ເຄື່ອງຈັກໄຟຟ້າເຊລາມິກມີການຜະລິດແນວໃດແທ້?

ວິທີການຍຶດ wafer ແບບດັ້ງເດີມປະກອບມີການຍຶດກົນຈັກທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາກົນຈັກແບບດັ້ງເດີມແລະການຜູກມັດຂີ້ເຜີ້ງ, ທັງສອງຢ່າງສາມາດທໍາລາຍ wafer ໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການປົນເປື້ອນ, ມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ການປຸງແຕ່ງ.

Vacuum Chucks ພັດທະນາແນວໃດ ແລະເປັນຫຍັງCeramic Electrostatic Chucksຕ້ອງການ?

ເມື່ອເວລາຜ່ານໄປ, ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນທີ່ເຮັດຈາກເຊລາມິກ porous ໄດ້ຖືກພັດທະນາ. chucks ເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ຄວາມກົດດັນທາງລົບທີ່ສ້າງຂຶ້ນລະຫວ່າງ silicon wafer ແລະຫນ້າດິນເຊລາມິກເພື່ອຖື wafer, ຊຶ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການຜິດປົກກະຕິໃນທ້ອງຖິ່ນແລະຜົນກະທົບຕໍ່ການແປ. ດັ່ງນັ້ນ, ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້,ເຊລາມິກ chucks electrostatic, ເຊິ່ງສະຫນອງຜົນບັງຄັບໃຊ້ການດູດຊຶມທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເປັນເອກະພາບ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງ wafer, ແລະຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງ silicon wafer ໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ໄດ້ກາຍເປັນເຄື່ອງມືຍຶດທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບ wafers ບາງໆ.

ຂະບວນການຜະລິດຂອງCeramic Electrostatic Chucksປະຕິບັດ?

ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ເທກໂນໂລຍີການຜະສົມເຊລາມິກຫຼາຍຊັ້ນແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້, ເຊິ່ງປະກອບມີຂະບວນການເຊັ່ນ: ການຫລໍ່ tape, slicing, ການພິມຫນ້າຈໍ, lamination, ການກົດຮ້ອນ, ແລະ sintering.

ສໍາລັບ Coulomb-typechucks electrostatic, ຊັ້ນ dielectric ບໍ່ມີວັດສະດຸ conductive. ມັນກ່ຽວຂ້ອງກັບການຜະສົມຜົງເຊລາມິກ, ທາດລະລາຍ, ການກະແຈກກະຈາຍ, ເຄື່ອງຜູກມັດ, ພາດສະຕິກ, ແລະຕົວຊ່ວຍ sintering ເພື່ອສ້າງ slurry ທີ່ຫມັ້ນຄົງ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, slurry ນີ້ໄດ້ຖືກເຄືອບໂດຍໃຊ້ໃບທ່ານຫມໍ, ຕາກໃຫ້ແຫ້ງ, ແລະຊອຍບາງໆເພື່ອສ້າງເປັນແຜ່ນສີຂຽວເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມຫນາສະເພາະ. ສໍາລັບ JR-typechucks electrostatic, ຕົວປັບຄວາມຕ້ານທານເພີ່ມເຕີມ (ວັດສະດຸ conductive) ແມ່ນປະສົມເພື່ອບັນລຸຄວາມຕ້ານທານຂອງຊັ້ນ J-R, ຕິດຕາມດ້ວຍ tape casting ເພື່ອສ້າງເປັນແຜ່ນສີຂຽວ.

ການພິມຫນ້າຈໍແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍສໍາລັບການກະກຽມຊັ້ນ electrode. ການວາງຕົວນໍາແມ່ນຖອກລົງຄັ້ງທໍາອິດຢູ່ປາຍຫນຶ່ງຂອງແຜ່ນພິມຫນ້າຈໍ. ພາຍໃຕ້ການດໍາເນີນການຂອງ squeegee ໃນເຄື່ອງພິມຫນ້າຈໍໄດ້, ການວາງ conductive ຜ່ານໂດຍຜ່ານການເປີດຕາຫນ່າງຂອງແຜ່ນຫນ້າຈໍແລະເງິນຝາກເຂົ້າໄປໃນ substrate ໄດ້. ຂະບວນການພິມແມ່ນສໍາເລັດໃນເວລາທີ່ squeegee ແຜ່ກະຈາຍການວາງເງິນຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໂດຍຜ່ານຕາຫນ່າງຫນ້າຈໍ.

ແຜ່ນ ceramic ສີຂຽວແມ່ນ stacked ໃນຄໍາສັ່ງທີ່ກໍານົດໄວ້ (ຊັ້ນ substrate, ຊັ້ນ electrode, ຊັ້ນ dielectric) ແລະຈໍານວນຂອງຊັ້ນ. ຫຼັງຈາກນັ້ນພວກມັນຖືກກົດດັນຮ່ວມກັນພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂອຸນຫະພູມແລະຄວາມກົດດັນສະເພາະເພື່ອສ້າງເປັນຮ່າງກາຍສີຂຽວທີ່ສົມບູນ. ມັນເປັນສິ່ງ ສຳ ຄັນທີ່ຈະຮັບປະກັນວ່າຄວາມກົດດັນໄດ້ຖືກແຈກຢາຍຢ່າງສະ ໝໍ່າ ສະ ເໝີ ໄປທົ່ວພື້ນຜິວທັງ ໝົດ ຂອງຮ່າງກາຍສີຂຽວເພື່ອຮັບປະກັນການຫົດຕົວເປັນເອກະພາບໃນລະຫວ່າງການບີບອັດ.

ສຸດທ້າຍ, ຮ່າງກາຍສີຂຽວທີ່ສົມບູນ undergos sintering ປະສົມປະສານໃນ furnace ເປັນ. ໂຄງສ້າງອຸນຫະພູມທີ່ເຫມາະສົມຕ້ອງໄດ້ຮັບການສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນເພື່ອຮັບປະກັນການຄວບຄຸມການຮາບພຽງແລະການຫົດຕົວໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ sintering. ມີລາຍງານວ່າ NGK ຂອງຍີ່ປຸ່ນສາມາດຄວບຄຸມອັດຕາການຫົດຕົວຂອງຜົງໃນລະຫວ່າງການ sintering ປະມານ 10%, ໃນຂະນະທີ່ຜູ້ຜະລິດພາຍໃນປະເທດສ່ວນໃຫຍ່ຍັງມີອັດຕາການຫົດຕົວຂອງ 20% ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ.**

ພວກເຮົາຢູ່ Semicorex ມີປະສົບການໃນການສະຫນອງການແກ້ໄຂຂອງ Ceramic Electrostatic Chucksແລະວັດສະດຸເຊລາມິກອື່ນໆນໍາໃຊ້ໃນພາກສ່ວນ semiconductor ແລະ PV, ຖ້າທ່ານມີຄໍາຖາມຫຼືຕ້ອງການລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ກັບພວກເຮົາ.

ເບີໂທຕິດຕໍ່: +86-13567891907

ອີເມວ: sales@semicorex.com