ມໍລະດົກ Aln

semicorex aln ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສໍາລັບ semiconductor ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ສໍາລັບອຸປະກອນການເຮັດຄວາມຮ້ອນ semiconduor semiconduor. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເຮັດຈາກອາລູມິນຽມ nitride ceramicອຸປະກອນການ, ມີຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ແລະສາມາດປະຕິບັດງານຢ່າງສະຫມໍ່າສະເຫມີໃນອຸນຫະພູມສູງ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນມັກຈະໃຊ້ສາຍຄວາມຕ້ານທານເປັນອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນ. ໂດຍການສ້າງຄວາມເຂັ້ມແຂງໃຫ້ມີສາຍຄວາມຕ້ານທານເພື່ອຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມຮ້ອນຈະຖືກໂອນໄປສູ່ພື້ນທີ່ຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເພື່ອບັນລຸຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸ semiconductor. Aln Heaters ສໍາລັບ semiconductor ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ແລະສາມາດໃຊ້ໃນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ Crystal, Annaling, ແລະ Baking.

ໃນຂະບວນການຜະລິດທີ່ຢູ່ທາງຫນ້າ (FEOL) ຂອງ semiconductor, ການຮັກສາຂະບວນການຕ່າງໆຕ້ອງໄດ້ໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນອຸນຫະພູມສະເພາະ, ເພາະວ່າຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມມີອິດທິພົນທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍຕໍ່ຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ; ໃນເວລາດຽວກັນ, ອຸປະກອນ semiconductor ຍັງຕ້ອງເຮັດວຽກຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສູນຍາກາດ, plasma, gases gases, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ໃຊ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກ (ເຄື່ອງດູດເຊດ). ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງອຸປະກອນຝາກປະກອບຮູບເງົາບາງໆ. ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນຫ້ອງປະມວນຜົນແລະຕິດຕໍ່ກັບ Wafer ໂດຍກົງທີ່ຈະໃສ່ອຸນຫະພູມແລະເຮັດໃຫ້ມີອຸນຫະພູມໃນການຂະຫຍາຍແລະເຮັດໃຫ້ມີຮູບເງົາບາງໆແລະສ້າງຮູບເງົາບາງໆຢູ່ດ້ານທີ່ມີກິ່ນຫອມ.

ອຸປະກອນຝາກເຄື່ອງເງົາບາງໆສໍາລັບເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແບບເຊລາມິກໂດຍທົ່ວໄປໃຊ້ອຸປະກອນການເຊລາມິກໂດຍອີງໃສ່ອະລູມິນຽມ nitride (aln)ເນື່ອງຈາກວ່າອຸນຫະພູມສູງມີສ່ວນຮ່ວມ. ທາດອາລູມີນຽມ nitride ມີການສນວນກັນແລະການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ; ນອກຈາກນັ້ນ, ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຂອງມັນແມ່ນໃກ້ຄຽງກັບຊິລິໂຄນ, ແລະມັນມີຄວາມຕ້ານທານຂອງ plasma ທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມກັບການໃຊ້ໃນອຸປະກອນອຸປະກອນ semiconductor.

Aln ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນປະກອບມີຖານທັບທີ່ເຮັດໃຫ້ມີກິ່ນຫອມ, ແລະຮ່າງກາຍສະຫນັບສະຫນູນຮູບຊົງກະບອກເຊິ່ງສະຫນັບສະຫນູນມັນຢູ່ດ້ານຫຼັງ. ດ້ານໃນຫຼືຢູ່ດ້ານຂອງພື້ນຖານເຊລາມິກ, ນອກເຫນືອໄປຈາກອົງປະກອບທີ່ຕ້ານທານ (ຊັ້ນໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ) ສໍາລັບຄວາມຮ້ອນ, ຍັງມີໄຟຟ້າ rf (ຊັ້ນ rf). ໃນຄໍາສັ່ງທີ່ຈະບັນລຸຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມມືດຢ່າງໄວວາ, ຄວາມຫນາຂອງພື້ນຖານເຊລາມິກຄວນຈະເປັນບາງໆ, ແຕ່ບາງເກີນໄປກໍ່ຍັງຈະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເຄັ່ງຄັດ. ອົງການສະຫນັບສະຫນູນຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Aln ໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ມີຕົວຄູນຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຄ້າຍຄືກັບພື້ນຖານຂອງພື້ນຖານ, ສະນັ້ນຮ່າງກາຍທີ່ສະຫນັບສະຫນູນມັກຈະເຮັດດ້ວຍທາດອະລູມີນຽມ nitride. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Aln ຮັບຮອງເອົາໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງເພົາທີ່ເປັນເອກະລັກ (ເພົາ) ເພື່ອປ້ອງກັນຢູ່ປາຍຍອດແລະສາຍໄຟຈາກກະດູກສັນຫຼັງຂອງ plasma ແລະທາດອາຍພິດທີ່ມີສານພິດ. ທໍ່ນ້ໍາທີ່ມີຄວາມຮ້ອນແລະທໍ່ຂະຫນາດໃຫຍ່ແມ່ນສະຫນອງໃຫ້ໃນຮ່າງກາຍສະຫນັບສະຫນູນເພື່ອຮັບປະກັນອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ. ພື້ນຖານແລະຮ່າງກາຍທີ່ສະຫນັບສະຫນູນແມ່ນຜູກມັດທາງເຄມີດ້ວຍຊັ້ນພັນທະບັດ.

ອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມຮ້ອນຕ້ານທານແມ່ນຝັງຢູ່ໃນບ່ອນເຮັດຄວາມຮ້ອນ. ມັນຖືກສ້າງຕັ້ງຂື້ນໂດຍການພິມຫນ້າຈໍດ້ວຍການວາງຫນ້າຈໍ (ເຕ້ຍ, molybdenum ຫຼື tantalum) ເພື່ອປະກອບເປັນຮູບແບບວົງຈອນກ້ຽວວຽນຫຼື cortricric. ແນ່ນອນ, ສາຍໂລຫະ, ຕາຫນ່າງໂລຫະ, ແຜ່ນໂລຫະ, ແຜ່ນໂລຫະ, ແລະອື່ນໆກໍ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້. ໃນເວລາທີ່ການນໍາໃຊ້ວິທີການພິມຫນ້າຈໍ, ສອງແຜ່ນເຊລາມິກຂອງຮູບຊົງດຽວກັນໄດ້ຖືກກະກຽມ, ແລະການນໍາໃຊ້ທີ່ປະຕິບັດໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ກັບຫນ້າດິນຂອງຫນຶ່ງໃນນັ້ນ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ມັນໄດ້ຖືກເຮັດໃຫ້ມີຄວາມສັບສົນໃນການປະກອບເປັນອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ານທານ, ແລະແຜ່ນກະເປົ an າທີ່ຕ້ານທານໄດ້ຖືກທັບຊ້ອນດ້ວຍອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ານທານໃນການຝັງຢູ່ໃນຖານ.

ປັດໄຈຕົ້ນຕໍທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນຂອງອາລູມິນຽມ nitride, ຄວາມບໍລິສຸດອົກຊີ, ແລະອື່ນໆ, ເຊິ່ງ, ເຊິ່ງ, ເຊິ່ງ, ເຊິ່ງ, ແລະອື່ນໆ.