ການເຄືອບກາກບອນແວ່ນຮູ້ສຶກຮູ້ສຶກ

ການເຄືອບກາກບອນແວ່ນຕາ semicorex glory ຮູ້ສຶກວ່າເປັນຊັ້ນສນວນໃນໃນຊິລິໂຄນຂອງປະຕິສັງຂອນປະຈໍາຊິລິກາ. ມັນແມ່ນອຸປະກອນການສນວນກັນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນທີ່ກ້າວຫນ້າ. ຜະລິດຕະພັນນີ້ເອົາຊະນະສິ່ງທ້າທາຍໃນການຜະລິດອຸນຫະກອນສູງທີ່ມີເນື້ອທີ່ສູງຂອງ semiconductor ໂດຍປົກກະຕິໂດຍການສະເຫນີວິທີແກ້ໄຂທີ່ດີກວ່າເນື່ອງຈາກຄວາມຮ້ອນທີ່ມີນ້ໍາຫນັກເບົາແລະຄວາມຮ້ອນຂອງgraphite ຮູ້ສຶກ, ບວກກັບຄວາມສົມບູນຂອງພື້ນຜິວແລະຄວາມບໍ່ມີປະໂຫຍດທາງເຄມີທີ່ແຜ່ລາມໄປດ້ວຍການເຄືອບກາກບອນ garbon.

ເອກະສານພື້ນຖານແມ່ນຄວາມບໍລິສຸດສູງgraphite ຮູ້ສຶກເລືອກສໍາລັບຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງມັນຄວາມສະຖຽນລະພາບສູງແລະມີນ້ໍາຫນັກເບົາ. ທົ່ງນາທົ່ງພຽງປົກກະຕິແລ້ວມີເສັ້ນໃຍແລະການຜະລິດອະນຸພາກດ້ານທີ່ມີຄວາມສາມາດສູງໃນອຸນຫະພູມທີ່ສາມາດປົນເປື້ອນສະພາບແວດລ້ອມໃນລະບົບທີ່ມີຄວາມລະອຽດ. ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນບັນຫານີ້, ພື້ນຜິວຂອງກາຟິກທີ່ມີຮູບຊົງຂອງກາກບອນທີ່ມີຄວາມເປັນຫ່ວງເປັນໄຍ, ບໍ່ມີຄວາມຮູ້ສຶກອາຍແກັສ, ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ, ແລະມີສະຖຽນລະພາບທີ່ມີຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ແລະມີສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ແລະມີສະຖຽນລະພາບທີ່ມີຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ແລະມີສະຖຽນລະພາບທີ່ມີຄວາມຮ້ອນພິເສດ

ກາກບອນແວ່ນແມ່ນກາກບອນທີ່ບໍ່ແມ່ນກາຟິກທີ່ປະສົມປະສານຄຸນສົມບັດຂອງແກ້ວແລະເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ. ກົງກັນຂ້າມກັບຮູບພາບການໄປເຊຍກັນ, ມັນແມ່ນວັດສະດຸກາກບອນທີ່ມີອາກາດຮ້ອນ, ເຊິ່ງໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໂດຍການທໍາລາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ເນື່ອງຈາກວ່າມັນເປັນສີດໍາຕະຫຼອດແລະມີພື້ນຜິວກ້ຽງຄ້າຍຄືກັບແກ້ວ, ມັນຖືກເອີ້ນວ່າກາກບອນແວ່ນ.

ການເຄືອບກາກບອນ garbon ສາມາດກໍາຈັດຄຸນສົມບັດຂອງເຕົາໄຟ, ໃຫ້ມີຄຸນລັກສະນະເດັ່ນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ເຫມາະສົມກັບແມ່ພິມແລະຜະລິດຕະພັນທີ່ມີ semiconduct. ອຸປະກອນການນີ້ມີໂປແກຼມຫລາກຫລາຍໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນຮູບພາບຂອງ graphite ເຊັ່ນ: ສ່ວນປະກອບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງອຸປະກອນ, ແມ່ພິມທີ່ຫນ້າສົນໃຈຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ

ທາດກາກບອນ Glassy ມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 3000 °, ແລະບໍ່ຄືກັນກັບອຸນຫະພູມທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 2700k, ສະນັ້ນເວລາສັ້ນໆແລະເວລາທີ່ເຢັນແມ່ນບໍ່ມີບັນຫາ. ນອກຈາກນັ້ນ, ກາກບອນ Colonbon ມີມວນຕ່ໍາ, ການດູດຊຶມຄວາມຮ້ອນຕໍ່າແລະການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ, ສະນັ້ນມັນເຫມາະສົມກັບເກືອບທັງຫມົດທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

ການເຄືອບກາກບອນທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນໃນການຜະນຶກຄວາມສໍາຄັນໃນການຜະນຶກເຂົ້າກັນຂອງພື້ນຜິວຂອງ Graphite Alt, ການຫຼຸດຜ່ອນການປ່ອຍອະນຸພາກແລະກາກບອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ SIC ໂດຍການປະກອບເປັນໂຄງສ້າງທີ່ກ້າຫານຂອງຄວາມຮູ້ສຶກດ້ວຍເປືອກກາກບອນທີ່ມີສີກ້ຽງ, ແຂງທີ່ແຂງແກ່ນ, ການເຄືອບຮັບປະກັນສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນທີ່ສະອາດແລະຫມັ້ນຄົງໃນສະພາຕິກິຣິຍາ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຂອງການເຄືອບກາກບອນແວ່ນຮູ້ສຶກວ່າປະກອບມີ:

ການຫຼຸດຜ່ອນການຫົດຕົວ: ການເຄືອບທີ່ຫນາແຫນ້ນຢ່າງມີປະສິດຕິຜົນໃນເສັ້ນໃຍແລະອະນຸພາກທີ່ມີປະສິດຕິພາບ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງສ່ວນປະກອບຂອງ wafers ແລະເຕົາ.

ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນສູງ: ທັງກາກບອນທີ່ມີກາກບອນສາມາດຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມເກີນ 2000 °, ເຮັດໃຫ້ຜະລິດຕະພັນດູດຊືມສໍາລັບຂະບວນການ sic ສູງ.

ຄວາມບໍ່ມີປະໂຫຍດທາງເຄມີແມ່ນທົນທານຕໍ່ຄວາມເຫຼື້ອມເປັນທາດແລະທາດອາຍຜິດປົກກະຕິ, ການຂະຫຍາຍຊີວິດການປະຕິບັດຂອງຊັ້ນອ່ືນຂອງສະພາບຄວາມຫຍຸ້ງຍາກ.

ຄວາມສອດຄ່ອງໃນຂະບວນການທີ່ໄດ້ຮັບການປັບປຸງ: ການຜະລິດອະນຸພາກທີ່ຫນ້ອຍທີ່ໄດ້ປະກອບສ່ວນໃຫ້ເກີດສະພາບແວດລ້ອມການເຕີບໂຕຂອງ apitaxial ທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະເຮັດຊ້ໍາອີກ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຜະລິດເຄື່ອງຍົກເວັ້ນ SIC ທີ່ມີຄຸນນະພາບ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງການເຄືອບກາກບອນແວ່ນມີຄວາມຮູ້ສຶກຂະຫຍາຍຕົ້ນຕໍໃຫ້ກັບເຕົາອົບການເຕີບໂຕຂອງ SIC, ບ່ອນທີ່ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຊັ້ນສນວນຄວາມຮ້ອນພາຍໃນເຂດຮ້ອນ. ຜະລິດຕະພັນດັ່ງກ່າວແມ່ນຖືກຕິດຕັ້ງໂດຍປົກກະຕິເປັນອຸປະກອນການສາຍທີ່ຢູ່ໃນຊັ້ນເທິງຫລືລຸ່ມ, ບ່ອນທີ່ມັນສະຫນອງການປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຫມັ້ນໃຈດ້ານຄວາມສະອາດ.