PECVD Solar Graphite Boat

SemicorexPECVD ເຮືອແສງຕາເວັນ graphiteມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ຜະລິດຈາກຄວາມບໍລິສຸດສູງisostatic graphite. ແຕ່ລະເຮືອແສງຕາເວັນ PECVD graphite ຈາກ Semicorex ຜ່ານການເຄື່ອງຈັກທີ່ຊັດເຈນ, ການກວດສອບມິຕິລະດັບ, ແລະການທົດສອບປະສິດທິພາບໄຟຟ້າເພື່ອຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມ plasma ອຸນຫະພູມສູງ.

ໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນ PECVD, ເຮືອ PECVD graphite ແສງຕາເວັນປະຕິບັດຊິລິຄອນ wafers ເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ PECVD ແລະເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນ electrode ເຊື່ອມຕໍ່ກັບການສະຫນອງພະລັງງານ RF. ເມື່ອໃຊ້ແຮງດັນໄຟຟ້າສະຫຼັບລະຫວ່າງແຜ່ນເຮືອທີ່ຢູ່ຕິດກັນ, ສະໜາມໄຟຟ້າກໍ່ຕັ້ງຂຶ້ນ. ພາຍໃຕ້ອິດທິພົນຂອງສະຫນາມໄຟຟ້າ, ທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາ (ເຊັ່ນ: silane SiH₄ ແລະ ammonia NH₃) ໄດ້ຮັບການໄຫຼຂອງແສງແລະສ້າງ plasma. ໄອອອນແລະອະນຸມູນອິດສະລະໃນ plasma decompose ທາດອາຍຜິດ precursor, ກອບເປັນຈໍານວນ silicon (Si) ແລະໄນໂຕຣເຈນ (N) ions. ໄອອອນເຫຼົ່ານີ້ປະສົມເຂົ້າກັນເປັນໂມເລກຸນຊິລິໂຄນໄນໄຣດ (Si₃N₄), ເຊິ່ງຖືກຝາກໄວ້ເທິງພື້ນຜິວຂອງຊິລິຄອນ wafer ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆ.

1. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນພິເສດ

ດ້ວຍຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ໃກ້ຄຽງກັບຊິລິຄອນ wafers, SemicorxPECVD ເຮືອແສງຕາເວັນ graphiteປະສົບການປ່ຽນແປງທາງມິຕິທີ່ລະເລີຍຕາມການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງສາມາດຫຼີກລ່ຽງຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນຈາກຄວາມຮ້ອນຕໍ່ wafers.

2. ການນໍາໄຟຟ້າແລະຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ

ເຮືອ graphite ແສງຕາເວັນ Semicorex PECVD ມີການນໍາໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ, ຮັບປະກັນການດໍາເນີນການຢ່າງໄວວາຂອງກະແສໄຟຟ້າ RF ແລະການແຜ່ກະຈາຍພາກສະຫນາມໄຟຟ້າທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຊິ່ງເປັນປະໂຫຍດສໍາລັບການຜະລິດ plasma ທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະການຊຶມເຊື້ອຊິລິໂຄນ wafer ເປັນເອກະພາບ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າຂອງມັນເຮັດໃຫ້ຄວາມເຢັນແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດໃນຂະນະທີ່ປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນເກີນໄປໃນທ້ອງຖິ່ນຈາກຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງເງິນຝາກ.

3. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງ

ຂໍຂອບໃຈກັບການນໍາໃຊ້ວັດສະດຸຊັ້ນສູງ, Semicorex PECVD ເຮືອແສງຕາເວັນ graphite ມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ຈະຕິກິຣິຍາກັບທາດອາຍຜິດ reactive ແລະ plasma. ລັກສະນະນີ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍປ້ອງກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າທີ່ບໍ່ສະເຫມີພາບທີ່ເກີດຈາກການກັດກ່ອນ, ການຜິດປົກກະຕິ, ຫຼື impurity deposition ໃນເຮືອ graphite, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ deposition ແລະຄຸນນະພາບຂອງຫນ້າດິນຂອງ silicon wafers.

4. ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກດີເດັ່ນ

ດ້ວຍ​ຄວາມ​ເຂັ້ມ​ແຂງ​ກົນ​ຈັກ​ທີ່​ດີ​ເດັ່ນ, ເຮືອ​ກາ​ຟ​ໄລ​ແສງ​ຕາ​ເວັນ Semicorex PECVD ສາມາດ​ຮັບ​ມື​ກັບ​ນ້ຳ​ໜັກ​ຂອງ​ບັນ​ຫາ​ທີ່​ມີ​ປະ​ລິ​ມານ​ສູງ. ພວກເຂົາສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການໂຫຼດແລະການຂົນສົ່ງເປັນເວລາດົນນານໂດຍບໍ່ມີການຜິດປົກກະຕິຫຼືແຕກຫັກໄດ້ງ່າຍ.

5. ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງມິຕິລະດັບທີ່ດີເລີດ

Semicorex PECVD ເຮືອແສງຕາເວັນ graphite ບັນລຸຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບພິເສດໃນທົ່ວອົງປະກອບທັງຫມົດໂດຍຜ່ານເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ. ມັນຮັກສາ silicon wafer ຢູ່ໃນຕໍາແຫນ່ງຄົງທີ່ໃນລະຫວ່າງການຝາກ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນການຝາກເງິນທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບການຜະລິດອັດຕະໂນມັດ.