Horizontal Quartz Wafer Boats

ເຮືອ wafer quartz ແນວນອນໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຖື wafers semiconductor ຢຽດຕາມທາງຂວາງພາຍໃນທໍ່ furnace ຂອງອຸປະກອນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ, ໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໂດຍອຸປະກອນຄວາມຮ້ອນພາຍນອກ. ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການຮັກສາຄວາມຮ້ອນຂອງເຊມິຄອນນໍາດັກເຕີທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ corrosive, ເຊັ່ນ: ການຜຸພັງຄວາມຮ້ອນ, ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຫມູນວຽນ, ແລະຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).

ຫນ້າທີ່ຂອງເຮືອ quartz wafer ຕາມລວງນອນ Semicorex

1.ຄວາມຫມັ້ນຄົງຖືແລະການຮັບປະກັນ

ເຮືອ wafer quartz ລວງນອນ Semicorex ມີຄວາມສາມາດໃນການຮັບນ້ໍາຫນັກທີ່ດີເລີດແລະສາມາດສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ wafers semiconductor ຫຼາຍ. ແລະການອອກແບບພາຍນອກທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງພວກເຂົາແລະໂຄງສ້າງສະລັອດຕິງທີ່ຊັດເຈນຮັບປະກັນແຕ່ລະຄົນwaferໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງຢ່າງສົມບູນແລະຮັບປະກັນຢ່າງຫນັກແຫນ້ນຢູ່ໃນເຮືອ wafer quartz ຕາມລວງນອນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຮອຍຂີດຂ່ວນຂອງ wafer ແລະການປະທະກັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍທີ່ເກີດຈາກການສັ່ນສະເທືອນ, ການໂຍກຍ້າຍ, ແລະການອຽງໃນລະຫວ່າງການຂົນສົ່ງແລະຂະບວນການຜະລິດ.

2. ຂະບວນການຊ່ວຍເຫຼືອເປັນເອກະພາບ

ໂຄງສ້າງຊ່ອງຫວ່າງທີ່ເທົ່າທຽມກັນຂອງເຮືອ wafer quartz ຕາມແນວນອນຊ່ວຍໃຫ້ການຈັດວາງເປັນລະບຽບຂອງ wafers semiconductor, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງສ້າງພື້ນທີ່ໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະລຽບໃນເຕົາໄຟທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ການອອກແບບໂຄງສ້າງບັນລຸການຕິດຕໍ່ກ໊າຊທີ່ສອດຄ່ອງແລະອັດຕາການຕິກິຣິຍາໃນແຕ່ລະຫນ້າດິນ wafer, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມບົກຜ່ອງຕ່າງໆທີ່ເກີດຈາກການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ສະເຫມີກັນແລະການຕິດຕໍ່ຂອງອາຍແກັສທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຊັ່ນ: ການຜຸພັງຂອງ wafer ທີ່ບໍ່ສົມບູນ, ການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາບາງໆ, ແລະ deviation ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງ doping.

3. ຊີວິດການບໍລິການຍາວ

ຂໍຂອບໃຈກັບຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີກວ່າຂອງວັດສະດຸ quartz, Semicorex horizontal wafer quartz ເຮືອສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງຂອງ 1100-1200 ℃ເປັນເວລາດົນນານໂດຍບໍ່ມີການຜິດປົກກະຕິຫຼື melting.Quartzແມ່ນ inert ທາງເຄມີຕໍ່ກັບອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນຂະບວນການ semiconductor, ເຊັ່ນອົກຊີເຈນ, ໄນໂຕຣເຈນ, ແລະ hydrogen chloride. inertness ສານເຄມີພິເສດນີ້ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການກັດກ່ອນຈາກອາຍແກັສຂະບວນການ, ຂະຫຍາຍອາຍຸການບໍລິການຢ່າງຫຼວງຫຼາຍແລະຫຼຸດຜ່ອນເວລາແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການທົດແທນອຸປະກອນ.