paddle sic ceramic

Paddle semicorex sic ແມ່ນພາກສ່ວນທີ່ກ້າວຫນ້າທີ່ຖືກພັດທະນາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ເຕົາໄຟທີ່ອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍ. ກະດານ paddle ເປັນສະຫນັບສະຫນູນ Cantilever ທີ່ຈະຖືແລະຍ້າຍ wafers ໃນອຸນຫະພູມສູງ. paddle paddle semicorex sic ໃຫ້ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ຄວາມຕ້ອງການຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະການປະຕິບັດຄວາມຕ້ອງການຜ່ານຂັ້ນຕອນການຜະລິດ.

paddles ແມ່ນຜະລິດຈາກຄວາມບໍລິສຸດສູງcarbide silicon (sic), ສ້າງຂື້ນໂດຍສະເພາະເພື່ອຕ້ານທານກັບສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນແລະສານເຄມີທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconduor. ໃນເວລາທີ່ wafers ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວໂດຍຜ່ານການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍໄດ້ຮັບການປະເຊີນກັບອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1000 ອົງສາ c, ແລະ apspheheres dopant. ໃນອຸນຫະພູມເຫຼົ່ານີ້, ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຈະຂື້ນກັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ.

ຄຸນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນອີກຢ່າງຫນຶ່ງຂອງ Paddal Sic ceramic ແມ່ນຜົນງານທີ່ດີເລີດຂອງພວກເຂົາໃນອຸນຫະພູມສູງ. ເນື່ອງຈາກວ່າຈຸດລະລາຍຂອງ Sic 2700 + C, paddles ຮັກສາຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະສະຖຽນລະພາບກົນຈັກໃນເວລາທີ່ປະເຊີນກັບ tem ສູງ

peratures ໃນໄລຍະເວລາ. ຊັບສິນຄວາມຮ້ອນຈໍາກັດການ warping ແລະ cracking ຂອງອຸປະກອນການໃນໄລຍະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຊ້ໍາແລະ cycles ເຮັດໃຫ້ເຢັນຊ້ໍາໃນຂະນະທີ່ໃຫ້ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ.

ການປຸງແຕ່ງ semiconducorctors ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດທີ່ສຸດນັບຕັ້ງແຕ່ນັ້ນແມ່ນຈໍານວນການລົງຄວາມບໍ່ສະອາດສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບແລະພຶດຕິກໍາຂອງອຸປະກອນ. ເອກະສານ SIC ທີ່ໃຊ້ໃນ paddles ມີການເຄືອບ Sic ທາງເຄມີ (CVD) ທີ່ສົ່ງເສີມຄວາມບໍລິສຸດວັດຖຸທີ່ສູງທີ່ສຸດໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນດ້ວຍໂລຫະ. Paddle Sic ceramic ຍັງສະອາດແລະຫມັ້ນຄົງສໍາລັບອາຍຸທັງຫມົດຂອງພວກເຂົາ. ໃນຖານະເປັນ cantilever ສະຫນັບສະຫນູນ, paddles ຕ້ອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ປອດໄພສໍາລັບຜູ້ຂົນສົ່ງຫຼືເຮືອໃນລະຫວ່າງການແຊກແລະການໂຍກຍ້າຍອອກຈາກເຕົາໄຟ. ເນື່ອງຈາກSic'ຄວາມເຂັ້ມແຂງທີ່ມີປະກົດຂຶ້ນແລະຄວາມເຄັ່ງຄັດ, ພວກມັນມີຄຸນສົມບັດທີ່ມີຄວາມສຸກທີ່ດີໂດຍມີ deflection ຫນ້ອຍທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຈັດການກັບ wafer ແລະຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ເຫມາະສົມ. ໃນການຜຸພັງແລະຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານການແຜ່ກະຈາຍ, ບັນຍາກາດທີ່ຖືກກັກຂັງສາມາດທໍາຮ້າຍແລະທໍາລາຍວັດຖຸພື້ນເມືອງໃນແຕ່ລະໄລຍະ, ແຕ່ວ່າມັນມີຄວາມສາມາດໃນການຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງມັນ, ການຂະຫຍາຍຊີວິດທີ່ໃຊ້ໄດ້ຂອງ paddle. ຜົນໄດ້ຮັບນີ້ຜົນໄດ້ຮັບໃນການບໍາລຸງຮັກສາແລະການທົດແທນການທົດແທນທີ່ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເພາະວ່າ paddles ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການທົດແທນຫຼືສ້ອມແປງເກືອບເລື້ອຍໆ.

'ຄວາມເຂັ້ມແຂງທີ່ມີປະກົດຂຶ້ນແລະຄວາມເຄັ່ງຄັດ, ພວກມັນມີຄຸນສົມບັດທີ່ມີຄວາມສຸກທີ່ດີໂດຍມີ deflection ຫນ້ອຍທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຈັດການກັບ wafer ແລະຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ເຫມາະສົມ. ໃນການຜຸພັງແລະຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານການແຜ່ກະຈາຍ, ບັນຍາກາດທີ່ຖືກກັກຂັງສາມາດທໍາຮ້າຍແລະທໍາລາຍວັດຖຸພື້ນເມືອງໃນແຕ່ລະໄລຍະ, ແຕ່ວ່າມັນມີຄວາມສາມາດໃນການຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງມັນ, ການຂະຫຍາຍຊີວິດທີ່ໃຊ້ໄດ້ຂອງ paddle. ຜົນໄດ້ຮັບນີ້ຜົນໄດ້ຮັບໃນການບໍາລຸງຮັກສາແລະການທົດແທນການທົດແທນທີ່ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເພາະວ່າ paddles ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການທົດແທນຫຼືສ້ອມແປງເກືອບເລື້ອຍໆ.

sic ceramicPaddles, ດ້ວຍການປະສົມປະສານຂອງຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມແຂງແຮງກົນຈັກ, ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ຈໍາເປັນໃນການຜຸພັງ semiconductor ແລະ Diffuse. ໂດຍການໃຫ້ເວທີທີ່ສະອາດ, ສະອາດສໍາລັບການຍົກຍ້າຍ wafer, ພວກເຂົາປະກອບສ່ວນໂດຍກົງເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜົນຜະລິດ, ປະສິດທິພາບການຜະລິດໂດຍລວມ.