ຜະລິດຕະພັນ

ຜະລິດຈາກຊິລິໂຄນຄາໄບຂອງຄວາມບໍລິສຸດພິເສດ, ເຮືອ Semicorex SiC ສໍາລັບການຈັດການ Wafer boasts ການກໍ່ສ້າງທີ່ປະກອບດ້ວຍສະລັອດຕິງຄວາມແມ່ນຍໍາເພື່ອຮັບປະກັນ wafers, ຫຼຸດຜ່ອນການເຄື່ອນໄຫວໃດໆໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການດໍາເນີນງານ. ທາງເລືອກຂອງ silicon carbide ເປັນວັດສະດຸຮັບປະກັນບໍ່ພຽງແຕ່ແຂງແລະຄວາມທົນທານ, ແຕ່ຍັງມີຄວາມສາມາດທີ່ຈະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະການສໍາຜັດກັບສານເຄມີ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ເຮືອ SiC ສໍາລັບ Wafer Handling ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນຫຼາຍຂັ້ນຕອນຂອງການຜະລິດ semiconductor, ເຊັ່ນ: ການປູກຝັງຂອງໄປເຊຍກັນ, ການແຜ່ກະຈາຍ, implantation ion, ແລະຂະບວນການ etching.

SiC Boat Holder ໂດຍ Semicorex ແມ່ນປະດິດສ້າງຈາກ SiC, ປັບແຕ່ງຢ່າງຈະແຈ້ງສໍາລັບບົດບາດສໍາຄັນພາຍໃນຂະແຫນງ photovoltaic, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ semiconductor. ວິສະວະກໍາດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາ, Semicorex SiC Boat Holder ສະຫນອງ milieu ປ້ອງກັນ, ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ wafers ຜ່ານທຸກຂັ້ນຕອນ - ບໍ່ວ່າຈະເປັນການປຸງແຕ່ງ, ການຂົນສົ່ງ, ຫຼືການເກັບຮັກສາ. ການອອກແບບທີ່ພິຖີພິຖັນຂອງມັນຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາໃນຂະຫນາດແລະຄວາມລຽບ, ສໍາຄັນສໍາລັບການຫຼຸດຜ່ອນການຜິດປົກກະຕິຂອງ wafer ແລະເພີ່ມຜົນຜະລິດສູງສຸດ.

ຫົວອາບນ້ໍາ Semicorex CVD ທີ່ມີ SiC Coat ເປັນຕົວແທນຂອງອົງປະກອບທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານວິສະວະກໍາສໍາລັບຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາ, ໂດຍສະເພາະໃນຂອບເຂດຂອງການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ແລະ plasma-enhanced vapor deposition (PECVD). ຮັບໃຊ້ເປັນທໍ່ທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຈັດສົ່ງອາຍແກັສຄາຣະວາຫຼືຊະນິດທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ຫົວອາບນ້ໍາ CVD ພິເສດທີ່ມີ SiC Coat ອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການຝາກວັດສະດຸໃສ່ພື້ນຜິວທີ່ຊັດເຈນ, ປະສົມປະສານກັບຂະບວນການຜະລິດທີ່ຊັບຊ້ອນເຫຼົ່ານີ້.

Semicorex SiC Guide Ring ຖືກອອກແບບເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກດຽວ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງມັນຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ປະກອບສ່ວນໃນການສ້າງໄປເຊຍກັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງ. ຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຂອງ Semicorex ຕໍ່ກັບຄຸນນະພາບທີ່ນຳໜ້າຂອງຕະຫຼາດ, ຜູກພັນກັບການພິຈາລະນາດ້ານການເງິນທີ່ແຂ່ງຂັນ, ເສີມສ້າງຄວາມກະຕືລືລົ້ນຂອງພວກເຮົາທີ່ຈະສ້າງຕັ້ງຄູ່ຮ່ວມງານໃນການປະຕິບັດຕາມຄວາມຕ້ອງການຂົນສົ່ງ semiconductor wafer ຂອງທ່ານ.

Semicorex Epi-SiC Susceptor, ອົງປະກອບທີ່ຖືກວິສະວະກໍາດ້ວຍຄວາມເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງລະອຽດໃນລາຍລະອຽດ, ແມ່ນຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ, ໂດຍສະເພາະໃນການນໍາໃຊ້ epitaxial. ການອອກແບບຂອງ Epi-SiC Susceptor, ເຊິ່ງປະກອບດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາແລະນະວັດຕະກໍາ, ສະຫນັບສະຫນູນການຝາກ epitaxial ຂອງວັດສະດຸ semiconductor ໃນ wafers, ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບພິເສດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການປະຕິບັດ. ຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຂອງ Semicorex ຕໍ່ກັບຄຸນນະພາບທີ່ນຳໜ້າຂອງຕະຫຼາດ, ຜູກພັນກັບການພິຈາລະນາດ້ານການເງິນທີ່ແຂ່ງຂັນ, ເສີມສ້າງຄວາມກະຕືລືລົ້ນຂອງພວກເຮົາທີ່ຈະສ້າງຕັ້ງຄູ່ຮ່ວມງານໃນການປະຕິບັດຕາມຄວາມຕ້ອງການຂົນສົ່ງ semiconductor wafer ຂອງທ່ານ.

ຜະລິດດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາແລະວິສະວະກໍາສໍາລັບຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, SiC Epitaxy Susceptor ມີລັກສະນະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ສູງ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງສານເຄມີສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ປະສິດທິພາບພາຍໃນບັນຍາກາດ epitaxial. ດັ່ງນັ້ນ, SiC Epitaxy Susceptor ຖືວ່າເປັນຫຼັກແລະ. ອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນອຸປະກອນ MOCVD. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.