ຂະບວນການ Annealing ໃນການຜະລິດ Semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ

ຍ້ອນວ່າໂນດເທັກໂນໂລຍີຍັງສືບຕໍ່ຫົດຕົວລົງ, ການສ້າງຕັ້ງຂອງຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ຕື້ນຫຼາຍໄດ້ນໍາສະເຫນີສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສໍາຄັນ. ຂະບວນການ annealing ຄວາມຮ້ອນລວມທັງການເຊື່ອມຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTA)ແລະການເຊື່ອມໂຄມໄຟແຟລັດ (FLA) ແມ່ນເຕັກນິກອັນສໍາຄັນທີ່ຮັກສາອັດຕາການກະຕຸ້ນຂອງ impurity ສູງໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນການແຜ່ກະຈາຍ, ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບອຸປະກອນທີ່ດີທີ່ສຸດ.

1. ການສ້າງທາງແຍກແບບ Ultra-Shallow:

ໃນຂະນະທີ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງດ້ານເຕັກໂນໂລຢີຫຼຸດລົງ, ການສ້າງເສັ້ນທາງເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ຕື້ນຫຼາຍແມ່ນມີຄວາມທ້າທາຍຫຼາຍຂຶ້ນ. ເຕັກ​ນິກ​ການ​ເຊັ່ນ​ການ​ເຊື່ອມ​ຕໍ່​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ຢ່າງ​ວ່ອງ​ໄວ (RTA) ແລະໄຟແຟລັດ annealing (FLA) ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸອັດຕາການກະຕຸ້ນ impurity ສູງໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນການແຜ່ກະຈາຍ, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນປະສິດທິພາບອຸປະກອນທີ່ດີທີ່ສຸດ.

2. ການດັດແປງ High-k Gate Dielectrics:

Post-deposition annealing (PDA) ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເສີມຂະຫຍາຍຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງ dielectrics ປະຕູສູງ k. ຂະບວນການນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນກະແສການຮົ່ວໄຫຼຂອງປະຕູຮົ້ວແລະເພີ່ມຄ່າຄົງທີ່ຂອງ dielectric, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບອຸປະກອນຕາມເຫດຜົນແລະຫນ່ວຍຄວາມຈໍາທີ່ກ້າວຫນ້າ.

3. ການສ້າງຕັ້ງຂອງໂລຫະ Silicides:

ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງ silicides ໂລຫະ, ເຊັ່ນ CoSi ແລະ NiSi, ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການປັບປຸງການຕິດຕໍ່ແລະການຕໍ່ຕ້ານຫຼາຍ. ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ທີ່​ຊັດ​ເຈນ​ກ່ຽວ​ກັບ​ສະ​ພາບ​ການ annealing ອໍາ​ນວຍ​ຄວາມ​ສະ​ດວກ​ໃນ​ການ​ສ້າງ​ໄລ​ຍະ​ທີ່​ເຫມາະ​ສົມ​, ການ​ເພີ່ມ​ປະ​ສິດ​ທິ​ພາບ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ໂດຍ​ລວມ​.

4. ເທັກໂນໂລຢີ 3D ປະສົມປະສານ:

ໃນເທກໂນໂລຍີເຊັ່ນ 3D NAND ແລະ 3D DRAM, ຂະບວນການຫມຸນຕ້ອງຖືກນໍາໃຊ້ໃນທົ່ວຫຼາຍຊັ້ນ. ເຕັກນິກການລະບາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະຊັ້ນບັນລຸການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ.

Annealing ແມ່ນສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ເຮັດໃຫ້ການສ້ອມແປງຄວາມເສຍຫາຍຂອງເສັ້ນດ່າງ, ການກະຕຸ້ນ impurity, ການແກ້ໄຂຮູບເງົາ, ແລະການສ້າງ silicide ໂລຫະໂດຍຜ່ານການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງອຸນຫະພູມ, ເວລາ, ແລະງົບປະມານຄວາມຮ້ອນ. ໃນຖານະເປັນຂໍ້ເຕັກໂນໂລຊີຫຼຸດລົງ, ວິທີການ annealing ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານເຊັ່ນ:RTA, FLA, ແລະ laser spike annealing ໄດ້ກາຍເປັນຕົ້ນຕໍ. ເບິ່ງໄປຂ້າງຫນ້າ, ຂະບວນການຫມູນວຽນຈະສືບຕໍ່ປະດິດສ້າງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງວັດສະດຸແລະອຸປະກອນທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂື້ນ.

Semicorex ສະເຫນີອຸດສາຫະກໍາຊັ້ນນໍາວິ​ທີ​ແກ້​ໄຂ annealing​, ຮັບປະກັນອຸປະກອນ semiconductor ຂອງທ່ານຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານປະສິດທິພາບສູງສຸດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.

ຖ້າທ່ານມີຄໍາຖາມໃດໆຫຼືຕ້ອງການລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ກັບພວກເຮົາ.

ເບີໂທຕິດຕໍ່ #+86-13567891907

ອີເມວ: sales@semicorex.com