ຜະລິດຕະພັນ

ແຜ່ນເຄືອບ Semicorex RTP SIC ແມ່ນຜູ້ຂົນສົ່ງ Wafer ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ໄດ້ຮັບການອອກແບບໃນການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ. ໄວ້ວາງໃຈໂດຍຜູ້ຜະລິດ semiconductor ນໍາຫນ້າ, semicorex ສົ່ງສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມທົນທານ, ຄວາມທົນທານແລະການຄວບຄຸມທີ່ມີຄຸນນະພາບແລະການຜະລິດທີ່ມີຄວາມພີ້. *

Semicorex RTP Ring ເປັນວົງກຣາຟທີ່ເຄືອບ SiC ອອກແບບມາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໃນລະບົບການປະມວນຜົນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP). ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບເຕັກໂນໂລຢີວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າຂອງພວກເຮົາ, ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານ, ຄວາມແມ່ນຍໍາ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການຜະລິດ semiconductor.*

Semicorex's RTP Graphite Carrier Plate ແມ່ນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ wafer semiconductor, ລວມທັງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ແລະການປຸງແຕ່ງການຈັດການ wafer. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນວ່າ susceptors epitaxy ແມ່ນຂຶ້ນກັບສະພາບແວດລ້ອມ deposition, ມີຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.

Semicorex RTP SiC Coating Carrier ສະຫນອງການທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ semiconductor wafer. ດ້ວຍ graphite ເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຜະລິດຕະພັນນີ້ໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມການຝັງຕົວທີ່ຮຸນແຮງທີ່ສຸດສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄຸນສົມບັດການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບ RTA, RTP, ຫຼືທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier ຖືກອອກແບບເພື່ອທົນທານຕໍ່ສະພາບທີ່ຍາກທີ່ສຸດຂອງສະພາບແວດລ້ອມການຊຶມເຊື້ອ. ດ້ວຍຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນ, ຜະລິດຕະພັນນີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເຄືອບ SiC ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄຸນສົມບັດການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບ RTA, RTP, ຫຼືທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.

Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate ສໍາລັບ MOCVD ສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ semiconductor wafer. ດ້ວຍ graphite ເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຜະລິດຕະພັນນີ້ຖືກອອກແບບເພື່ອທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມການຊຶມເຊື້ອທີ່ຮຸນແຮງທີ່ສຸດສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄຸນສົມບັດການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບ RTA, RTP, ຫຼືທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.