graphite chuck

semicorex graphite graphite ແມ່ນຖືກອອກແບບຈາກພະຍາແຖ ພິເສດ, ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບສໍາລັບຄວາມຮ້ອນທີ່ຍັງຄ້າງຄາແລະຄວາມຕ້ານທານຂອງມັນ. ຕົວຢ່າງທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະຂອງເຄື່ອງຈັກກາຟິກທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະຈາກຮູບແບບກາຟິກນັ້ນໂດຍສະເພາະແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການຕ້ານທານກັບສານເຄມີແລະຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ chucks ຍາວນານຫຼາຍແລະພວກເຂົາຈະປະຕິບັດໃນສະພາບທີ່ຫຍຸ້ງຍາກທີ່ສຸດທີ່ໃຊ້ໃນການຝາກເງິນຂອງ Vapor (CVD) ຫຼື plasma atching ຫຼືແມ້ແຕ່ຢູ່ໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ໃນຖານະເປັນດັ່ງກ່າວ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍຄວາມບໍ່ສະອາດທີ່ຕ່ໍາຫຼາຍກໍ່ຫມາຍຄວາມວ່າພວກເຂົາຈະບໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ polysilicon. ພວກມັນມີຄວາມສາມາດໃນການເປັນຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ຢູ່ໄກກວ່າ 2000 ° C ໂດຍບໍ່ມີການຜິດປົກກະຕິທີ່ບໍ່ມີຄ່າເພາະວ່າມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຫຼາຍໂດຍຜ່ານອຸນຫະພູມທີ່ເພີ່ມຂື້ນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ພວກເຂົາຍັງມີຄວາມຕ້ານທານສູງຕໍ່ສານເຄມີສ່ວນໃຫຍ່ແລະດັ່ງນັ້ນຈິ່ງຈະຢູ່ລອດພາຍໃຕ້ອາຊິດ hydrochloric (hcl) ຫຼືຊິລິໂຄນ tetrachloride (sicl4). ຄວາມແຂງແຮງກົນຈັກສູງຫມາຍຄວາມວ່າທ່ານ Chuck ສາມາດຮັກສາຮູບແບບຂອງມັນໄດ້ເຖິງແມ່ນວ່າຈະຕ້ອງມີການໂຫຼດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

Graphite Chuck ແມ່ນສໍາຄັນໃນການປະມວນຜົນ wafer ແລະການເຕີບໃຫຍ່ຂອງໄປເຊຍກັນ; ພວກເຂົາມີບົດບາດຕົ້ນຕໍໃນການຜະລິດທັງຫມົດໃນເວລາໃດກໍ່ຕາມ, ເຊັ່ນ: ເງິນຝາກ vapor ເຄມີ (CVD), ບ່ອນທີ່ພວກເຂົາຮັບປະກັນການຝາກເງິນທີ່ເປັນເອກະພາບ Silicon. ໃນລະຫວ່າງການແປແລະການຂັດ, ພວກມັນສົ່ງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການຕັດ wafer ແລະຫນ້າດິນສໍາເລັດຮູບ. ໃນການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນ, ພວກເຂົາປະຕິບັດເປັນພື້ນຖານທີ່ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນສໍາລັບຂະບວນການ Annealing Annealing ແລະ Doping, ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບແລະຄຸນນະພາບຂອງສາຍການຜະລິດ.

ພວກເຮົາຈະຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການປະຕິບັດງານຂອງພວກເຮົາພະຍາແຖ?

ຫນ້າທໍາອິດ, ກາກບອນ. ເຕົາໄຟຂອງພວກເຮົາມີພຽງແຕ່ 115 ແມັດກ້ອນ. ທີມງານວິຊາການຂອງພວກເຮົາຈະທົດສອບພາກສະຫນາມຂອງອາຍຸຂອງຜະລິດຕະພັນ graphite ໃນເຂດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງແຕ່ລະເຕົາ. ໃນສະພາບອຸນຫະພູມຕ່ໍາ (0-200 °) ເມື່ອອຸນຫະພູມເລີ່ມສູງຂື້ນ, ພວກເຮົາຈະຄວບຄຸມໄດ້ໃນເວລາປະມານ° 10 °), ພວກເຮົາຈະຄວບຄຸມມັນຢູ່ທີ່± 1 °. ພວກເຮົາຈະບໍ່ພຽງແຕ່ທົດສອບຄວາມສາມາດທີ່ມີອຸນຫະພູມລະຫວ່າງຮູບພາບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແຕ່ຍັງທົດສອບພື້ນຜິວແລະອຸນຫະພູມພາຍໃນຂອງແຕ່ລະສ່ວນຂອງວັດສະດຸ Graphite, ແລະຄວບຄຸມມັນຢູ່ທີ່± 3 °. ພວກເຮົາທົດສອບ 8 ຈຸດໃນອຸນຫະພູມໃນແຕ່ລະເຕົາໄຟໃນເຕົາຄາບອນ.

ຄັ້ງທີສອງແມ່ນກາຟິກ. ກິນ 500 ກິໂລເປັນຕົວຢ່າງ, ພວກເຮົາຍັງຈະໄດ້ຮັບການທົດສອບ 8 ຈຸດ. ຕົວຢ່າງແມ່ນໄດ້ຮັບການກວດກາແບບສຸ່ມໃນຕໍາແຫນ່ງໃດຫນຶ່ງຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຮູບພາບກາຟິກສໍາລັບການທົດສອບທີ່ທໍາລາຍ. ຫຼັງຈາກການທໍາລາຍ, 24 ຈຸດໄດ້ຖືກທົດສອບ. ການທົດສອບແມ່ນຖືກປະຕິບັດແຍກຕ່າງຫາກຈາກ Axy Axis ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງມັນ. ບໍລິສັດສ່ວນໃຫຍ່ໃນອຸດສາຫະກໍາພຽງແຕ່ຈະທົດສອບ X Axis ຫຼືໃນແກນ xy ທີ່ສຸດ.

ຜູ້ຜະລິດທົ່ວໄປທົດສອບພຽງແຕ່ 6-8 ຄະແນນເທົ່ານັ້ນ, ແລະສິ່ງທີ່ດີກວ່າທົດສອບ 12 ຈຸດ, ໃນຂະນະທີ່ພວກເຮົາທົດສອບ 24 ຈຸດ.

Semicorex Graphite Chuck ແມ່ນວິທີແກ້ໄຂທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບຜູ້ຜະລິດ polysilicon ຊອກຫາເຄື່ອງມືທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ, ແລະມີປະສິດຕິພາບສູງ. ດ້ວຍຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າແລະວິສະວະກໍາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບແລະຄຸນນະພາບຂອງການຜະລິດນ້ໍາຊິລິໂຄນໃນອຸດສາຫະກໍາແສງອາທິດ. ສໍາລັບຂໍ້ມູນເພີ່ມເຕີມຫຼືຂໍ້ມູນສະເພາະທີ່ເຫມາະສົມ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ຫາພວກເຮົາໃນມື້ນີ້.