Semicorex Horizontal SiC Wafer Boat ໄດ້ອອກມາເປັນເຄື່ອງມືທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ແລະ photovoltaic ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການພິເສດເຫຼົ່ານີ້, ວິສະວະກໍາຢ່າງພິຖີພິຖັນຈາກຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SiC), ສະເຫນີຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນ, ເຄມີ, ແລະກົນຈັກພິເສດທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຜະລິດອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ທັນສະ ໄໝ.**
ຄຸນສົມບັດທີ່ກຳນົດໄວ້ຂອງເຮືອ Semicorex Horizontal SiC Wafer ແມ່ນສະຖາປັດຕະຍະກຳສະລັອດຕິງທີ່ອອກແບບມາຢ່າງພິຖີພິຖັນ, ປັບແຕ່ງສະເພາະເພື່ອຖື wafers ໄວ້ຢ່າງປອດໄພຕະຫຼອດຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆ. ຂໍ້ຈໍາກັດຂອງ wafer ທີ່ຊັດເຈນນີ້ໃຫ້ບໍລິການຫນ້າທີ່ທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍ:
ການລົບລ້າງການເຄື່ອນໄຫວ Wafer:ໂດຍການປ້ອງກັນການເລື່ອນຫຼືເລື່ອນທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ, Horizontal SiC Wafer Boat ຮັບປະກັນການສໍາຜັດທີ່ສອດຄ່ອງຂອງທາດອາຍຜິດໃນຂະບວນການແລະອຸນຫະພູມ, ປະກອບສ່ວນໃຫ້ການປຸງແຕ່ງ wafer ເປັນເອກະພາບສູງແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ.
ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຂະບວນການປັບປຸງ:ການຈັດຕໍາແຫນ່ງ wafer ທີ່ສອດຄ່ອງໂດຍກົງແປເຖິງຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ເຫນືອກວ່າໃນຕົວກໍານົດການທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ, ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງ doping, ແລະ morphology ດ້ານ. ຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ເປັນສິ່ງສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຊັ່ນ: ການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີ (CVD) ແລະການແຜ່ກະຈາຍ, ເຖິງແມ່ນວ່າການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ປະສິດທິພາບອຸປະກອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍ Wafer:ການຍຶດຖືທີ່ປອດໄພຂອງເຮືອ Horizontal SiC Wafer ຫຼຸດຜ່ອນທ່າແຮງສໍາລັບການແຕກ, ການແຕກ, ຫຼືຮອຍຂີດຂ່ວນລະຫວ່າງການຈັດການແລະການຂົນສົ່ງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາຜົນຜະລິດສູງແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ.
ນອກເຫນືອຈາກການອອກແບບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງພວກເຂົາ, Horizontal SiC Wafer Boat ສະຫນອງການປະສົມປະສານທີ່ຫນ້າສົນໃຈຂອງຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ແລະ photovoltaic:
ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງສຸດ: Horizontal SiC Wafer Boat ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມແຂງແຮງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ສະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດທີ່ພົບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຊັ່ນ: ການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ, ການຫມູນວຽນ, ແລະການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP) ໂດຍບໍ່ມີການຜິດປົກກະຕິຫຼືການເຊື່ອມໂຊມ.
ຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ:ການໃຊ້ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຮັບປະກັນການປ່ອຍອາຍພິດຫນ້ອຍລົງຫຼືການສ້າງອະນຸພາກ, ປົກປ້ອງຄວາມສົມບູນຂອງຫນ້າດິນ wafer ທີ່ລະອຽດອ່ອນແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນທີ່ສາມາດທໍາລາຍການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ.
ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີພິເສດ:inertness ປະກົດຂຶ້ນຂອງ SiC ເຮັດໃຫ້ເຮືອ Horizontal SiC Wafer ທົນທານຕໍ່ການໂຈມຕີຈາກອາຍແກັສ corrosive ແລະສານເຄມີທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດ semiconductor ແລະ photovoltaic. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງນີ້ຮັບປະກັນອາຍຸການດໍາເນີນການທີ່ຍາວນານແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຂ້າມລະຫວ່າງຂະບວນການ.
ຄວາມໄດ້ປຽບແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານປະສິດທິພາບຂອງເຮືອ Horizontal SiC Wafer ໄດ້ນໍາໄປສູ່ການຮັບຮອງເອົາຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ແລະ photovoltaic ທີ່ສໍາຄັນ:
ການຂະຫຍາຍຕົວ Epitaxial:ການຈັດວາງ wafer ທີ່ຊັດເຈນແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຊັ້ນ epitaxial ຄຸນນະພາບສູງໃນອຸປະກອນ semiconductor ກ້າວຫນ້າ, ເຮັດໃຫ້ Horizontal SiC Wafer Boat ເປັນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການນີ້.
ການແຜ່ກະຈາຍ ແລະການປູກຝັງໄອອອນ:ການຄວບຄຸມ doping ທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນການກໍານົດລັກສະນະໄຟຟ້າຂອງອຸປະກອນ semiconductor. Horizontal SiC Wafer Boat ຮັບປະກັນການຈັດຕໍາແຫນ່ງ wafer ທີ່ຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, ນໍາໄປສູ່ການປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງແລະການປະຕິບັດອຸປະກອນ.
ການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ:ຄວາມສາມາດຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີຂອງ Horizontal SiC Wafer Boat ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ silicon wafers ທີ່ໃຊ້ໃນຈຸລັງ photovoltaic, ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະອາຍຸຍືນຂອງລະບົບພະລັງງານແສງຕາເວັນ.