ທໍ່ເຕົາເຜົາ Semiconductor Quartz ຖືກຜະລິດແນວໃດ?

ເຊມິຄອນດັກເຕີທໍ່ furnace quartzແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ຕົ້ນຕໍ, ເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ແລະ annealing. ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງຮັກສາຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະເຄມີຢ່າງຫມັ້ນຄົງເຖິງແມ່ນວ່າໃນເວລາທີ່ມັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການສໍາຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມກົດດັນທີ່ຮຸນແຮງ, ແລະການກັດກ່ອນຮ້າຍແຮງຂອງສະພາບແວດລ້ອມປະຕິບັດງານ. ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ຄຸນນະພາບຂອງທໍ່ furnace quartz ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການປະຕິບັດແລະຜົນຜະລິດຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ສໍາລັບເຫດຜົນນີ້, ຂະບວນການຜະລິດທໍ່ furnace quartz ແມ່ນສໍາຄັນ.

ຂະບວນການຜະລິດຕົ້ນຕໍຂອງທໍ່ furnace quartz

1. ການຄັດເລືອກວັດຖຸດິບ

ທໍ່ furnace Quartz ຕົ້ນຕໍແມ່ນຜະລິດຈາກຊິລິໂຄນໄດອອກໄຊທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊິ່ງມີຢູ່ໃນທັງຮູບແບບທໍາມະຊາດແລະສັງເຄາະ. ວັດຖຸດິບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດດ້ານ optical, ຄວາມຮ້ອນ, ແລະເຄມີທີ່ດີເລີດຂອງທໍ່ furnace quartz. ໂດຍສະເພາະໃນຂົງເຂດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເຊັ່ນ semiconductors, ຂໍ້ກໍານົດສໍາລັບເນື້ອໃນຂອງ impurities, ໂດຍສະເພາະແມ່ນ impurities ion ໂລຫະ (ເຊັ່ນ: ທາດເຫຼັກ, ອາລູມິນຽມ, sodium, ແລະອື່ນໆ), ໃນວັດຖຸດິບແມ່ນເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດແລະຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມໃນລະດັບ ppm.

2. ການລະລາຍແລະການ molding

ເລືອກແລ້ວquartzຜົງຫຼືກ້ອນຈະຖືກລະລາຍຢູ່ໃນເຕົາທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ສູງກວ່າ 2000 ° C ເພື່ອສ້າງເປັນຂອງແຫຼວ quartz ປະສົມເປັນເອກະພາບ. ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ທີ່​ຊັດ​ເຈນ​ແລະ​ສະ​ພາບ​ແວດ​ລ້ອມ​ບັນ​ຍາ​ກາດ​ສະ​ເພາະ (ເຊັ່ນ​: ສູນ​ຍາ​ກາດ​ຫຼື​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ inert​) ແມ່ນ​ສໍາ​ຄັນ​ໃນ​ລະ​ຫວ່າງ​ການ​ຂະ​ບວນ​ການ​ນີ້​ເພື່ອ​ປ້ອງ​ກັນ​ປະ​ສິດ​ທິ​ຜົນ​ການ​ອອກ​ຊິ​ເຈນ​ແລະ​ຂໍ້​ບົກ​ຜ່ອງ​ທີ່​ເກີດ​ຈາກ​ການ​ປົນ​ເປື້ອນ​. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ທາດແຫຼວ quartz ປະສົມໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນທໍ່ໂດຍໃຊ້ອຸປະກອນການແຕ້ມຮູບພິເສດຫຼືແມ່ພິມເຊັ່ນເຄື່ອງແຕ້ມທໍ່.

3. ການຕັດແລະສິ້ນໃບຫນ້າ

ທໍ່ quartz ທີ່ມີຮູບຮ່າງປົກກະຕິແລ້ວຖືກຕັດຕາມຄວາມຍາວທີ່ຕ້ອງການຜ່ານອຸປະກອນຕັດເຊັ່ນເຄື່ອງຕັດເພັດຫຼືເຄື່ອງຕັດເລເຊີ. ປາຍທໍ່ຕັດມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະຫຍາບຄາຍ, ດັ່ງນັ້ນການຂັດລະອຽດແມ່ນຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມລຽບແລະລຽບ. ຂະບວນການຂັດເຄື່ອງກົນຈັກຫຼືການຂັດສານເຄມີມັກຈະຖືກຮັບຮອງເອົາເພື່ອເອົາ burrs ແລະ microcracks ທີ່ຖືກຕັດອອກ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ປາຍທໍ່ສາມາດຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານຄວາມຮາບພຽງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະນຶກສູນຍາກາດຂອງຂະບວນການ semiconductor.

4. ການເຊື່ອມໂລຫະປະກອບ

ທໍ່ quartz ທີ່ຖືກຕັດຕ້ອງຖືກເຊື່ອມຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງດ້ວຍທໍ່ແກນ furnace, flanges, ແລະທໍ່ລະບາຍອາກາດສໍາລັບການປະກອບເພື່ອໃຫ້ກົງກັບຮູບແຕ້ມທີ່ກໍາຫນົດເອງຂອງລູກຄ້າ. ຫຼັງຈາກການເຊື່ອມໂລຫະ, ຊັ້ນ oxide ສີຂາວຂອງທໍ່ quartz ຕ້ອງໄດ້ຮັບການໂຍກຍ້າຍອອກໂດຍຜ່ານການຂັດດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ. ຊັ້ນນີ້ຖືກສ້າງຂື້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຮັດຄວາມເຢັນຫຼັງຈາກທໍ່ quartz ຖືກ fused ໃນອຸນຫະພູມສູງ. ໃນຂະນະທີ່ບໍ່ມີອັນຕະລາຍໃນຕົວຂອງມັນເອງ, ມັນມີຜົນກະທົບຕໍ່ການຖ່າຍທອດແສງສະຫວ່າງ, ຄວາມຮາບພຽງ, ແລະຄວາມລຽບຂອງຜະລິດຕະພັນ quartz. ການຂັດດ້ວຍຄວາມຮ້ອນສູງສາມາດເອົາຊັ້ນອອກໄຊອອກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ເຮັດໃຫ້ທໍ່ມີຄວາມໂປ່ງໃສແລະສະອາດ.

5. ການ​ປິ່ນ​ປົວ Annealing

ຄວາມກົດດັນພາຍໃນແມ່ນຖືກສ້າງຂຶ້ນໃນທໍ່ quartz ຫຼັງຈາກຮູບຮ່າງ, ການຕັດ, ການເຊື່ອມໂລຫະ, ແລະຂະບວນການຂັດ, ເຊິ່ງສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ. ດັ່ງນັ້ນ, ທຸກພາກສ່ວນ quartz ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ fabricated ຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນແລະ annealing ເພື່ອລົບລ້າງຄວາມກົດດັນພາຍໃນດັ່ງກ່າວ.

6. ກວດກາຄຸນນະພາບ

ໃນຂະບວນການຜະລິດທັງຫມົດຂອງທໍ່ furnace quartz, ການທົດສອບຫຼາຍດ້ານຢ່າງເຂັ້ມງວດແມ່ນຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບໄດ້ມາດຕະຖານ. ການກວດກາລວມມີຄວາມກົດດັນພາຍໃນ (ກວດສອບໂດຍແສງຂົ້ວສໍາລັບສາຍຄວາມກົດດັນທີ່ຊັດເຈນ), ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບ (ເຊັ່ນ: ການຄວບຄຸມຄວາມທົນທານສໍາລັບເສັ້ນຜ່າກາງນອກ, ຄວາມຫນາຂອງຝາ, ແລະຄວາມຍາວ), ຄຸນນະພາບຂອງຫນ້າດິນ (roughness, ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ, ແລະອື່ນໆ), ຄຸນສົມບັດກົນຈັກ (ຄວາມເຂັ້ມແຂງ, ຄວາມແຂງ, ແລະອື່ນໆ), ແລະຄວາມສະອາດ (ຝາພາຍໃນບໍ່ມີ impurities ແລະຟອງ).