porous alumina chucks

semicorex porous alumina chucks ແມ່ນມີຈຸດປະສົງທີ່ສ້າງຂຶ້ນສໍາລັບການ wafers ທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ສຸດ. ການອອກແບບທີ່ງົມງວາຍຂອງພວກເຂົາໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນໃຈໃນການແຈກຢາຍສູນຍາກາດທີ່ສອດຄ່ອງກັນທົ່ວຫນ້າຜາກ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນໃນທ້ອງຖິ່ນ, ແລະການແຕກແຍກ. ການຍຶດແບບກົນຈັກ (ແຂງຫຼືບໍ່ດັ່ງນັ້ນ ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການໂຄສະນາທີ່ເປັນເອກະພາບຢູ່ທົ່ວຫນ້າດິນຂອງ chuck ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະສໍາລັບການ wafers ທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະບາງໆທີ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນຫນ້ອຍລົງໃນລະຫວ່າງການດໍາເນີນການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

ທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບ 35-40% porosity, Chuck ພັດທະນາເຄືອຂ່າຍຂອງຮູຂຸມຂົນທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ແຊກແຊງໃນຂະນະທີ່ໃຫ້ເຄື່ອງກົນຈັກພຽງພໍທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ wafer ໄດ້ຢູ່ໃນກໍາລັງປະມວນຜົນ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າແຮງດັນການດູດຝຸ່ນຍັງຄົງຢູ່ໃນຂະນະທີ່ເຄື່ອນຍ້າຍເຄື່ອງປັ່ນປ່ວນ, ແມ່ນແຕ່ການສືບທອດຢ່າງໄວວາ, ໃນຂະນະທີ່ປະຕິບັດຕາມລໍາດັບຂອງຂະບວນການ. ການໂຄສະນາພາຍໃນເຄືອຂ່າຍ microporous ໃຫ້ສະຖຽນລະພາບຫຼາຍກວ່າໂດຍຜ່ານການສ້າງຄວາມແຕກຕ່າງໃນຄວາມກົດດັນພາຍໃນລະບົບສູນຍາກາດ.

The Black Alumina (ຕົວແທນ), ຕົວມັນເອງແມ່ນວັດສະດຸທີ່ສຸດເພາະວ່າມັນຍາກ, ນຸ່ງເສື້ອທີ່ທົນທານຕໍ່, ແລະທາດເຄມີ ມັນຈະບໍ່ເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ສາມາດເຮັດໄດ້ແລະບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຕໍ່ຮອບວຽນຊ້ໍາຂອງເຄື່ອງປະດັບ (ການໂຄສະນາສໍາຮອງ / ສູນຍາກາດ). ສີດໍາສິງແມ່ນສະຖຽນລະພາບ, ເພາະສະນັ້ນຈະບໍ່ປ່ຽນແປງເຖິງວ່າຈະມີການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເກີດຂື້ນຕາມທໍາມະຊາດໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນ (ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນ) ຫຼືໃນສະພາບແວດລ້ອມ) ຫຼືໃນສະພາບແວດລ້ອມ) ຫຼືໃນສະພາບແວດລ້ອມ) ຫຼືໃນສະພາບແວດລ້ອມ.

ຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີແມ່ນອີກປະໂຫຍດຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງ Alumina ສີດໍາ. The Chuck ສາມາດປະຕິບັດງານໃນການທໍາຄວາມສະອາດທີ່ຮຸກຮານ, Plasma, ແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ງົດງາມໂດຍບໍ່ໄດ້ປະນີປະນອມຄວາມຊື່ສັດຂອງໂຄງສ້າງ. ຄວາມບໍ່ມີຄວາມອຸດົມສົມບູນຂອງມັນປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງພື້ນຜິວ wafer, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂັ້ນຕອນແລະການຍຶດຫມັ້ນກັບມາດຕະຖານທີ່ສະອາດ.

ໂຄງສ້າງທີ່ເປັນຕົວຂອງ microporus ຍັງມີພື້ນທີ່ສະຫນັບສະຫນູນທີ່ບັນເທົາຄວາມກົດດັນໃນການ wafers ບາງໆແລະ brittle. ໃນ tandem ກັບພື້ນຜິວທີ່ມີຄວາມຊັດເຈນແລະຫນ້າທໍາອິດທີ່ລຽບງ່າຍຈະຫຼຸດຜ່ອນການປະກົດຕົວຂອງຈຸລິນຊີແລະຮອຍຂີດຂ່ວນທີ່ສາມາດປະນີປະນອມຄວາມຊື່ສັດຂອງເຄື່ອງປະດັບ.

ສິງceramicມີຄວາມແຂງກະດ້າງສູງ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, ຕົວຄູນຄວາມຮ້ອນຕໍ່າຂອງການຂະຫຍາຍຕົວ, ແລະສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດສໍາລັບການນໍາໃຊ້ semiconductor ທີ່ມີຄວາມລະຄອນ. ນອກຈາກນີ້, ຄວາມບໍ່ມີຄວາມຄິດເຫັນທາງເຄມີຂອງມັນຫມາຍຄວາມວ່າມັນສາມາດຕ້ານທານກັບອາຊິດ, ເປັນດ່າງ, ໃນຂະນະທີ່ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມທົນທານສໍາລັບ chuckum ທີ່ມີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະໃຫ້ທັງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະຄາດເດົາໄດ້.

ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ການຕັດທີ່ມີຄວາມສຸກທີ່ສຸດແມ່ນຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງທີ່ເປັນເອກະພາບແລະການຈັດການກັບ wafer ທີ່ຢູ່ລອດ. ໂຄງສ້າງ alumina ສີດໍາທີ່ເປັນ micumolous ສະເຫນີເຖິງແມ່ນວ່າການປະຕິບັດການສູນເສຍ, ຄວາມເປັນເອກະພາບ) ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນກົນຈັກແລະການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍ wafer. ໃນຖານະເປັນ chuck, prosity ທີ່ສໍາຄັນແລະດີທີ່ສຸດຮ່ວມກັບຄວາມຮ້ອນ, ກົນໄກກົນຈັກ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, ຊ່ວຍໃຫ້ມີຄວາມປອດໄພ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງການປະຕິບັດງານໃນສະພາບການຜະລິດທີ່ຮຸນແຮງ. ການປະສົມປະສານທີ່ດີເລີດຂອງຄວາມເຂັ້ມແຂງ, ເປັນເອກະພາບ, ແລະການຈັດການທີ່ປອດໄພ, ການຕັດໄມ້ Alumina Porous ສາມາດສະເຫນີຜູ້ຜະລິດແມ່ນຫາຍາກແລະເປັນເອກະລັກສະເພາະ.