ໂຄງ​ປະ​ກອບ​ການ Chuck Electrostatic (ESC​)

ອັນChuck ໄຟຟ້າສະຖິດ (ESC)ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ເພື່ອຖື wafers semiconductor ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການເຊັ່ນ: ການຂັດ, ການຝັງ, ຫຼືຂັດ. ມັນດໍາເນີນການໂດຍການສ້າງສະຫນາມໄຟຟ້າສະຖິດເພື່ອດຶງດູດແລະຍຶດ wafer ຢູ່ເທິງຫນ້າຂອງ chuck, ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະການສອດຄ່ອງທີ່ຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງການຈັດການ wafer. ESCs ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດ semiconductor ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະບວນການແລະປະສິດທິພາບການຈັດການ wafer.

ຮູບ​ພາບ​ທີ່​ແທ້​ຈິງ​ຂອງ​ທໍາ​ມະ​ດາ​chuck electrostatic (ESC)ແມ່ນສະແດງຢູ່ໃນຮູບ. ຄວາມແຕກຕ່າງຕົ້ນຕໍລະຫວ່າງແບບຈໍາລອງແມ່ນຢູ່ໃນວັດສະດຸຊັ້ນ insulating ຢູ່ດ້ານຂອງ chuck electrostatic. ໃນຮູບ, ສີຊ້ໍາເປັນຕົວແທນອາລູມິນຽມ nitride, ໃນຂະນະທີ່ສີຂາວເປັນຕົວແທນອາລູມິນຽມອອກໄຊ. ໂຄງ​ປະ​ກອບ​ການ​ຂອງ​chuck electrostaticປະ​ກອບ​ດ້ວຍ​ຫຼາຍ​ພາກ​ສ່ວນ​:

1. **ຊັ້ນ insulating**: ຊັ້ນນີ້ແມ່ນຕິດຕໍ່ກັບ wafer ໄດ້, ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນເຮັດຈາກອາລູມິນຽມ nitride ຫຼືອາລູມິນຽມອອກໄຊເຊລາມິກເນື່ອງຈາກມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ດີເລີດ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ.

2. **Ejector Pin ແລະ He Gas Hole**: pin ejector ຖືກອອກແບບເພື່ອໂອນ wafer. ເມື່ອ wafer ເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງ etching, pin ejector ເພີ່ມຂຶ້ນເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນມັນ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນມັນຫຼຸດລົງເພື່ອວາງ wafer ເທິງຫນ້າດິນຂອງ chuck electrostatic ໄດ້. ທໍ່ ejector ປົກກະຕິແລ້ວມີໂຄງສ້າງເປັນຮູ, ເຮັດໃຫ້ອາຍແກັສ helium ຖືກນໍາສະເຫນີເພື່ອຊ່ວຍໃຫ້ wafer ເຢັນ.

3. **Back He Flow Channel**: ອົງປະກອບນີ້ຊ່ວຍເພີ່ມການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ ແລະ ອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນການດູດຊຶມຂອງ wafer.

4. **ໄຟຟ້າສະຖິດ**: ອິເລັກໂທຣດນີ້ສ້າງສະຫນາມໄຟຟ້າທີ່ສ້າງແຮງໄຟຟ້າສະຖິດທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຍຶດ wafer ໄວ້. ໂດຍປົກກະຕິ, electrode ແມ່ນ planar ແລະຖືກຝັງຢູ່ພາຍໃນຫຼືຝາກໄວ້ໃນວັດສະດຸ insulating. ວັດ​ສະ​ດຸ​ນໍາ​ໃຊ້​ທົ່ວ​ໄປ​ປະ​ກອບ​ອາ​ລູ​ມິ​ນຽມ​, ທອງ​ແດງ​, ແລະ tungsten​.

5. **ການໄຫຼວຽນຂອງນ້ໍາເຢັນແລະໄຟຟ້າຄວາມຮ້ອນ**: ອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຮັບຜິດຊອບຕົ້ນຕໍສໍາລັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໂດຍລວມຂອງ chuck electrostatic. electrode ຄວາມຮ້ອນແລະນ້ໍາເຢັນ circulating ເຮັດວຽກຮ່ວມກັນເພື່ອຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ wafer ໄດ້. ການອີງໃສ່ພຽງແຕ່ການໄຫຼວຽນຂອງນ້ໍາເຢັນອາດຈະນໍາໄປສູ່ຄວາມບໍ່ສາມາດໃນການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ etching, ອາດຈະທໍາລາຍຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.  

Semicorex ສະຫນອງຄຸນນະພາບສູງເຄື່ອງໄຟຟ້າສະຕິກ (ESC). ຖ້າທ່ານມີຄໍາຖາມໃດໆຫຼືຕ້ອງການລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ກັບພວກເຮົາ.

ເບີໂທຕິດຕໍ່ #+86-13567891907

ອີເມວ: sales@semicorex.com