ແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ TaC

ການທໍາງານຂອງແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ TaC:

ການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ຊັດເຈນ:ວົງແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ TaC ແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ຢ່າງມີຍຸດທະສາດພາຍໃນລະບົບສີດກ໊າຊຂອງເຕົາປະຕິກອນ MOCVD. ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງຕົນແມ່ນເພື່ອຊີ້ນໍາການໄຫຼຂອງທາດອາຍຜິດຄາຣະວາແລະຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍເປັນເອກະພາບຂອງເຂົາເຈົ້າໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer substrate. ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນນີ້ກ່ຽວກັບນະໂຍບາຍດ້ານການໄຫຼຂອງອາຍແກັສເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epitaxial ເປັນເອກະພາບແລະຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການ.

ການຈັດການຄວາມຮ້ອນ:ແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ TaC ມັກຈະເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງເນື່ອງຈາກຄວາມໃກ້ຊິດຂອງພວກມັນກັບຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນແລະຊັ້ນຍ່ອຍ. ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ທີ່​ດີ​ເລີດ​ຂອງ TaC ຊ່ວຍ​ໃຫ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ dissipate ໄດ້​ຢ່າງ​ມີ​ປະ​ສິດ​ທິ​ຜົນ​, ປ້ອງ​ກັນ​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ໃນ​ທ້ອງ​ຖິ່ນ​ແລະ​ການ​ຮັກ​ສາ​ຮູບ​ພາບ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ທີ່​ຫມັ້ນ​ຄົງ​ໃນ​ເຂດ​ຕິ​ກິ​ຣິ​ຍາ​.

ຂໍ້ດີຂອງ TaC ໃນ MOCVD:

ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງສຸດ:TaC ມີຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດໃນບັນດາວັດສະດຸທັງໝົດ, ສູງກວ່າ 3800 ອົງສາ C. 

Inertness ເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ:TaC ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຕ້ານທານພິເສດຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະການໂຈມຕີທາງເຄມີຈາກທາດອາຍຜິດ precursor reactive ທີ່ໃຊ້ໃນ MOCVD, ເຊັ່ນ: ammonia, silane, ແລະທາດປະສົມໂລຫະຕ່າງໆ.

ການປຽບທຽບການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງ TaC ແລະ SiC

ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ:ຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຂອງ TaC ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງທາງມິຕິເນື່ອງຈາກການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ MOCVD. 

ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ:ຄວາມແຂງແລະຄວາມທົນທານຂອງ TaC ສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການທໍາລາຍຈາກການໄຫຼວຽນຂອງທາດອາຍຜິດທີ່ຄົງທີ່ແລະອະນຸພາກທີ່ມີທ່າແຮງພາຍໃນລະບົບ MOCVD. 

ຜົນປະໂຫຍດສໍາລັບການປະຕິບັດ MOCVD:

ການນໍາໃຊ້ແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ Semicorex TaC ໃນອຸປະກອນ MOCVD ປະກອບສ່ວນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່:

ປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນ Epitaxial:ການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ຊັດເຈນທີ່ອໍານວຍໂດຍ TaC Coating Guide Ring ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງຄາຣະວາທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຮັດໃຫ້ມີການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະອົງປະກອບທີ່ສອດຄ່ອງກັນ.

ຄວາມສະຖຽນຂອງຂະບວນການປັບປຸງ:ຄວາມຄົງຕົວຂອງຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີຂອງ TaC ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນສະພາບແວດລ້ອມຕິກິຣິຍາທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຄວບຄຸມຫຼາຍຂື້ນພາຍໃນຫ້ອງ MOCVD, ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຂອງຂະບວນການແລະການປັບປຸງການສືບພັນ.

ການເພີ່ມເວລາອຸປະກອນ:ຄວາມທົນທານແລະອາຍຸການຍືດຍາວຂອງ TaC Coating Guide Ring ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນເລື້ອຍໆ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາການບໍາລຸງຮັກສາຫນ້ອຍແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບການເຮັດວຽກຂອງລະບົບ MOCVD.