ເຮືອ SiC ແມ່ນຫຍັງ, ແລະຂະບວນການຜະລິດຕ່າງໆຂອງມັນແມ່ນຫຍັງ?

1. ຂະບວນການຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງເຮືອ SiC

(1) ເຄືອບຊັ້ນຂອງຮູບເງົາ SiCຢູ່ດ້ານຂອງ graphite ໄດ້ເຮືອໄປເຊຍກັນຜ່ານ CVD

ເຮືອ​ປະ​ເພດ​ນີ້​ມີ​ແກນ graphite​, ເຊິ່ງ​ແມ່ນ machined ໃນ​ຫນຶ່ງ​ສິ້ນ​. ແນວໃດກໍ່ຕາມ,graphite ແມ່ນ porousແລະ​ມີ​ຄວາມ​ສ່ຽງ​ຕໍ່​ການ​ຜະ​ລິດ particle​, ຈ​ໍ​າ​ເປັນ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຂອງ aການເຄືອບຟິມ SiCຢູ່ດ້ານຂອງມັນ. ເນື່ອງຈາກຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) ລະຫວ່າງຮ່າງກາຍກາຟແລະຮູບເງົາ SiC, ການເຄືອບມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະປອກເປືອກອອກຫຼັງຈາກວົງຈອນຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຫຼາຍ, ນໍາໄປສູ່ການປົນເປື້ອນ particle. ເຮືອເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີລາຄາແພງຫນ້ອຍທີ່ສຸດແລະມີອາຍຸປະມານຫນຶ່ງປີ.

(2) ເຄືອບຊັ້ນຂອງຮູບເງົາ SiCສຸດ recrystallizedເຮືອໄປເຊຍກັນ SiC

Recrystallizedເຮືອ SiCຍັງມີ porous ແລະສາມາດສ້າງອະນຸພາກໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ. ດັ່ງນັ້ນ, ອົງປະກອບສ່ວນບຸກຄົນຂອງ recrystallized ໄດ້ເຮືອ SiCຕ້ອງໄດ້ຮັບການສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນກ່ອນ, sintered, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ machined ແຍກຕ່າງຫາກ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ສ່ວນປະກອບໄດ້ຖືກຜູກມັດຮ່ວມກັນໃນອຸນຫະພູມສູງໂດຍໃຊ້ Si paste. ເມື່ອປະກອບເປັນເຮືອດຽວ, ກຮູບເງົາ SiCຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍຜ່ານ CVD. ນີ້​ໄດ້​ປັບ​ຄືນ​ໃຫມ່​ເຮືອ SiCມີຂະບວນການຜະລິດທີ່ຍາວທີ່ສຸດແລະມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ແຕ່ວ່າຫນ້າດິນການເຄືອບ CVDຍັງສາມາດເສຍຫາຍໄດ້, ມີອາຍຸການປະມານສາມປີ.

(3)Monolithicເຮືອໄປເຊຍກັນ SiC

ເຫຼົ່ານີ້ເຮືອແມ່ນປະກອບດ້ວຍວັດສະດຸ SiC ທັງຫມົດ. ຝຸ່ນ SiC ຕ້ອງໄດ້ຮັບການ molded ແລະ sintered ເຂົ້າໄປໃນຮູບຮ່າງຂອງເຮືອ monolithic ໄດ້. ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫຼາຍ, ພວກມັນທົນທານຫຼາຍແລະຫນ້ອຍທີ່ຈະສ້າງອະນຸພາກ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ເຮືອເຫຼົ່ານີ້ມີ 10-15% ຊິລິໂຄນຟຣີ, ເຊິ່ງມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການເຊາະເຈື່ອນໂດຍ fluorine ແລະ chlorine, ນໍາໄປສູ່ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ.

2. ເປັນຫຍັງການຊັກແຫ້ງຈຶ່ງບໍ່ຖືກແນະນຳ?

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ສໍາລັບເຮືອ SiCເຄືອບດ້ວຍ ກຮູບເງົາ SiC ຜ່ານ CVD, ການເຄືອບດ້ານແມ່ນມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປອກເປືອກໃນລະຫວ່າງການເຮັດຄວາມສະອາດແຫ້ງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ. ສໍາລັບ monolithicເຮືອ SiCທີ່ບັນຈຸຊິລິໂຄນຟຣີຈໍານວນນ້ອຍ, ການສໍາຜັດກັບທາດອາຍຜິດທີ່ມີ fluorine ຫຼື chlorine ສາມາດນໍາໄປສູ່ການເຊາະເຈື່ອນແລະການຜະລິດອະນຸພາກ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດການປົນເປື້ອນ.**