ທໍ່ TaC ເຄືອບ

ພະລັງງານຂອງ Semicorex TaC Coated Tube ແມ່ນຢູ່ໃນການປະສົມປະສານຂອງວັດສະດຸພື້ນຖານແລະການເຄືອບພິເສດ:

ມູນນິທິ Isotropic Graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:ຫຼັກຂອງທໍ່ TaC Coated Tube ໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຈາກ graphite isotropic ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມີຊື່ສຽງສໍາລັບການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນປະກົດຂຶ້ນ. ພື້ນຖານນີ້ສະຫນອງແພລະຕະຟອມທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະຫມັ້ນຄົງທີ່ສາມາດທົນກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາແລະການໂຫຼດຄວາມຮ້ອນສູງລັກສະນະຂອງການປຸງແຕ່ງ semiconductor.

Tantalum Carbide---ໄສ້ຂອງຄວາມທົນທານ ແລະ inertness:ການເຄືອບ TaC ທີ່ໃຊ້ CVD ຫັນປ່ຽນຊັ້ນຍ່ອຍ graphite, ແບ່ງປັນຄວາມແຂງພິເສດ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ແລະຄວາມທົນທານຂອງສານເຄມີ. ຊັ້ນປ້ອງກັນນີ້ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນສິ່ງກີດຂວາງຕໍ່ກັບອາຍແກັສທີ່ຮຸກຮານ, plasmas, ແລະຊະນິດ reactive ທີ່ພົບໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ semiconductor, ຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງທໍ່ແລະອາຍຸຍືນ.

ການປະສົມປະສານວັດສະດຸທີ່ເປັນເອກະລັກນີ້ແປເປັນຄວາມໄດ້ປຽບຫຼາຍຢ່າງທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ:

ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ:TaC ມີຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດຂອງທຸກວັດສະດຸທີ່ຮູ້ຈັກ, ລື່ນກາຍຊິລິຄອນຄາໄບ (SiC). ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງນີ້ເຮັດໃຫ້ທໍ່ TaC Coated Tube ປະຕິບັດງານຢ່າງຫນ້າເຊື່ອຖືໃນຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການອຸນຫະພູມເກີນ 2500 ° C, ເຮັດໃຫ້ການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ຮຸ່ນຕໍ່ໄປດ້ວຍງົບປະມານຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ອງການ.

ຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ສຸດສໍາລັບການຄວບຄຸມຂະບວນການສໍາຄັນ:ການຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການ pristine ແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນການຜະລິດ semiconductor. ການນໍາໃຊ້ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຂະບວນການເຄືອບ CVD ລະມັດລະວັງຮັບປະກັນການອອກອາຍແກັສຫນ້ອຍທີ່ສຸດຫຼືການຜະລິດອະນຸພາກຈາກທໍ່ TaC ເຄືອບ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນທີ່ສາມາດປະນີປະນອມພື້ນຜິວ wafer ທີ່ລະອຽດອ່ອນແລະປະສິດທິພາບອຸປະກອນ.

ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ບໍ່ປ່ຽນແປງ:ຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີຂອງທໍ່ເຄືອບ TaC ສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານພິເສດຕໍ່ລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງທາດອາຍຜິດ corrosive, ion reactive, ແລະສະພາບແວດລ້ອມ plasma ທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນຂະບວນການ semiconductor ເຊັ່ນ etching, deposition, ແລະການ annealing. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ແຂງແຮງນີ້ແປວ່າອາຍຸຂອງທໍ່ທີ່ຂະຫຍາຍອອກ, ຄວາມຕ້ອງການບໍາລຸງຮັກສາຫຼຸດລົງ, ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການເປັນເຈົ້າຂອງລວມຕ່ໍາ.

ປັບປຸງຄວາມທົນທານຂອງກົນຈັກສໍາລັບຊີວິດການບໍລິການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ:ແຮງຜູກມັດທີ່ເຂັ້ມແຂງລະຫວ່າງການເຄືອບ TaC ແລະ substrate graphite, ບວກໃສ່ກັບຄວາມແຂງກະດ້າງຂອງທໍ່ເຄືອບ TaC, ສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານພິເສດຕໍ່ການສວມໃສ່, ການເຊາະເຈື່ອນ, ແລະຄວາມກົດດັນກົນຈັກ. ຄວາມທົນທານທີ່ປັບປຸງນີ້ແປວ່າຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວກວ່າແລະຫຼຸດລົງເວລາຢຸດສໍາລັບການທົດແທນ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບຂະບວນການແລະການຜະລິດຜ່ານ.