ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແບບ Quartz Sheet-Type

ໃນການຜະລິດ semiconductor, ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງອຸນຫະພູມໂດຍກົງກໍານົດຜົນສໍາເລັດຂອງຂະບວນການແລະຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ. Semicorex Quartz Sheet-Type Thermos ໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ, ສະຫນັບສະຫນູນຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີ (CVD), ການແຜ່ກະຈາຍ, ແລະການຫມູນວຽນ.

thermos quartz ທີ່ມີໂຄງສ້າງເປັນແຜ່ນນີ້ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຫ້ອງ insulation ຄວາມຮ້ອນທີ່ອ້ອມຮອບ wafers ຫຼືເຂດຂະບວນການ, ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍຄວາມຮ້ອນແລະສະຖຽນລະພາບການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ. ໃນລະຫວ່າງທັງສອງຂັ້ນຕອນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນ, ມັນຮັບປະກັນວ່າສະພາບແວດລ້ອມພາຍໃນຍັງຄົງສອດຄ່ອງ, ອະນຸຍາດໃຫ້ມີເງື່ອນໄຂຂະບວນການຊ້ໍາກັນແລະຄວບຄຸມ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງນີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸການຝາກຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະພາບ, ການກະຕຸ້ນ dopant ທີ່ຊັດເຈນ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການໂດຍລວມ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບການອອກແບບໂຄງສ້າງ

ບໍ່ເຫມືອນກັບອົງປະກອບຂອງສນວນກັນທົ່ວໄປທົ່ວໄປ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແບບ Quartz Sheet-Type Thermos ໃຊ້ສະຖາປັດຕະຍະກໍາທີ່ມີຊັ້ນ, ແຜ່ນ. ແຕ່ລະຊັ້ນ quartz ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນອຸປະສັກຄວາມຮ້ອນ, ລວບລວມເປັນລະບົບ insulation ປະສິດທິພາບທີ່ຫຼຸດຜ່ອນ gradients ຄວາມຮ້ອນ. ການອອກແບບນີ້ປັບປຸງການເກັບຮັກສາຄວາມຮ້ອນໃນຂະນະທີ່ຍັງອະນຸຍາດໃຫ້ການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນຄ່ອຍໆແລະຄວບຄຸມ, ປ້ອງກັນການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນທີ່ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສົມບູນຂອງ wafer.

ການຕັ້ງຄ່າຮູບທໍ່ກົມ, ປະສົມປະສານກັບຮ່ອງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງວິສະວະກໍາແລະ stacking, ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກໃນຂະນະທີ່ຮັກສາປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ. ເປືອກ quartz ພາຍນອກໂປ່ງໃສຂອງມັນຍັງອະນຸຍາດໃຫ້ມີການກວດສອບສາຍຕາ, ເຊິ່ງສາມາດເປັນປະໂຫຍດໃນການຕັ້ງຄ່າຂະບວນການບາງຢ່າງ.

ຄວາມສົມບູນຂອງວັດສະດຸ

quartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນຫຼັກຂອງປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນນີ້. ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸກຮານທາງເຄມີ, quartz ຮັບປະກັນວ່າ thermos ບໍ່ໄດ້ນໍາສະເຫນີສານປົນເປື້ອນເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການ semiconductor ທີ່ລະອຽດອ່ອນ. ຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງມັນຍັງຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບ, ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ໍາຊ້ອນ.

ຄ່າແອັບພລິເຄຊັນ

ໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor ຕົວຈິງ, Quartz Sheet-Type Thermos ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການແລະປະສິດທິພາບການຜະລິດ. ໂດຍການຮັກສາການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບ, ມັນຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງກັນລະຫວ່າງ wafers ແລະໃນທົ່ວ batches. ນີ້ເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດສູງຂຶ້ນ, ຂໍ້ບົກພ່ອງຫນ້ອຍ, ແລະຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການທີ່ຄາດເດົາໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ການປັບປຸງປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນສາມາດປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການນໍາໃຊ້ພະລັງງານທີ່ດີທີ່ສຸດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບສໍາລັບສາຍການຜະລິດທີ່ມີປະລິມານສູງ.