Alumina End Effector

ທາງເລືອກຂອງວັດສະດຸສໍາລັບ Semicorex Alumina End Effector ແມ່ນຂັບເຄື່ອນໂດຍຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງອາລູມິນຽມເຊລາມິກທີ່ເຫມາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງທີ່ພົບໃນການຜະລິດ semiconductor: 

ຄວາມບໍລິສຸດພິເສດສໍາລັບການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ: Alumina End Effector, ປະກອບດ້ວຍເຊລາມິກອາລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນຊັ້ນຍ່ອຍ, ມີລັກສະນະເປັນສິ່ງປົນເປື້ອນໃນລະດັບຕໍ່າທີ່ສຸດ, ຮັບປະກັນວ່າມັນຈະບໍ່ມີສານປົນເປື້ອນທີ່ສາມາດທໍາລາຍຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຫຼືການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ລະອຽດອ່ອນ.

ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງສໍາລັບຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງຂະບວນການ:Alumina End Effector ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ພົບໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: ການຜຸພັງຄວາມຮ້ອນ, ການແຜ່ກະຈາຍ, ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ.

Inertness ເຄມີສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ:ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີທີ່ປະກົດຂຶ້ນຂອງ Alumina End Effector ເຮັດໃຫ້ມັນບໍ່ທົນທານຕໍ່ລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງອາຊິດ, ຖານ, ແລະສານລະລາຍທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor. inertness ນີ້ປ້ອງກັນການກັດກ່ອນຫຼືການເຊື່ອມໂຊມຂອງ end effector, ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບໃນໄລຍະຍາວຂອງຕົນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນ particulate.

ຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ເຂັ້ມແຂງສໍາລັບຊີວິດການບໍລິການຂະຫຍາຍ:ອາລູມິນຽມເຊລາມິກແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມແຂງ, ຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ແລະຄວາມສາມາດໃນການທົນທານຕໍ່ຮອບວຽນຊ້ໍາຊ້ອນຂອງການຈັດການແລະການເຮັດຄວາມສະອາດໂດຍບໍ່ມີການຊຸດໂຊມ. ຄວາມແຂງແຮງນີ້ແປວ່າອາຍຸການບໍລິການທີ່ຍາວນານສໍາລັບ Alumina End Effector, ການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການທົດແທນແລະການຢຸດເຮັດວຽກ.

ຄວາມແມ່ນຍໍາ, ຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະຄວາມທົນທານຂອງ Alumina End Effector ໄດ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນລະດັບຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ສໍາຄັນ:

ການຖ່າຍຮູບ:ການຈັດວາງ wafer ທີ່ຊັດເຈນແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນ photolithography, ບ່ອນທີ່ deviations ເລັກນ້ອຍສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມຜິດພາດ misalignment ແລະຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ. Alumina End Effector ສະຫນອງຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບຂັ້ນຕອນຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນນີ້.

ການວາງແຜນກົນຈັກເຄມີ (CMP):ຄວາມສາມາດໃນການຕ້ານທານກັບ slurries ຮຸກຮານທາງເຄມີແລະກໍາລັງກົນຈັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບ CMP ເຮັດໃຫ້ Alumina End Effector ເຫມາະສົມສໍາລັບການຈັດການ wafers ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນນີ້, ເຊິ່ງ planarizes ດ້ານ wafer ສໍາລັບຊັ້ນຕໍ່ມາ.

ການກວດສອບ Wafer ແລະ Metrology:ລັກສະນະທີ່ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນແລະບໍ່ທໍາລາຍຂອງ Alumina End Effector ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການຈັດການ wafers ໃນລະຫວ່າງການກວດກາແລະຂະບວນການວັດແທກ, ຮັບປະກັນການວັດແທກທີ່ຖືກຕ້ອງແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການນໍາສະເຫນີຂໍ້ບົກພ່ອງ.