Ceramic Electrostatic Chuck

Semicorex Ceramic Electrostatic Chuck, ຫັດຖະກໍາຈາກອາລູມິນຽມເຊລາມິກ, ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຍຶດ wafers semiconductor ຢ່າງປອດໄພໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດຕ່າງໆ. ດ້ວຍການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄຸນສົມບັດວັດສະດຸ, Ceramic Electrostatic Chuck ນີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາ, ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, ແລະປະສິດທິພາບຕະຫຼອດການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor.

ຫົວໃຈຂອງ Ceramic Electrostatic Chuck ແມ່ນ alumina ceramic, ວັດສະດຸທີ່ໄດ້ຮັບການຍົກຍ້ອງສູງໃນອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະເຄມີພິເສດຂອງມັນ. Alumina (Al2O3) ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມສາມາດ insulation ໄຟຟ້າທີ່ໂດດເດັ່ນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນສະພາບການຂອງ ESC. ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ semiconductor, wafers ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຍຶດຫມັ້ນໂດຍບໍ່ມີການແນະນໍາການແຊກແຊງໄຟຟ້າທີ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ວົງຈອນທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ຖືກ fabricated. ຄວາມເຂັ້ມແຂງ dielectric ສູງຂອງ alumina ceramic ຮັບປະກັນວ່າ chuck ສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນແຮງດັນສູງທີ່ຈໍາເປັນໂດຍບໍ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການໄຫຼຂອງໄຟຟ້າ, ສະຫນອງແຮງຍຶດທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາຕໍາແຫນ່ງ wafer ແລະຄວາມສົມບູນ.

The Ceramic Electrostatic Chuck ດໍາເນີນການໂດຍການສ້າງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າສະຖິດໂດຍຜ່ານ electrodes ຝັງຢູ່ໃນ alumina ceramic. ເມື່ອໃຊ້ແຮງດັນໄຟຟ້າ, ພາກສະຫນາມຜົນໄດ້ຮັບຈະສ້າງແຮງຍຶດທີ່ເຂັ້ມແຂງທີ່ຍຶດ wafer ໄວ້ຢ່າງປອດໄພຢູ່ດ້ານຂອງ chuck. ວິທີການຍຶດຕິດທີ່ບໍ່ແມ່ນກົນຈັກນີ້ແມ່ນໄດ້ປຽບໂດຍສະເພາະໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ເນື່ອງຈາກວ່າມັນຫຼຸດຜ່ອນການຕິດຕໍ່ທາງດ້ານຮ່າງກາຍແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນແລະຄວາມເສຍຫາຍທາງກົນຈັກກັບ wafer, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໂດຍສະເພາະສໍາລັບ nodes ກ້າວຫນ້າ, ເຖິງແມ່ນວ່າຂໍ້ບົກພ່ອງເລັກນ້ອຍສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການສູນເສຍຜົນຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຫນຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງ Ceramic Electrostatic Chuck ແມ່ນການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ. ຂະບວນການ semiconductor ມັກຈະປະກອບດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງສາມາດແນະນໍາຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນໃຫ້ກັບ wafer ໄດ້. Alumina ceramic ແມ່ນລາງວັນສໍາລັບການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ Ceramic Electrostatic Chuck ສາມາດກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ຄວາມສາມາດໃນການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນນີ້ແມ່ນຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວ wafer, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນ gradients ຄວາມຮ້ອນທີ່ສາມາດນໍາໄປສູ່ການ warping ຫຼື micro-cracking. ຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ສະຫນອງໂດຍ alumina ceramic ຮັບປະກັນວ່າຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ photolithography ແລະ etching ແມ່ນດໍາເນີນດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາ, ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງ wafer ຕະຫຼອດວົງຈອນການຜະລິດ.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຄວາມທົນທານຂອງກົນຈັກຂອງ alumina ceramic ປະກອບສ່ວນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄວາມທົນທານແລະອາຍຸຍືນຂອງ ESC. ໃນການຜະລິດ semiconductor, Ceramic Electrostatic Chuck ແມ່ນຂຶ້ນກັບຮອບວຽນຊ້ໍາຊ້ອນຂອງການວາງ wafer, ການປຸງແຕ່ງ, ແລະການໂຍກຍ້າຍ. ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ຂອງອາລູມິນຽມຮັບປະກັນວ່າ chuck ສາມາດທົນທານຕໍ່ວົງຈອນເຫຼົ່ານີ້ໂດຍບໍ່ມີການຊຸດໂຊມທີ່ສໍາຄັນ. ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ຈະຍືດອາຍຸຊີວິດຂອງ chuck ແຕ່ຍັງຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການຜະລິດອະນຸພາກ, ຊຶ່ງຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນອາດຈະປົນເປື້ອນ wafer ແລະປະນີປະນອມຄຸນນະພາບອຸປະກອນ. ຄວາມແຂງຂອງວັດສະດຸຍັງຫມາຍຄວາມວ່າພື້ນຜິວ chuck ຍັງຄົງລຽບແລະເປັນເອກະພາບ, ເປັນປັດໃຈສໍາຄັນໃນການຮັກສາຜົນບັງຄັບໃຊ້ຍຶດຕິດທີ່ສອດຄ່ອງແລະຫຼີກເວັ້ນຄວາມເສຍຫາຍຂອງ wafer.