Porous Alumina Vacuum Chuck

ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນແມ່ນເຊື່ອມຕໍ່ກັບອຸປະກອນສູນຍາກາດໂດຍຜ່ານທໍ່ເຊື່ອມຕໍ່. ເມື່ອ chuck ສູນຍາກາດມາຕິດຕໍ່ກັບ workpiece ໄດ້, ເຊັ່ນ: wafer ເປັນ / ວັດສະດຸຮູບເງົາບາງ, ອຸປະກອນສູນຍາກາດເລີ່ມເຮັດວຽກ, ສ້າງຄວາມກົດດັນທາງລົບພາຍໃນ chuck ສູນຍາກາດ. ພາຍ​ໃຕ້​ຄວາມ​ກົດ​ດັນ​ຂອງ​ບັນ​ຍາ​ກາດ​, workpiece ໄດ້​ຍຶດ​ຫມັ້ນ​ກັບ chuck ສູນ​ຍາ​ກາດ​, ໃຫ້​ສໍາ​ລັບ​ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ​. ຫຼັງ​ຈາກ​ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ​ສໍາ​ເລັດ​ສົມ​ບູນ​, ອຸ​ປະ​ກອນ​ສູນ​ຍາ​ກາດ​ຢຸດ​ເຊົາ​ການ​ເຮັດ​ວຽກ​ແລະ​ຄ່ອຍໆ​ຕື່ມ​ຂໍ້​ມູນ​ໃສ່ chuck ສູນ​ຍາ​ກາດ​ດ້ວຍ​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ​, ອັດ​ຕະ​ໂນ​ມັດ​ແຍກ workpiece ຈາກ chuck​. ນີ້ສໍາເລັດການຍຶດ, ການປຸງແຕ່ງ, ແລະການຈັດການຂອງ workpiece ໄດ້.

ເປົ້າໝາຍຫຼັກຂອງ photolithography semiconductor ແມ່ນເພື່ອ "ພິມ" ຮູບແບບວົງຈອນຂອງ transistor ຫຼາຍພັນລ້ານໃສ່ wafer ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາລະດັບ nanometer. ໂດຍເນື້ອແທ້ແລ້ວຂອງ "photolithography" ແມ່ນການໃຊ້ແຫຼ່ງແສງເພື່ອ irradiate photoresist ທີ່ມີແສງສູງ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດປະຕິກິລິຢາເຄມີທີ່ etches ວົງຈອນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ໃນເວລາທີ່ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ irradiates wafer, inevitably ຍັງ shines ສຸດ chuck electrostatic, ເຊິ່ງເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer. ແສງສະຫວ່າງທີສອງທີ່ສະທ້ອນອອກມາສາມາດແຊກແຊງຂະບວນການ photolithography, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດການເປີດເຜີຍໃນພື້ນທີ່ທີ່ບໍ່ໄດ້ຕັ້ງໃຈແລະທໍາລາຍວົງຈອນ. ດັ່ງນັ້ນ, ພື້ນຜິວສີດໍາສໍາລັບ chuck ສູນຍາກາດຫຼຸດຜ່ອນການສະທ້ອນ, ຮັບປະກັນຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງລະບົບ photolithography. ໂດຍອີງໃສ່ຄວາມສາມາດນີ້, alumina ສີດໍາສາມາດໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງບໍ່ພຽງແຕ່ໃນ chucks electrostatic ແຕ່ຍັງຢູ່ໃນສະຖານະການ "ສະກັດກັ້ນແສງສະຫວ່າງ". ການມາເຖິງຂອງຍຸກ AI ໄດ້ເຮັດໃຫ້ການພັດທະນາທີ່ສໍາຄັນໃນການນໍາໃຊ້ການສື່ສານທາງ optical, ແລະ substrates alumina ສີດໍາແມ່ນເຫັນໄດ້ເລື້ອຍໆໃນການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງອຸປະກອນ optoelectronic ແລະອົງປະກອບແສງສະຫວ່າງ.

ເຊລາມິກອາລູມິນຽມສີດໍາແມ່ນເຮັດມາຈາກ Al2O3 ຕົ້ນຕໍ, ມີທາດຜຸພັງໂລຫະປ່ຽນເປັນສີແລະ sintering ຊ່ວຍເພີ່ມ, sintered ໃນອຸນຫະພູມສະເພາະໃດຫນຶ່ງ. ສີແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນຂອງເຊລາມິກປະເພດນີ້, ກໍານົດສີສຸດທ້າຍຂອງມັນ. ໃນເວລາທີ່ເລືອກສີສໍາລັບ chucks ສູນຍາກາດ, ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນລະດັບຂອງສີ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, porosity, ແລະຂະຫນາດ pore ຂອງ chuck ສູນຍາກາດ.

ປະຈຸບັນ, ທາດຜຸພັງຂອງໂລຫະປ່ຽນເປັນສີທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປທັງພາຍໃນ ແລະ ຕ່າງປະເທດລວມມີ Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3, ແລະ MnO2, ໂດຍມີ Fe2O3, CoO, NiO, ແລະ MnO2 ຫຼາຍທີ່ສຸດ. ເນື່ອງຈາກວ່າ alumina ມີການລະເຫີຍຫນ້ອຍຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ໃນຂະນະທີ່ການຫັນປ່ຽນ oxides ໂລຫະແມ່ນກົງກັນຂ້າມ, ການເຫນັງຕີງຂອງພວກມັນເພີ່ມຂຶ້ນຕາມອຸນຫະພູມ. ຜຸພັງເຫຼົ່ານີ້ປະກອບເປັນທາດປະສົມປະເພດ spinel ໃນລະຫວ່າງການ sintering ອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງຫຼຸດຜ່ອນການເຫນັງຕີງຂອງພວກມັນ. ດັ່ງນັ້ນ, ເພື່ອສະກັດກັ້ນການລະເຫີຍຂອງທາດຜຸພັງຂອງໂລຫະປ່ຽນ, ຄວນເລືອກເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອໃຫ້ພວກມັນປະສົມປະສານເຂົ້າໄປໃນທາດປະສົມ spinel ໃນອຸນຫະພູມຕ່ໍາ.

Semicorex ສະເຫນີພາສີporous ceramic vacuum chuck. ຖ້າທ່ານມີຄໍາຖາມໃດໆຫຼືຕ້ອງການລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ກັບພວກເຮົາ.

ເບີໂທຕິດຕໍ່ #+86-13567891907

ອີເມວ: sales@semicorex.com