫນີໃຫ້ທ່ານມີການແກ້ໄຂອົງປະກອບຫຼັກທີ່ມີປະສິດທິພາບໃນພາກສະຫນາມການຜະລິດ semiconductor ຊັ້ນສູງ.
substrate ຂອງTaC ເຄືອບຝາຜະໜັງເມັດພັນປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍກຣາຟ, ຊິລິໂຄນຄາໄບ ຫຼືວັດສະດຸປະສົມຂອງຄາບອນ/ຄາບອນ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຊັ້ນຂອງການເຄືອບ TaC ແມ່ນຖືກນຳໃຊ້ກັບພື້ນຜິວຂອງມັນໂດຍຜ່ານເທັກໂນໂລຢີການລະບາຍອາຍພິດທາງເຄມີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງພິເສດ (CVD). ຕົວຍຶດແກ້ວເມັດພັນ TaC ທີ່ຜະລິດໂດຍວິທີນີ້ ມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ດີ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີ ແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ການທໍາງານຂອງ TaC ຜູ້ຖືໄປເຊຍກັນແກ່ນ
1.ການທໍາງານຂອງສະຫນັບສະຫນູນ
ຜູ້ຖືແກ້ວແກ່ນທີ່ເຄືອບ TaC ຂອງ Semicorex ສະຫນອງເວທີສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການໄປເຊຍກັນຂອງເມັດ, ຮັບປະກັນວ່າເມັດເມັດຮັກສາຕໍາແຫນ່ງຄົງທີ່ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ທ້າທາຍເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງແລະສູນຍາກາດສູງ. ນີ້ປະສິດທິຜົນປ້ອງກັນບັນຫາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການໂຍກຍ້າຍຂອງໄປເຊຍກັນຫຼືຄວາມເສຍຫາຍຈາກການສັ່ນສະເທືອນແລະການໄຫຼຂອງອາກາດ, ແລະດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນຄວາມຕໍ່ເນື່ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນ.
2. ຜົນກະທົບປ້ອງກັນ
ຝາປິດແກ້ວແກ່ນຕາກທີ່ເຄືອບດ້ວຍ TaC ໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງໄວ້ຂ້າງເທິງຝາປິດກຣາຟຟີ້, ແລະແຍກຝາປິດກຣາຟຟິກອອກຈາກອາຍພິດ Si ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ນີ້ປະສິດທິຜົນຫຼີກເວັ້ນການ corrosion ທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດ vapor-induced ແລະການຍືດອາຍຸຂອງຝາອັດ graphite ໄດ້. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ປະກົດຂຶ້ນແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມຄວາມຮ້ອນຂອງການເຄືອບ TaC ຍັງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການນໍາສະເຫນີຂອງ impurities, ສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະສະອາດສໍາລັບການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນເມັດພັນ.
3. ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ
ຜູ້ຖືເມັດເມັດທີ່ເຄືອບ Semicorex TaC ໃຊ້ເຕັກນິກການຜະລິດທີ່ຢູ່ໃນລະດັບແຖວຫນ້າຂອງອຸດສາຫະກໍາ. ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນສາມາດບັນລຸໄດ້ໂດຍ expertly optimizing ຮູບຮ່າງ, ຂະຫນາດ, ແລະຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບ. ນີ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຫຼຸດລົງອັດຕາການຜິດປົກກະຕິແລະປະສິດທິພາບສົ່ງເສີມການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນເປັນເອກະພາບ.