Chuck ໄຟຟ້າສະຖິດ

ການໃຊ້ອາລູມີນາເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, Semicorex Electrostatic Chuck ໃຫ້ປະສິດທິພາບສູງສຸດໃນການຕັ້ງຄ່າທີ່ຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ແລະຄວາມສະອາດ. Alumina, ຊຶ່ງເອີ້ນກັນວ່າອາລູມິນຽມອອກໄຊ (Al2O3), ເປັນວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ມີຊື່ສຽງສໍາລັບຄຸນສົມບັດ insulation ໄຟຟ້າພິເສດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ໂດດເດັ່ນ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການກໍ່ສ້າງ chuck electrostatic, ອອກແບບມາເພື່ອທົນທານຕໍ່ເງື່ອນໄຂຄວາມຕ້ອງການຂອງການປຸງແຕ່ງ semiconductor. Alumina ceramic ESC ແມ່ນວິສະວະກໍາເພື່ອທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ສະພາບແວດລ້ອມ corrosive, ແລະຄວາມກົດດັນກົນຈັກໃນລະຫວ່າງການຈັດການແລະການປຸງແຕ່ງ wafer, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຜົນຜະລິດແລະຄຸນນະພາບຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

ຫຼັກການພື້ນຖານທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫລັງຂອງ Electrostatic Chuck ແມ່ນຜົນບັງຄັບໃຊ້ໄຟຟ້າສະຖິດ, ໃຊ້ເພື່ອຍຶດ wafer ໄວ້ຢ່າງປອດໄພ. ຜົນບັງຄັບໃຊ້ນີ້ຖືກສ້າງຂື້ນໂດຍການໃຊ້ແຮງດັນໄຟຟ້າກັບ electrodes ທີ່ຝັງຢູ່ໃນວັດສະດຸເຊລາມິກ. ປະຕິສໍາພັນລະຫວ່າງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າສະຖິດແລະຄ່າ induced ເທິງຫນ້າດິນ wafer ສ້າງຜົນບັງຄັບໃຊ້ clamping ທີ່ເຂັ້ມແຂງທີ່ຖື wafer ຕ້ານກັບຫນ້າດິນຂອງ chuck ໄດ້. ການອອກແບບຂອງ Alumina ceramic ESC ຮັບປະກັນວ່າແຮງຍຶດນີ້ໄດ້ຖືກແຈກຢາຍຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນທົ່ວ wafer, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການ slippage ຫຼືຄວາມເສຍຫາຍໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ.

ຫນຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຂອງການນໍາໃຊ້ alumina ceramic ໃນການກໍ່ສ້າງ Chuck Electrostatic ແມ່ນຄຸນສົມບັດ insulating ໄຟຟ້າພິເສດຂອງຕົນ. ຄວາມເຂັ້ມແຂງ dielectric ສູງຂອງ Alumina ອະນຸຍາດໃຫ້ນໍາໃຊ້ແຮງດັນສູງໂດຍບໍ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການທໍາລາຍໄຟຟ້າ, ສໍາຄັນຕໍ່ການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າສະຖິດ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການຝັງຕົວຂອງ plasma ຫຼືການປ່ອຍອາຍພິດຂອງສານເຄມີ, ບ່ອນທີ່ wafer ປະເຊີນກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີປະຕິກິລິຍາສູງແລະການປ່ຽນແປງໃດໆຂອງແຮງຍຶດສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບົກຜ່ອງຫຼືຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ wafer.

ນອກເຫນືອໄປຈາກຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງມັນ, alumina ceramic ສະແດງໃຫ້ເຫັນການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ຄວາມສາມາດຂອງ Electrostatic Chuck ໃນການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບຊ່ວຍຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນທົ່ວ wafer, ຫຼຸດຜ່ອນ gradients ຄວາມຮ້ອນທີ່ສາມາດນໍາໄປສູ່ການ warping ຫຼືຮູບແບບອື່ນໆຂອງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນນີ້ແມ່ນສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຊ້ໍາກັນຂອງຂະບວນການເຊັ່ນ photolithography, ບ່ອນທີ່ເຖິງແມ່ນວ່າການ deviations ອຸນຫະພູມເລັກນ້ອຍສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນໄດ້ຮັບ.