1x2" Graphite Wafer Susceptors

ໃນ fabrication wafer semiconductor, ຊັ້ນ epitaxial ຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ປູກຢູ່ໃນ substrate wafer ສໍາລັບ fabrication ຕໍ່ໄປຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ເນື່ອງຈາກຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງຕໍ່ການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມແລະການປົນເປື້ອນ, ການຄັດເລືອກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້.wafer suceptorsມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ. ໃນຖານະເປັນພາກສ່ວນສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະບວນການ wafer epitaxial, ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງເຄື່ອງຈັກ, ຄວາມສາມາດໃນການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະການປະຕິບັດການຕໍ່ຕ້ານການປົນເປື້ອນແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນໃນການບັນລຸການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial wafer ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ຫນ້າທີ່ຂອງ Semicorex 1x2" graphite susceptors wafer

ຜະລິດຈາກເມັດພືດທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ກຣາຟຟີ້ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນເມທຣິກຂອງພວກມັນດ້ວຍການເຄືອບຊິລິຄອນຄາໄບທີ່ຫນາແຫນ້ນໂດຍຜ່ານຂະບວນການພິເສດ, Semicorex 1x2 "graphite wafer susceptors ສະຫນອງຫນ້າທີ່ດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1.Secure ແລະ Stale ຖື

Semicorex 1x2"ກຣາຟwafer suceptors ຄຸນນະສົມບັດເຄື່ອງກົນຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາແລະການປິ່ນປົວ, ສະຫນອງການຍົກພື້ນຜິວເປັນພິເສດແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບ. ນີ້ຮັບປະກັນວ່າພວກເຂົາຖືກຍຶດຫມັ້ນຢູ່ໃນຕໍາແຫນ່ງທີ່ເຫມາະສົມແລະສະຫນອງເວທີການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ຮາບພຽງສໍາລັບການເຕີບໂຕຂອງ wafer epitaxial.

2.Precision Uniform ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ

ດ້ວຍການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງວັດສະດຸ graphite ແລະ SiC, Semicorex 1x2" graphite wafer susceptors ສະຫນອງການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາແລະເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວສານ semiconductor. ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນລະດັບອຸນຫະພູມ, Semicorex 1x2" graphite susceptors ສາມາດຫຼີກເວັ້ນບັນຫາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄຸນນະພາບຂອງ epitaxial ແລະຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງຄວາມກົດດັນທີ່ບໍ່ສະເຫມີກັນ.

ຂໍ້ດີຂອງການເຄືອບ Semicorex silicon carbide

1.Superior corrosion resistance

ຫຸ້ມດ້ວຍແຜ່ນ silicon carbide ຫນາແຫນ້ນ, Semicorex 1x2" graphite susceptors ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສ່ວນໃຫຍ່, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບການດໍາເນີນງານທີ່ມີ corrosive ສູງທີ່ອຸປະກອນການແມ່ນມັກຈະສໍາຜັດກັບອາຍແກັສ corrosive ແລະ vapors ສານເຄມີ.

2.ການຫຼົ່ນລົງອະນຸພາກຕ່ໍາ

Semicorexການເຄືອບ silicon carbideມີຄວາມເຂັ້ມແຂງຜູກມັດສູງກັບມາຕຣິກເບື້ອງ graphite, ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍສາມາດຫຼີກເວັ້ນຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນ substrate ເນື່ອງຈາກການ detachment ການເຄືອບເນື່ອງຈາກການ corrosion ແລະ fallout particle ທີ່ເກີດຈາກສະພາບແວດລ້ອມ corrosion ສູງ.

3.ຊີວິດການບໍລິການທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້

ເຖິງແມ່ນວ່າ graphite matrixes ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ມັນມັກຈະ corrosion ແລະການ pulverization ພາຍໃຕ້ສະພາບການດໍາເນີນງານຂອງຂະບວນການ epitaxial, ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍອາຍຸຂອງ matrixes graphite uncoated. ໂດຍການຫຸ້ມຫໍ່ກາຟຟີດມາທຣິກຢ່າງເຕັມທີ່ດ້ວຍການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ທົນທານຕໍ່ wafer graphite 1 × 2 "ຂອງພວກເຮົາບັນລຸຄວາມທົນທານດີກວ່າແລະເຊື່ອຖືໄດ້.

ຂໍ້ມູນວັດສະດຸຂອງການເຄືອບ Semicorex SiC