ຜະລິດຕະພັນ

ໃນເວລາທີ່ມັນມາກັບຂະບວນການຈັດການ wafer ເຊັ່ນ epitaxy ແລະ MOCVD, Semicorex's High-Temperature SiC Coating for Plasma Etch Chambers is the top choice. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ, ເຖິງແມ່ນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ທົນທານຍ້ອນການເຄືອບ Crystal SiC ທີ່ດີຂອງພວກເຮົາ.

Semicorex's ICP Plasma Etching Tray ແມ່ນວິສະວະກໍາໂດຍສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການຈັດການ wafer ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ epitaxy ແລະ MOCVD. ດ້ວຍຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາສະຫນອງເຖິງແມ່ນໂປຣໄຟລຄວາມຮ້ອນ, ຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar, ແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼືການແຜ່ກະຈາຍຂອງ impurities.

ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ SiC Coated ຂອງ Semicorex ສໍາລັບລະບົບ ICP Plasma Etching System ເປັນການແກ້ໄຂທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສໍາລັບຂະບວນການຈັດການ wafer ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ epitaxy ແລະ MOCVD. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາມີສານເຄືອບ Crystal SiC ທີ່ດີທີ່ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ທົນທານ.

Semicorex's silicon carbide coated susceptor ສໍາລັບ Inductively-Coupled Plasma (ICP) ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການຈັດການ wafer ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ epitaxy ແລະ MOCVD. ດ້ວຍຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນເຖິງແມ່ນໂຄງສ້າງຄວາມຮ້ອນ, ຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar, ແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼືການແຜ່ກະຈາຍຂອງ impurities.

ຜູ້ຖື wafer etching ICP ຂອງ Semicorex ແມ່ນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຂະບວນການຈັດການ wafer ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ epitaxy ແລະ MOCVD. ດ້ວຍຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນເຖິງແມ່ນໂຄງສ້າງຄວາມຮ້ອນ, ຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar, ແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼືການແຜ່ກະຈາຍຂອງ impurities.

ແຜ່ນ ICP Etching Carrier Plate ຂອງ Semicorex ແມ່ນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການຂອງການຈັດການ wafer ແລະຂະບວນການຝາກຮູບເງົາບາງໆ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາສະຫນອງຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມຮ້ອນເປັນເອກະພາບ, ແລະຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar. ດ້ວຍພື້ນຜິວທີ່ສະອາດ ແລະລຽບນຽນ, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາແມ່ນດີເລີດສຳລັບການຈັດການ wafers pristine.