ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເຄືອບ RTP RTA SiC

Semicorex ເປັນຜູ້ຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະຜູ້ສະຫນອງ Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor ໃນປະເທດຈີນ. Semicorex graphite susceptor ວິສະວະກໍາໂດຍສະເພາະສໍາລັບອຸປະກອນ epitaxy ທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ໃນປະເທດຈີນ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເຄືອບ RTP RTA SiC ຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາທີ່ດີແລະກວມເອົາຫຼາຍຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

Semicorex ສະຫນອງ RTP RTA SiC Coated Carrier ທີ່ໃຊ້ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນ wafers, ເຊິ່ງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແທ້ໆສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດ RTA, RTP ຫຼືສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. RTP RTA SiC Coated Carbide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ silicon carbide (SiC) ການກໍ່ສ້າງເຄືອບ graphite ສະຫນອງການທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມສອດຄ່ອງສໍາລັບຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຊັ້ນ epi ສອດຄ່ອງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ທົນທານ. ການເຄືອບໄປເຊຍກັນ SiC ລະອຽດໃຫ້ພື້ນຜິວທີ່ສະອາດ, ກ້ຽງ, ສໍາຄັນສໍາລັບການຈັດການນັບຕັ້ງແຕ່ wafers pristine ຕິດຕໍ່ກັບ susceptor ໃນຫຼາຍຈຸດໃນທົ່ວພື້ນທີ່ຂອງເຂົາເຈົ້າ.
ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ການສະຫນອງ RTP RTA SiC Coated Carrier ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ປະສິດທິພາບ, ພວກເຮົາຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນຂອງຄວາມພໍໃຈຂອງລູກຄ້າແລະສະຫນອງການແກ້ໄຂຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.

ພາລາມິເຕີຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເຄືອບ RTP RTA SiC

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນລັກສະນະຂອງ RTP RTA SiC Coated Carrier

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີແລະສາມາດມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ກັດກ່ອນ.
- susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານສູງຫຼາຍ.
- ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide, ປະສິດທິຜົນປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດເພື່ອປ້ອງກັນການແຕກແລະ delamination.
- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.
- ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.