ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງໂຄງສ້າງລະຫວ່າງເຄື່ອງປະຕິກອນປະເພດຕ່າງໆ

ອີງຕາມການຕັ້ງຄ່າຫ້ອງຕິກິຣິຍາ, ອຸປະກອນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ (ອຸປະກອນທໍ່ furnace) ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແບ່ງອອກເປັນສາມປະເພດ: ທໍ່ furnace ຕັ້ງ, ທໍ່ furnace ຕາມແນວນອນ, ແລະການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP) furnaces.

ທໍ່ furnace ແນວຕັ້ງມີທໍ່ quartz ຈັດລຽງຕາມແນວຕັ້ງ, ມີ wafers ວາງໄວ້ຮອບທໍ່ສໍາລັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ. ຂໍ້ໄດ້ປຽບຕົ້ນຕໍຂອງພວກເຂົາແມ່ນການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບ, ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດທີ່ຊັດເຈນ, ອັດຕະໂນມັດສູງ, ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກຫນ້ອຍ, ຮອຍຕີນຂະຫນາດນ້ອຍ, ແລະການສະຫນັບສະຫນູນສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ batch (ໂດຍສະເພາະທີ່ເຫມາະສົມກັບ wafers 12 ນິ້ວ), ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນຕົ້ນຕໍໃນປະຈຸບັນ. ຂະຫນາດຕະຫຼາດທົ່ວໂລກບັນລຸ 3.2 ຕື້ໂດລາໃນປີ 2024 (ຂໍ້ມູນ SEMI). ຂໍ້ເສຍຂອງພວກມັນປະກອບມີການແຍກທາດອາຍແກັສຂອງແຫຼວໄດ້ງ່າຍ, ແລະການໄຫຼລົງຂອງຂະຫນາດກາງທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ທໍ່ furnace ເຜົາໄຫມ້ອອກ.

ທໍ່ furnace ຕາມແນວນອນມີທໍ່ quartz ວາງໄວ້ຕາມແນວນອນ, ປຸງແຕ່ງ 100-200 wafers ໃນເວລາຫນຶ່ງ. ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງພວກເຂົາປະກອບມີການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ - ແຫຼວທີ່ເປັນເອກະພາບພາຍໃນທໍ່ furnace ແລະການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນກວ່າ. ຂໍ້ເສຍຂອງພວກມັນປະກອບມີຮອຍຕີນທີ່ໃຫຍ່ກວ່າແລະການບໍລິໂພກທີ່ສູງຂຶ້ນຂອງທໍ່ລະດັບກາງຂອງເຫຼັກໂລຫະປະສົມສູງ. ຕາມໂຄງສ້າງ, ທໍ່ furnace ແນວນອນວາງ wafers ໃນແນວຕັ້ງພາຍໃນທໍ່ອອກຕາມລວງນອນສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ.

ເຕົາອົບຄວາມຮ້ອນແບບເລັ່ງດ່ວນ (RTP) ໃຊ້ໂຄມໄຟ halogen infrared ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໄວ wafers ດຽວ, ສະຫນອງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໄວແລະຄວາມເຢັນອັດຕາການປ່ຽນແປງພຽງແຕ່ອຸນຫະພູມ wafer ໂດຍບໍ່ມີການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມຫ້ອງ. ພວກເຂົາເຈົ້າແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການ annealing ຢ່າງໄວວາ batch ຂະຫນາດນ້ອຍແຕ່ບໍ່ແມ່ນສໍາລັບການຜະລິດມະຫາຊົນ.

ໃນການປຸງແຕ່ງ wafer, ທໍ່ furnace ອອກຕາມລວງນອນວາງ wafer ເທິງເຮືອ quartz, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການພັກຜ່ອນຢູ່ໃນກອບສະຫນັບສະຫນູນ silicon carbide (SiC). ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ກອບສະຫນັບສະຫນູນໄດ້ຖືກ pushed ເຂົ້າໄປໃນທໍ່ furnace quartz, ບ່ອນທີ່ wafer ດໍາເນີນການປະຕິກິລິຍາໃນເຂດອຸນຫະພູມຄົງທີ່. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ທໍ່ furnace ຕັ້ງ, ເອົາ wafer ຢູ່ເທິງຫໍ quartz ແລະຄ່ອຍໆຍົກມັນເຂົ້າໄປໃນທໍ່ furnace quartz ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ. ຫຼັງຈາກຕິກິຣິຍາ, wafer ໄດ້ຖືກຫຼຸດລົງຊ້າໆເພື່ອປ້ອງກັນການບິດຫຼືແຕກ.

Semicorex ສະຫນອງຄຸນນະພາບສູງທີ່ກໍາຫນົດເອງເຕົາປະຕິກອນ quartz furnace. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາຖືກອອກແບບເພື່ອໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ, ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານ, ແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການພິເສດ. ສໍາລັບການແກ້ໄຂທີ່ກໍາຫນົດເອງຫຼືຂໍ້ມູນເພີ່ມເຕີມດ້ານວິຊາການ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ຫາທີມງານວິສະວະກໍາຂອງພວກເຮົາ.

ໂທລະສັບ: +86-13567891907

ອີເມວ: sales@semicorex.com