ກະປຸກ Quartz Bell 15"

Semicorex 15" Quartz Bell Jar ແມ່ນວິສະວະກໍາເພື່ອຕອບສະຫນອງສິ່ງທ້າທາຍເຫຼົ່ານີ້, ສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ batch ຂະຫນາດກາງຫາຂະຫນາດໃຫຍ່ທີ່ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບສູງສຸດ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມ inert ເຄມີກາຍເປັນບໍ່ສາມາດຕໍ່ລອງໄດ້.

1. ວິທະຍາສາດວັດສະດຸ: ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊິລິກາ Fused

ພື້ນຖານຂອງກະປ໋ອງລະຄັງຂອງພວກເຮົາແມ່ນມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຊິລິກາປະສົມ (Quartz). ບໍ່ເຫມືອນກັບແກ້ວມາດຕະຖານ, quartz ແມ່ນປະກອບດ້ວຍ SiO2 ເກືອບທັງຫມົດ, ສະຫນອງຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor:

ການປົນເປື້ອນຕໍ່າສຸດ: quartz ຂອງພວກເຮົາຖືກປຸງແຕ່ງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນອົງປະກອບຕາມຮອຍຂອງໂລຫະ (ເຊັ່ນ: Al, Fe, Na, ແລະ K) ໃນລະດັບພາກສ່ວນຕໍ່ຕື້ (ppb). ນີ້ປ້ອງກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງ impurities ເຂົ້າໄປໃນ wafer ໃນຮອບວຽນອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງອຸປະກອນໄຟຟ້າ.

ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເໜືອກວ່າ: Quartz ມີຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE). ອັນນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ກະປ໋ອງ Quartz Bell ຂະໜາດ 15 ນິ້ວສາມາດທົນຕໍ່ອຸນຫະພູມໄວ ແລະ ການດັບໄຟໄດ້ ໂດຍບໍ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການກະດູກຫັກ ຫຼື ຄວາມເມື່ອຍລ້າຂອງໂຄງສ້າງ - ເປັນຂໍ້ຮຽກຮ້ອງທີ່ສຳຄັນສຳລັບເຕົາປະຕິກອນທີ່ມີຄວາມໄວສູງ.

Inertness ເຄມີທີ່ດີເລີດ: Quartz ມີຄວາມທົນທານສູງຕໍ່ອາຊິດສ່ວນໃຫຍ່ (ຍົກເວັ້ນອາຊິດ hydrofluoric) ແລະທາດອາຍຜິດຂະບວນການ corrosive, ຮັບປະກັນວ່າສະພາການບໍ່ degrade ຫຼື outgas ໃນລະຫວ່າງການ etching ຮຸກຮານຫຼືຮອບວຽນ deposition.

2. ວິສະວະກໍາ Precision ແລະຄວາມຊັດເຈນ optical

The 15" Quartz Bell Jar ສະຫນອງປະລິມານສູງສຸດແລະນະໂຍບາຍດ້ານການໄຫຼຂອງກ໊າຊທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບຈຸດປະສົງຂອງການປຸງແຕ່ງ wafer batch. ກະປ໋ອງມີທໍ່ຕັ້ງ (ຍັງເອີ້ນວ່າຄໍ) ທີ່ຖືກອອກແບບທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອໃຫ້ມີຊ່ອງສຽບສໍາລັບອາຍແກັສຫຼືຊ່ວຍສະກັດກ໊າຊໂດຍຜ່ານສູນຍາກາດຈາກກະປ໋ອງ, ເຊິ່ງສະແດງຢູ່ໃນຮູບຂ້າງເທິງ.

Optical Transparency - ລະດັບສູງຂອງລະບົບສາຍສົ່ງຂອງວັດສະດຸ quartzເພື່ອປ່ອຍຄວາມຍາວຂອງຄື້ນໃນບໍລິເວນ ultraviolet, ເບິ່ງເຫັນແລະ infrared ຂອງ spectrum ອະນຸຍາດໃຫ້ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງເຊັ່ນດຽວກັນກັບການນໍາໃຊ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໂຄມໄຟພາຍນອກສໍາລັບການປະມວນຜົນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP).

ດ້ານການຜະນຶກດ້ານການເສີມ - ຄໍຂອງກະປ໋ອງມີປະທັບຕາສີຂາວ opaque ທີ່ຖືກພັດທະນາໂດຍສະເພາະ (ຍັງເອີ້ນວ່າການຮ່ວມກັນຂອງພື້ນດິນ) ທີ່ສະຫນອງການຜະນຶກເຂົ້າກັນໄດ້ (ການຜະນຶກທາງອາກາດ) ແລະຊ່ອງຫວ່າງທີ່ແຫນ້ນແຫນ້ນລະຫວ່າງພື້ນຖານຂອງເຕົາປະຕິກອນແລະກະປ໋ອງ.

Annealing for Stress Relief - ທັງໝົດ 15" Quartz Bell Jar ດໍາເນີນຂະບວນການຫມຸນຄວາມຮ້ອນຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອບັນເທົາຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກພາຍໃນທີ່ວາງໄວ້ເທິງກະປ໋ອງໂດຍຂະບວນການກົນຈັກຂອງການເປົ່າຫຼືຮູບຮ່າງຂອງກະປ໋ອງ, ດັ່ງນັ້ນຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໂອກາດທີ່ກະປ໋ອງຈະລົ້ມເຫລວໂດຍທໍາມະຊາດໃນເວລາທີ່ວາງໄວ້ພາຍໃຕ້ການໂຫຼດສູນຍາກາດ.

3. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນໃນ Semiconductor Fab

15" Quartz Bell Jar ຂອງພວກເຮົາຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການເຊື່ອມໂຍງກັບຂະບວນການທີ່ມີຄຸນຄ່າສູງຕໍ່ໄປນີ້:

Silicon Epitaxy: ສະຫນອງເຮືອທີ່ມີຄວາມໂປ່ງໃສ, ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນຊິລິຄອນກ້ອນດຽວທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): ທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມ plasma corrosive ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມເຂັ້ມແຂງ dielectric ສູງ.

ການແຜ່ກະຈາຍແລະການຜຸພັງ: ເປັນຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ຄວາມຮ້ອນສູງສໍາລັບການສ້າງຕັ້ງຂອງ oxides ປະຕູແລະ dopant drive-in.

Optical Fiber Preform Production: ເໝາະສຳລັບການສ້າງຊັ້ນຊິລິກາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນການຜະລິດແກ້ວພິເສດ.

ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາຈັດການກະປ໋ອງລະຄັງແຕ່ລະອັນເປັນອຸປະກອນຫ້ອງທົດລອງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ. ຂະບວນການຂອງພວກເຮົາປະກອບມີ: ການຈັດຫາວັດສະດຸຢ່າງເຂັ້ມງວດດ້ວຍການຢັ້ງຢືນລະດັບອີເລັກໂທຣນິກquartzingots; ການຜະລິດແບບພິເສດທີ່ປະສົມປະສານທັກສະການເປົ່າແກ້ວແບບດັ້ງເດີມດ້ວຍການຂັດແລະຂັດທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍ CNC; ແລະການກວດກາຢ່າງລະອຽດໂດຍໃຊ້ແສງຂົ້ວເພື່ອກວດຫາຄວາມກົດດັນທີ່ຕົກຄ້າງ ແລະ laser interferometry ສໍາລັບການກວດສອບຂະຫນາດທີ່ຊັດເຈນ.