Alumina Ceramic ສູນຍາກາດ Chuck

Semicorex Alumina Ceramic Vacuum Chuck ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນ wafer thinning ແລະ grinding ໄລຍະຂອງການຜະລິດ semiconductor. ຂັ້ນຕອນເຫຼົ່ານີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຫຼຸດລົງຢ່າງລະມັດລະວັງຂອງຄວາມຫນາຂອງ substrate wafer ເພື່ອເພີ່ມການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນຂອງຊິບ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການປັບປຸງປະສິດທິພາບແລະອາຍຸຍືນຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ການເຮັດໃຫ້ wafers ບາງໆກັບຂໍ້ກໍານົດທີ່ຊັດເຈນແມ່ນຍັງສໍາຄັນສໍາລັບການອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນເຕັກນິກການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວຫນ້າ.

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫຼາຍຂະຫນາດ Wafer

Alumina Ceramic Vacuum Chuck ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນຂະຫນາດ wafer ຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ລວມທັງ 2, 3, 4, 5, 6, 8, ແລະ 12 ນິ້ວ. ການປັບຕົວນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor ກວ້າງ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ໃນທົ່ວຂະຫນາດ wafer ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ອົງປະກອບຂອງວັດສະດຸຊັ້ນສູງ

ພື້ນຖານຂອງ Alumina Ceramic Vacuum Chuck ແມ່ນກໍ່ສ້າງຈາກອະລູມິນຽມທີ່ບໍລິສຸດ 99.99% (Al2O3), ເຊິ່ງສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານພິເສດຕໍ່ກັບການໂຈມຕີທາງເຄມີແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ. ດ້ານການດູດຊຶມແມ່ນເຮັດດ້ວຍ porous silicon carbide (SiC). ໂຄງສ້າງທີ່ຫນາແຫນ້ນແລະເປັນເອກະພາບຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກ porous ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມທົນທານແລະການປະຕິບັດຂອງມັນ.

ຜົນປະໂຫຍດຂອງເຕັກໂນໂລຊີເຊລາມິກ Micro-Porous

ປັບປຸງຄວາມຮາບພຽງ ແລະຂະໜານ: ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Alumina Ceramic Chuck ຈຸນລະພາກສົ່ງຄວາມຮາບພຽງທີ່ໂດດເດັ່ນ ແລະຂະໜານກັນ, ຮັບປະກັນການຈັດການ wafer ທີ່ຊັດເຈນ ແລະຄວາມໝັ້ນຄົງ.

porosity ແລະ breathability ທີ່ດີທີ່ສຸດ: ຮູຂຸມຂົນຈຸນລະພາກທີ່ແຈກຢາຍໄດ້ດີສະຫນອງການ permeability ອາກາດທີ່ດີກວ່າແລະແຮງ adsorption ເອກະພາບ, ເຮັດໃຫ້ການດໍາເນີນງານກ້ຽງແລະສອດຄ່ອງ.

ຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມທົນທານຂອງວັດສະດຸ: ຜະລິດຈາກ Alumina ບໍລິສຸດ 99.99%, Alumina Ceramic Vacuum Chuck ຂອງພວກເຮົາແມ່ນທົນທານຕໍ່ການໂຈມຕີທາງເຄມີແລະສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ຕ້ອງການ.

ການອອກແບບທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້: ພວກເຮົາສະເຫນີໃຫ້ຫລາກຫລາຍຮູບແບບທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້, ລວມທັງການອອກແບບວົງມົນ, ສີ່ຫລ່ຽມ, ວົງ, ແລະຮູບ L, ທາງເລືອກທີ່ມີຄວາມຫນາຕັ້ງແຕ່ 3MM ຫາ 10MM. ການປັບແຕ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າ Alumina Ceramic Vacuum Chuck ຂອງພວກເຮົາຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ທາງເລືອກວັດສະດຸພື້ນຖານທີ່ມີຄວາມຫຼາກຫຼາຍ: ອີງຕາມຂໍ້ກໍານົດສໍາລັບຄວາມຮາບພຽງແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ, ພວກເຮົາສະຫນອງຂໍ້ສະເຫນີແນະສໍາລັບວັດສະດຸພື້ນຖານທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຊັ່ນ: ສະແຕນເລດ SUS430, ອະລູມິນຽມ Alloy 6061, ຫນາແຫນ້ນ Alumina ceramic (ສີງາຊ້າງ), granite, ແລະຫນາແຫນ້ນ silicon carbide ceramic. ແຕ່ລະວັດສະດຸຖືກເລືອກເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງນ້ໍາຫນັກແລະການປະຕິບັດຂອງ Alumina Ceramic Vacuum Chuck.