ແຫວນແຂບ

ແຫວນ Semicorex Edge ແມ່ນພາກສ່ວນທີ່ສໍາຄັນຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ເຕັມຮູບແບບ, ໂດຍສະເພາະສໍາລັບການສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ Wafer ແລະການຝາກເງິນ vapor ຂອງ plasma (CVD). ແຫວນແຂບຖືກອອກແບບມາເພື່ອອ້ອມຮອບຊັ້ນນອກຂອງເຄື່ອງປະດັບ semiconductor ເພື່ອແຈກຢາຍຄວາມເປັນເອກະພາບໃນຂະນະທີ່ປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ. ແຫວນແຂບຂອງພວກເຮົາແມ່ນຜະລິດຈາກການເກຍເງິນເຄມີທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ Silicon Carbide (CVD Sic) ແລະຖືກສ້າງຂຶ້ນເພື່ອສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການ.

ບັນຫາເກີດຂື້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການທີ່ອີງໃສ່ plasma ໃນບ່ອນທີ່ພະລັງງານທີ່ບໍ່ເປັນເອກະພາບແລະການບິດເບືອນ plasma ຢູ່ແຄມຂອງຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານການດໍາເນີນການ, ຫຼືການສູນເສຍຜົນຜະລິດ. ແຫວນແຂບຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງນີ້ໂດຍການສຸມໃສ່ແລະຮູບຮ່າງຂອງພະລັງງານທີ່ຢູ່ອ້ອມຮອບລະດັບຂ້າງນອກຂອງ wafer ຂອງ wafer. ແຫວນແຂບນັ່ງຢູ່ນອກຂອບດ້ານນອກຂອງ wafer ແລະເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນອຸປະສັກແລະການປົກປ້ອງຂອບທາງຂອງ Wafer, ແລະໃຫ້ຄວາມເປັນເອກະພາບເພີ່ມເຕີມໃນທົ່ວຫນ້າ wafer.

ຜົນປະໂຫຍດດ້ານວັດຖຸຂອງ CVD Sic:

ແຫວນແຂບຂອງພວກເຮົາແມ່ນຜະລິດຈາກ CVD Sic-purity ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດ, ເຊິ່ງຖືກອອກແບບແລະເປັນເອກະລັກສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການທີ່ໂຫດຮ້າຍ. CVD SIC ມີລັກສະນະການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ຄວາມຕ້ານທານກົນຈັກທີ່ເຮັດໃຫ້ເອກະສານອ້າງອີງ, ສະຖຽນລະພາບ, ສະຖຽນລະພາບ, ແລະບັນຫາການປົນເປື້ອນຕໍ່າ, ແລະບັນຫາການປົນເປື້ອນຕໍ່າ, ແລະບັນຫາການປົນເປື້ອນຕໍ່າ.

ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: CVD Sic ມີຄວາມບໍ່ສະອາດຢູ່ໃກ້ສູນທີ່ມີຄວາມຫມາຍວ່າມັນຈະບໍ່ມີອະນຸພາກທີ່ສ້າງຂື້ນແລະບໍ່ມີການປົນເປື້ອນໂລຫະ

ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ: ອຸປະກອນການຮັກສາສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິໃນອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການຈັດວາງ wafer ທີ່ເຫມາະສົມໃນຕໍາແຫນ່ງຂອງມັນ.

ຄວາມບໍ່ມີປະໂຫຍດທາງເຄມີ: ມັນແມ່ນທາດອາຍຜິດທີ່ເປັນທາດອາຍຜິດເຊັ່ນ: ບັນດາທາດ floruorine ຫຼື chlorine ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມ etch plasma ພ້ອມທັງຂະບວນການ CVD.

ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ: CVD Sic ສາມາດຕ້ານທານກັບການແຕກແລະການເຊາະເຈື່ອນໃນໄລຍະເວລາເວລາຂອງວົງຈອນທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບປະກັນຊີວິດສູງສຸດແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາ.

ແຫວນແຂບແຕ່ລະແຜ່ນແມ່ນມີປະເພນີທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ມີຂະຫນາດເລຂາຄະນິດຂອງຫ້ອງປະກອບເລຂາຄະນິດແລະຂະຫນາດຂອງ wafer; ໂດຍປົກກະຕິ 200mm ຫຼື 300mm. ຄວາມທົນທານໃນການອອກແບບແມ່ນໄດ້ຮັບການປະຕິບັດຢ່າງແຫນ້ນຫນາເພື່ອຮັບປະກັນວ່າແຫວນແຂບສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້ໃນໂມດູນຂະບວນການທີ່ມີຢູ່ແລ້ວໂດຍບໍ່ຕ້ອງມີການດັດແປງ. ເລຂາຄະນິດແລະການສໍາເລັດຮູບແບບທີ່ມີໃຫ້ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການ OEM ທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼືການຕັ້ງຄ່າເຄື່ອງມື.